| 研究課題/領域番号 |
15K18242
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
構造・機能材料
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| 研究機関 | 地方独立行政法人大阪産業技術研究所 (2017-2018)
地方独立行政法人大阪市立工業研究所 (2015-2016) |
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研究代表者 |
御田村 紘志 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 森之宮センター, 研究員 (90437054)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2017年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2016年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 光透過性導電モノリス / 酸化物半導体 / 光融解 / レーザー / モノリス / ITO / 酸化亜鉛 / レーザー描画 / ITOモノリス / マイクロ構造 / 太陽電池 / 金属酸化物半導体 / 電解析出 / 無機薄膜太陽電池 / モノリス多孔体 |
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| 研究成果の概要 |
光透過性の導電性多孔体としてITOモノリスの作製に成功した。このモノリス集電体上に半導体層を積層し無機薄膜太陽電池として利用するにあたり、積層する半導体層のピンホール形成を抑制ために、レーザー照射による半導体層の光溶融現象を利用した。酸化亜鉛(ZnO)層へのレーザーの照射(波長405nm)により、ZnO層の溶融及び結晶性・電気伝導性の向上が見られ、ZnO上にマイクロパターニングできることを見出した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究で得られた光透過性の導電モノリス多孔体は、太陽電池の集電体のみならずガスセンサー電極などの電子デバイスへの応用も期待できる。さらに、レーザーを用いた焼結・溶融システムでは、レーザーを走査することで任意のパターンを酸化物半導体上に刻印できることから、光リソグラフィーに代わる固体基板上のマイクロパターニングプロセスとして利用できる。
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