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強誘電体の巨大分極を利用した超低損失ダイヤモンドパワーFETの創出

研究課題

研究課題/領域番号 17H03248
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関金沢大学

研究代表者

川江 健  金沢大学, 電子情報通信学系, 准教授 (30401897)

研究分担者 徳田 規夫  金沢大学, ナノマテリアル研究所, 教授 (80462860)
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2019年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2018年度: 6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
2017年度: 8,450千円 (直接経費: 6,500千円、間接経費: 1,950千円)
キーワード電界効果トランジスタ / ワイドギャップ半導体 / パワーデバイス / ダイヤモンド / 強誘電体 / Pb(Zr,Ti)O3 / キャリアオフセット
研究成果の概要

本研究では、ワイドギャップ半導体ダイヤモンドに対し、強誘電体をゲートとした電界効果トランジスタ(FeFET)構造を形成し、従来型パワーデバイスに比する優位性について検証を行った。
強誘電体ゲートを用いたダイヤモンドチャネルの電圧変調において、電流ON/OFF比10E+8を実証するに至った。また、強誘電体ゲートの残留分極を利用したダイヤモンドFeFETの疑似ノーマリオフ動作に関して、現在までに最長70時間に至るオフ状態の保持を実証した。
以上の結果は、強誘電体をゲートにより実現したパワーFETの新動作原理を示したものであり、今後、当該構造を利用したパワーデバイス開発に資するものと考える。

研究成果の学術的意義や社会的意義

限りあるエネルギー資源の有効活用に資する新しい電子デバイスとして、強誘電体をゲートとした電界効果トランジスタを提案し、従来パワーデバイスに対する有用性を検証した。
新しいデバイス構造を用いる事で非常に大きな電流のオン・オフ制御が可能である事を実証した。また、新しい構造では余計な電力を必要とせずに電流オフ状態(待機状態)を維持する事も実証された。
以上の結果より、全世界的に求められている省エネ社会の実現に向け、本研究が明らかにした新たなデバイス構造は学術的成果のみならず人類社会の発展に大きく貢献するものである。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 研究成果

    (13件)

すべて 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (10件) (うち国際学会 3件、 招待講演 3件)

  • [雑誌論文] Influence of rapid thermal annealing at varied temperatures on conductivity activation energy and structural properties of Si-doped β-Ga2O3 film grown by pulsed laser deposition2019

    • 著者名/発表者名
      Antoro Iwan Dwi、Itoh Satoshi、Yamada Satoru、Kawae Takeshi
    • 雑誌名

      Ceramics International

      巻: 45 号: 1 ページ: 747-751

    • DOI

      10.1016/j.ceramint.2018.09.240

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書 2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of precursor concentration and growth time on the surface morphology and crystallinity of α-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> thin films fabricated by mist chemical vapor deposition2018

    • 著者名/発表者名
      NAKABAYASHI Yuji、YAMADA Satoru、ITOH Satoshi、KAWAE Takeshi
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 126 号: 11 ページ: 925-930

    • DOI

      10.2109/jcersj2.18082

    • ISSN
      1348-6535, 1882-0743
    • 年月日
      2018-11-01
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] B-doped diamond field effect transistor with ferroelectric vinylidene fluoride-trifluoroethylene gate insulator2017

    • 著者名/発表者名
      Ryota Karaya, Ikki Baba, Yosuke Mori, Tsubasa Matsumoto, Takashi Nakajima, Norio Tokuda and Takeshi Kawae
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 10S ページ: 10PF06-10PF06

    • DOI

      10.7567/jjap.56.10pf06

    • NAID

      210000148383

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ダイヤモンドFeFETに対する残留分極を用いた疑似ノーマリオフ動作に関する検証2020

    • 著者名/発表者名
      玉村達哉、山田 樹、松本 翼、中嶋宇史、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第67回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Inspection of pseudo normally-off operation of ferroelectric gate diamond FET with partially O-terminated channel structure2019

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Kawae
    • 学会等名
      11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 部分O終端構造化ダイヤモンド表面伝導層をチャネルとした強誘電体ゲートFETの作製2019

    • 著者名/発表者名
      玉村達哉、中嶋宇史、松本翼、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第36回 強誘電体応用会議
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 部分O終端チャネルを用いたダイヤモンドFeFETの疑似ノーマリオフ動作化に関する検討2019

    • 著者名/発表者名
      玉村達哉、山田 樹、高橋和暉、中嶋宇史、松本翼、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第80回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 強誘電体をゲートとした酸化物TFTの開発と将来構想~ワイドギャップ半導体から高温超伝導体まで2018

    • 著者名/発表者名
      川江 健
    • 学会等名
      超伝導ウィンターセミナーSIS2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 強誘電体の残留分極を用いたダイヤモンド表面伝導層の空乏化に関する検証2018

    • 著者名/発表者名
      庄司駿輔、玉村達哉、中嶋宇史、松本翼、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第79回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] P(VDF-TrFE)をゲート絶縁膜としたBドープダイヤモンドFETの開発2018

    • 著者名/発表者名
      庄司駿輔、森 陽介、松本翼、中嶋宇史、小倉政彦、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第6回 強的秩序とその操作に関わる研究グループ研究会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Diamond field effect transistor with ferroelectric gate structure2017

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Kawae
    • 学会等名
      Collaborative Conference on Materials Research
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of H-terminated diamond MISFET with Al2O3 as buffer layer2017

    • 著者名/発表者名
      S. Shoji, H. Furuichi, and T. Kawae
    • 学会等名
      6th Internationalt Symposium on Organic and Inorganica Electric Materials and Related Nanotechnology
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] P(VDF-TrFE)をゲートとしたボロンドープダイヤモンドFET2017

    • 著者名/発表者名
      森 陽介、柄谷涼太、馬場一気、吉田稜、中嶋宇史、松本翼、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第34回 強誘電体応用会議
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2021-02-19  

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