| 研究課題/領域番号 |
15K13840
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 茨城大学 |
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研究代表者 |
周 立波 茨城大学, 工学部, 教授 (90235705)
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| 研究分担者 |
清水 淳 茨城大学, 工学部, 教授 (40292479)
小貫 哲平 茨城大学, 工学部, 准教授 (70400447)
尾嶌 裕隆 茨城大学, 工学部, 准教授 (90375361)
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| 研究協力者 |
山本 武幸
陸 文通
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2015年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | 強誘電体 / 圧電効果 / 焦電効果 / 物理特性 / 自発分極 / 内部応力 / 機械強度 / 機械特性 |
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| 研究成果の概要 |
強誘電体は，強い焦電性（温度変化による分極）及び圧電性（応力による分極）を併せ持つため，携帯電話用SAWフィルタなどへの応用が期待される一方，加工時の高い圧力と温度に晒され，結晶の対称性が破れ極めて脆く割れ易い難加工材料である．
本研究は，まず，温度変化によりLiTaO3の硬度が20%，破壊靭性が45%ほど低下することを押込実験で解明した．圧電・焦電効果による内部応力が研削中LTウエハの作用力の8～9割を占め，ウエハを破壊する主因であることを理論的な推定した．最後に①研削液の温度制御，②電解質添加による表面電荷の中和二つの方策を考案し，LTウエハを100um以下に薄く研削しその有効性を検証した．
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