| 研究課題/領域番号 |
17H03155
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 長岡技術科学大学 |
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研究代表者 |
明田川 正人 長岡技術科学大学, 工学研究科, 教授 (10231854)
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| 研究分担者 |
平田 研二 長岡技術科学大学, 工学研究科, 准教授 (40314364)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円)
2019年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2018年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2017年度: 15,730千円 (直接経費: 12,100千円、間接経費: 3,630千円)
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| キーワード | 動的面内変位 / 干渉計 / 正弦波位相変調法 / 高速度カメラ / 空気屈折率分布 / 多色法 / 面形状 / 面内変位 / 周波数安定化光源 / 画像ロックイン / 周波数安定化LD / 正弦波位相変調 / ビームポイントスタビリティ / 正弦波周波数変調 / 面形状計測 / 絶対面形状計測 |
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| 研究成果の概要 |
2色のLD（633nm, 512nm）と1台の高速度カメラおよび1個の電気光学素子を用いて、これらに正弦波位相変調法を適用し、2色同時に動的な面内変位を計測可能な干渉計を構築した。これを用いてレーザビームの伝播する空間内の空気屈折率分布の時間変動を2色法を適用しながら捉えることができた。この成果によりレーザビームを直線基準として用いる真直度測定器の空気揺らぎ補正を可能とする目処を得た。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
動的な面内変位や絶対面形状の測定は精密工学などの発展に重要である。また光が伝播する面内の動的な（絶対）屈折率分布を知る手法も同様に重要である。動的な面内変位を測定する手法を開発し、これを光が伝播する面内の動的な屈折率分布測定に適用した。この結果は、レーザビームを直線基準とする真直度・角度測定の空気揺らぎによる測定不確かさの補正を可能とするものであり、精密機器産業への応用が期待される。
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