| 研究課題/領域番号 |
16K05821
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
分析化学
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
盛谷 浩右 兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 (20391279)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2018年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2017年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2016年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | SIMS / 分子クラスター / 脱離イオン化 / スパッタリング / 質量分析 / クラスター / 二次イオン質量分析法 / クラスターイオンビーム / GCIB / 分析科学 / 複合材料・物性 / 量子ビーム |
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| 研究成果の概要 |
Ar, 水およびメタノールのクラスターイオンビームによる有機分子層のスパッタ速度を比較した.メタノールに対する溶解度が大きく異なる二種類の分子のスパッタ速度を比較したところ、メタノールに対する溶解度が高い分子Aでは、加速エネルギーが低い場合に、メタノールクラスターのスパッタ速度が大きく上がることがわかった。しかし、加速エネルギーが高くなると、クラスター種間でのスパッタ速度に大きな差はなかった。この結果は, 分子クラスターによる有機分子スパッタ過程では, 低エネルギー領域において溶解に類似したプロセスが重要な役割を果たしていることを示唆している.
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
近年, Ar巨大クラスターのイオンビームがスパッタビームとして実用化され, 有機材料の低損傷スパッタリングが可能になっている.しかしArクラスターイオンビームは有機材料を低損傷スパッタできる反面,無機材料のスパッタ速度が有機材料に比べて著しく遅く, そのため有機無機複合材料や,無機材料中の有機分子などを分析することが困難である. 本研究は分子クラスターイオン照射による有機分子の脱離イオン過程および材料スパッタリングのメカニズムを明らかにすることで、上記の問題点を克服した新しい分析手法を開発するための基礎的知見となる.
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