| 研究課題/領域番号 |
15K21023
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
複合材料・表界面工学
デバイス関連化学
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| 研究機関 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
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研究代表者 |
本郷 研太 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 助教 (60405040)
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| 研究協力者 |
前園 涼 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2016年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 表面・界面物性 / 濡れ性 / シミュレーション / 化学物理 / 第一原理計算 / 量子モンテカルロ法 / 分子間力 / モデリング / 量子拡散モンテカルロ法 / 半導体 / 液体プロセス / ハマカー定数 |
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| 研究成果の概要 |
本研究は、濡れ性を支配する分子力場パラメータ(ハマカー定数)を、第一原理算定する新規手法を開発した。信頼性の高い第一原理計算法と組み合わせることで、ベンゼンのベンチマーク計算は、実験をよく再現し、当該手法の妥当性を検証できた。当該手法を、アモルファスシリコン薄膜の前駆体インクであるシクロヘキサシランに応用することで、実験参照のない当該系のハマカー定数に対して、信頼性の高い計算科学参照値を得た。当該手法は、実プロセスに現れる実用分子系に対して信頼性の高い力場パラメータを供する汎用手法であり、液体プロセス技術の実用化に向けた最重要課題の一つである、濡れ性制御の動力学解析を可能にすると期待される。
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