| 研究課題/領域番号 |
16H06358
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| 研究種目 |
基盤研究(S)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
山内 和人 大阪大学, 工学研究科, 教授 (10174575)
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| 研究分担者 |
松山 智至 大阪大学, 工学研究科, 招へい准教授 (10423196)
佐野 泰久 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (40252598)
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| 研究期間 (年度) |
2016-05-31 – 2021-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
184,340千円 (直接経費: 141,800千円、間接経費: 42,540千円)
2020年度: 17,030千円 (直接経費: 13,100千円、間接経費: 3,930千円)
2019年度: 47,450千円 (直接経費: 36,500千円、間接経費: 10,950千円)
2018年度: 38,610千円 (直接経費: 29,700千円、間接経費: 8,910千円)
2017年度: 35,230千円 (直接経費: 27,100千円、間接経費: 8,130千円)
2016年度: 46,020千円 (直接経費: 35,400千円、間接経費: 10,620千円)
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| キーワード | 精密計測 / 精密加工 / X線ミラー / 光学 / X線自由電子レーザー / X線顕微鏡 / 超精密加工 / X線集光 / 形状可変ミラー / 形状可変 |
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| 研究成果の概要 |
X線自由電子レーザー（XFEL）などのコヒーレントX線をビーム径を自由に変更できるズームコンデンサーを実現した．凹から凸へと変形する2段の形状可変ミラー光学系を提案し，中間焦点を虚像とする光学系を構築した．擬似的なWolter IIおよびIII光学配置をとり，コマ収差の低減に成功した．光学パラメータのその場モニターでは，特殊な薄膜を透過したX線に含まれるスペックルから集光状態を正確に評価する方法を提案・確立した．XFELを扱い得るミラー表面の創製では，3次元座標計測機と顕微干渉計を精密に統合したミラー形状計測装置を構築し，確からしさ±5nmの形状測定法を実現した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
XFEL実験において，ビームサイズが可変となり，以前のように固定されたビームサイズに合わせた実験ではなく，真に科学が求める実験が可能になる．また，第３世代放射光の高輝度化によって，分析のスループットの大幅な向上が見込まれ，貴重な試料に対する複合分析の要求が高まっている．分析法に応じたビームの供給が可能になり，放射光利用技術の発展に大きく貢献する．学術的には，X線域領域において真の補償光学を拓くものと考えられる．
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| 評価記号 |
検証結果 (区分)
A
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評価記号 |
評価結果 (区分)
A: 当初目標に向けて順調に研究が進展しており、期待どおりの成果が見込まれる
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