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半導体デバイスのミューオン誘起ソフトエラー率評価のための技術基盤構築

研究課題

研究課題/領域番号 16H03906
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 量子ビーム科学
研究機関九州大学

研究代表者

渡辺 幸信  九州大学, 総合理工学研究院, 教授 (30210959)

研究分担者 橋本 昌宜  大阪大学, 情報科学研究科, 教授 (80335207)
金 政浩  九州大学, 総合理工学研究院, 准教授 (80450310)
研究協力者 安部 晋一郎  
真鍋 征也  
佐藤 光流  
廖 望  
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
18,720千円 (直接経費: 14,400千円、間接経費: 4,320千円)
2018年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2017年度: 5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円)
2016年度: 11,830千円 (直接経費: 9,100千円、間接経費: 2,730千円)
キーワードミューオン / 半導体デバイス / 照射試験 / シングルイベントアップセット / 宇宙線ミューオン計測 / 粒子輸送シミュレーション / PHITS / 加速試験 / 輸送シミュレーション
研究成果の概要

国内ミューオン施設(J-PARC/MLF MUSEと阪大RCNP-MuSIC)において、65-nm SRAMデバイスに対するミューオン照射試験を実施した。実験結果は、負ミューオンの方が正ミューオンに比べてシングルイベントアップセット(SEU)断面積が大きいことを示した。シミュレーションにより、両者の相違は負ミューオン原子核捕獲反応に起因していることを明らかにした。さらに、宇宙線ミューオン計測装置を開発し、建屋内でエネルギー分布を取得し、モデル予測との整合性を確認した。照射試験、ミューオン計測、シミュレーション技術に対する研究開発を通じて、ミューオン起因ソフトエラー評価の技術基盤を構築できた。

研究成果の学術的意義や社会的意義

放射線による半導体デバイスの誤動作は確率的に稀にしか起こらない現象であるが、IoTの普及とともに世界中で膨大な数の半導体デバイスが使われているため、今後、発生数の増加が予想される。特に、社会インフラを支えている電子機器内でいったん誤動作がおこると、致命的な障害を起こす可能性がある。本研究では、次世代半導体デバイスで顕在化が危惧されている宇宙線ミューオンに起因するソフトエラーの発生機構を実験・シミュレーションにより解明し、エラー率推定のために基盤技術を開発した。その成果を次世代半導体デバイスの設計等に応用することで、車の自動運転やIoT分野の安心・安全な半導体技術創出への貢献が期待される。

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (17件)

すべて 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (15件) (うち国際学会 5件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Negative and Positive Muon-Induced Single Event Upsets in 65-nm UTBB SOI SRAMs2018

    • 著者名/発表者名
      Manabe Seiya、Watanabe Yukinobu、Liao Wang、Hashimoto Masanori、Nakano Keita、Sato Hikaru、Kin Tadahiro、Abe Shin-Ichiro、Hamada Koji、Tampo Motonobu、Miyake Yasuhiro
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Nuclear Science

      巻: 65 号: 8 ページ: 1742-1749

    • DOI

      10.1109/tns.2018.2839704

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Measurement and Mechanism Investigation of Negative and Positive Muon-Induced Upsets in 65-nm Bulk SRAMs2018

    • 著者名/発表者名
      Liao Wang、Hashimoto Masanori、Manabe Seiya、Watanabe Yukinobu、Abe Shin-Ichiro、Nakano Keita、Sato Hikaru、Kin Tadahiro、Hamada Koji、Tampo Motonobu、Miyake Yasuhiro
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Nuclear Science

      巻: 65 号: 8 ページ: 1734-1741

    • DOI

      10.1109/tns.2018.2825469

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] DCミューオンビームを用いたSEU断面積測定2019

    • 著者名/発表者名
      馬原 巧, 渡辺幸信, 真鍋征也, 廖 望, 橋本昌宜, 齋藤岳志, 新倉 潤, 友野 大, 佐藤 朗, 二宮和彦
    • 学会等名
      第9回Muon科学と加速器研究研究会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Estimation of Muon-Induced SEU Rates for 65-nm Bulk and UTBB-SOI SRAMs, RADECS2018, 2018.09.2018

    • 著者名/発表者名
      Seiya Manabe, Yukinobu Watanabe, Wang Liao, Masanori Hashimoto, Shin-ichiro Abe
    • 学会等名
      Radiation Effects on Components & Systems (RADECS2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Similarity analysis on neutron- and negative moun-induced MCUs in 65-nm bulk SRAM2018

    • 著者名/発表者名
      Wang Liao, Masanori Hashimoto, Seiya Manabe, Shin-ichiro Abe, Yukinobu Watanabe
    • 学会等名
      Radiation Effects on Components & Systems (RADECS2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] RCNP-MuSIC施設における65-nm bulk SRAMのミューオン誘起SEU断面積の測定2018

    • 著者名/発表者名
      馬原 巧, 真鍋征也, 渡辺幸信, 廖 望, 橋本昌宜, 齋藤岳志, 新倉 潤, 二宮和彦, 友野 大, 佐藤 朗
    • 学会等名
      日本原子力学会九州支部第37回研究発表講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Negative and positive muons-induced single event upsets in 65-nm static random access memories2018

    • 著者名/発表者名
      Seiya Manabe, Yukinobu Watanabe, Wang Liao, Masanori Hashimoto, Keita Nakano, Hikaru Sato, Tadahiro Kin, Koji Hamada, Motonobu Tampo, Yasuhiro Miyake, Shin-ichiro Abe
    • 学会等名
      第8回Muon科学と加速器研究
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Development of Detection System for Measurement of Zenith Angular Differential Spectra of Low-energy Terrestrial Cosmic-ray Muon2018

    • 著者名/発表者名
      Hikaru SATO, Tadahiro KIN, Yukinobu WATANABE
    • 学会等名
      International Symposium on Radiation Detectors and Their Uses (ISRD2018)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 半導体メモリデバイスのミュオン誘起ソフトエラー2018

    • 著者名/発表者名
      渡辺 幸信, 真鍋 征也, 廖 望, 橋本 昌宜, 安部晋一郎, 濱田 幸司, 反保 元伸, 三宅 康博
    • 学会等名
      2017年度量子ビームサイエンスフェスタ
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 低エネルギーミューオンの計測手法開発2017

    • 著者名/発表者名
      佐藤光流, 金 政浩, 渡辺 幸信
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会,
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Momentum and Supply Voltage Dependences of SEUs Induced by Low-energy Negative and Positive Muons in 65-nm UTBB-SOI SRAMs2017

    • 著者名/発表者名
      Seiya Manabe, Yukinobu Watanabe, Wang Liao, Masanori Hashimoto, Keita Nakano, Hikaru Sato, Tadahiro Kin, Koji Hamada, Motonobu Tampo, Yasuhiro Miyake
    • 学会等名
      Radiation Effects on Components & Systems (RADECS2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Measurement and Mechanism Investigation of Negative and Positive Muon-Induced Upsets in 65nm Bulk SRAMs2017

    • 著者名/発表者名
      Wang Liao, Masanori Hashimoto, Seiya Manabe, Yukinobu Watanabe, Keita Nakano, Hikaru Sato, Tadahiro Kin, Koji Hamada, Motonobu Tampo, Yasuhiro Miyake
    • 学会等名
      Radiation Effects on Components & Systems (RADECS2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 低エネルギー宇宙線ミュオンスペクトルの計測手法開発2017

    • 著者名/発表者名
      佐藤光流, 金 政浩, 渡辺 幸信
    • 学会等名
      日本原子力学会九州支部第36回研究発表講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 65-nm SOTB SRAMにおける低エネルギー正負ミュオン誘起SEU断面積の測定2017

    • 著者名/発表者名
      真鍋 征也, 渡辺 幸信, 中野 敬太, 佐藤 光流, 金 政浩, 廖 望, 橋本 昌宜, 濱田 幸司, 反保 元伸, 三宅 康博
    • 学会等名
      日本原子力学会九州支部第36回研究発表講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Recent progress in the study of soft errors in semiconductor devices2017

    • 著者名/発表者名
      Yukinobu Watanabe
    • 学会等名
      2017年度核データ研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 環境中宇宙線ミューオンの低エネルギー強度分布に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      佐藤光流, 渡辺 幸信, 金 政浩
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 半導体メモリーのミューオン誘起 シングルイベントアップセットシミュレーション2017

    • 著者名/発表者名
      真鍋征也, 渡辺 幸信, 安部晋一郎
    • 学会等名
      日本原子力学会2017年春の大会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

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