| 研究課題/領域番号 |
16H04300
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
秦 誠一 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (50293056)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
17,420千円 (直接経費: 13,400千円、間接経費: 4,020千円)
2018年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2017年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円)
2016年度: 6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
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| キーワード | ナノマイクロメカトロニクス / ＭＥＭＳ / コンビナトリアル技術 / 材料創成 / MEMS |
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| 研究成果の概要 |
本研究の目的は，ＭＥＭＳ技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し，新エネルギー，省エネルギーや耐環境材料，医療技術，細胞観察などグリーン／ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである．
具体的には，数ミリ角，厚さ数十マイクロメートルオーダの多種多数個の薄膜サンプルを，ＭＥＭＳ技術を応用し同時または別個に加振すると共に，その振動状態をセンシングすることで，各種物性を超ハイスループット評価することができる集積化ＭＥＭＳ薄膜ライブラリを製作した．これを用いて磁歪材料など新材料の超ハイスループット評価が可能であることを実証した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究の目的は，ＭＥＭＳ技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し，新エネルギー，省エネルギーや耐環境材料，医療技術，細胞観察などグリーン／ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである．具体的には，微小なサンプルを一つの基板上に集積して製作し，それを基板または外部に設けたセンサで評価することで，これまで逐次行われていた材料開発を，高処理能力（ハイスループット）評価する技術を開発した．本研究では，その具体例として磁歪材料などをハイスループット評価できる技術を開発，実証した．
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