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高感度顕微分析を実現する高速クラスター2次イオン質量分析における照射技術の高度化

研究課題

研究課題/領域番号 17H02819
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 量子ビーム科学
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

平田 浩一  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 上級主任研究員 (80357855)

研究分担者 山田 圭介  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子応用研究所 放射線高度利用施設部, 研究員(定常) (10414567)
笹 公和  筑波大学, 数理物質系, 准教授 (20312796)
冨田 成夫  筑波大学, 数理物質系, 准教授 (30375406)
斎藤 勇一  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子応用研究所 放射線高度利用施設部, 部長(定常) (40360424)
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
17,290千円 (直接経費: 13,300千円、間接経費: 3,990千円)
2019年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2018年度: 7,410千円 (直接経費: 5,700千円、間接経費: 1,710千円)
2017年度: 8,320千円 (直接経費: 6,400千円、間接経費: 1,920千円)
キーワード2次イオン質量分析 / クラスターイオンビーム / 量子ビーム / 2次イオン / 加速器
研究成果の概要

分子構造や元素の微小領域での分布を高感度で分析する、高感度顕微質量分析を実現する方法として、sub-MeV~MeV級に加速した高速クラスターイオンを1次イオンとして用いた2次イオン質量分析法が検討されている。本研究では、この分析を実現するための高速クラスターイオン照射技術の開発を行い、高速C60ビームに関して、パルス幅10 ns以下の短パルス化とビーム径10μm以下の集束化に成功し、さらに微小領域で起こる超高速現象であるため直接観察が難しいC60衝突による2次イオン放出現象の解明を行った。

研究成果の学術的意義や社会的意義

先端機能材料の開発、有機・生体試料分析等の多くの研究開発分野で、微小領域での物質の分子構造や元素の分布を高感度で分析可能な高感度顕微質量分析法が必要とされている。この分析を実現する方法として、高速に加速した多原子イオンを試料に照射し、生成した2次イオンを質量分析する分析法が検討されている。本研究では、この分析を実現するための照射基盤技術の開発を行い、高速フラーレンビームに関して、パルス幅10ns以下の短パルス化とビーム径10μm以下のマイクロビーム化に成功した。さらに微小領域かつ超高速で起こるため直接観察が難しい2次イオンの放出現象の解明も行い、高感度顕微質量分析の実現に大きく近づいた。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 4件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Experimental characterization of ultrafast phenomena of secondary-ion emission induced by nanoscale energy deposition processes of energetic C60 impacts2020

    • 著者名/発表者名
      K. Hirata, K. Yamada, A. Chiba, Y. Hirano, K. Narumi, Y. Saitoh
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: In press 号: 21

    • DOI

      10.1063/5.0006152

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 0.12-0.54 MeV C60 ion impacts on a poly(methyl methacrylate) target: Characterization through emission properties of negative secondary ions2019

    • 著者名/発表者名
      K. Hirata, K. Yamada, A. Chiba, Y. Hirano, K. Narumi, Y. Saitoh
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B

      巻: in press ページ: 161-164

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2019.02.001

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of an electron-attachment-type negative fullerene ion source2018

    • 著者名/発表者名
      K. Yamada, A. Chiba, Y. Hirano, Y. Saitoh
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: 2011 ページ: 0500201-0500203

    • DOI

      10.1063/1.5053318

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Secondary ion mass spectrometry using sub-MeV ~ MeV large cluster ion beams2019

    • 著者名/発表者名
      K. Hirata, K. Yamada, A. Chiba, Y. Hirano, K. Narumi, Y. Saitoh
    • 学会等名
      24th International Conference on Ion Beam Analysis (IBA-2019)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] MeV級クラスターイオン生成技術の開発2019

    • 著者名/発表者名
      齋藤勇一, 千葉敦也, 山田圭介, 平野貴美, 鳴海一雅
    • 学会等名
      第1回重・クラスターイオンビーム利用による微生物由来高生産性、エネルギー、環境シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 高感度微小領域分析を目指した高速クラスターイオン照射の高度化2019

    • 著者名/発表者名
      平田浩一、山田圭介、斎藤勇一、鳴海一雅、千葉敦也、平野貴美、冨田成夫、笹公和
    • 学会等名
      日本物理学会第74回年次大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 高速クラスター照射における立体構造の効果:透過型二次イオン質量分析法の開発2019

    • 著者名/発表者名
      村瀬龍、波間悠紀、平田浩一、千葉敦也、中嶋薫、間嶋拓也、斉藤学、土田秀次
    • 学会等名
      日本物理学会第74回年次大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Highly-sensitive time-of-flight secondary ion mass spectrometry with high energy cluster ion beams2018

    • 著者名/発表者名
      K. Hirata, K. Yamada, A. Chiba, Y. Hirano, K. Narumi, Y. Saitoh
    • 学会等名
      10th International Symposium on Swift Heavy Ions in Matter & 28th International Conference on Atomic Collisions in Solids (SHIM-ICACS 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] タンデム・静電加速器を用いた先端研究の現状と将来展望‐第30回「タンデム加速器及びその周辺技術の研究会」を記念して‐2017

    • 著者名/発表者名
      笹 公和
    • 学会等名
      第30回「タンデム加速器及びその周辺技術の研究会」
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Performance of the 6 MV multi-nuclide AMS system at the University of Tsukuba2017

    • 著者名/発表者名
      K. Sasa, T. Takahashi, T. Matsunaka, S. Hosoya, M. Matsumura, S. Hangtao, M. Honda, A. Sakaguchi, K. Sueki, M. Stodola, M. Sundquist
    • 学会等名
      The Fourteenth International AMS Conference
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 量研高崎におけるC60負イオン源の開発状況2017

    • 著者名/発表者名
      山田圭介
    • 学会等名
      TIA連携プログラム探索推進事業シンポジウム
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 高速クラスターイオン照射による固体内電子の応答2017

    • 著者名/発表者名
      冨田成夫
    • 学会等名
      TIA連携プログラム探索推進事業シンポジウム
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Development of an electron attachment type negative fullerene ion source2017

    • 著者名/発表者名
      山田圭介、千葉敦也、平野貴美、齋藤勇一
    • 学会等名
      17th International Conference on Ion Sources
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 高速クラスターイオン入射による 固体内エネルギー付与過程2017

    • 著者名/発表者名
      冨田成夫
    • 学会等名
      日本放射線影響学会 第60回大会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2021-02-19  

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