研究課題/領域番号 |
17H03273
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
計測工学
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研究機関 | 千葉大学 |
研究代表者 |
橋本 研也 千葉大学, 大学院工学研究院, 教授 (90134353)
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研究分担者 |
大森 達也 千葉大学, 大学院工学研究院, 准教授 (60302527)
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研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2021-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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配分額 *注記 |
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2020年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2019年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2018年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2017年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円)
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キーワード | 弾性表面波 / バルク弾性波 / 光プローブ / サニャック干渉計 / マイケルソン干渉計 / 絶対振幅測定 / 超音波顕微鏡 / 弾性振動 / 絶対振幅計測 / 弾性表面波素子 / バルク弾性波素子 / 弾性振動観測 / 弾性振動可視化装置 / 超音波計測 / レーザプローブ / 弾性波素子 |
研究成果の概要 |
本研究では、現有の弾性振動観測装置にサニャック干渉計(SI)とマイケルソン干渉計(MI)を同軸で組み込み、同一地点の弾性振動を両干渉計で計測することにより、SI出力からの絶対振幅評価法の実現を目指した。 実際に同時観測を行った結果、両観測結果の間に非常に強い相関が得られた。このため、狭い同一領域を両干渉計で観測する一方で、MIで絶対振幅を求めることにより、SIの観測結果を校正することができ、絶対振幅の評価機能を実現することができた。 なお、測定系のダイナミックレンジを拡大するための新たな受信回路を提案している。
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研究成果の学術的意義や社会的意義 |
現在の通信機器には、弾性表面波(SAW)やバルク弾性波(BAW)素子等を利用した高周波(RF)機能素子が多用されている。理論限界に近い性能が得られる現在では、素子の動作と直結した弾性波の伝搬姿態を観測する手段が渇望されている。 本申請者らはRF帯での微小弾性振動を高感度で、しかも2次元的に超高速測定する弾性振動観測装置を開発している。本研究では、この装置に対して振動の振幅絶対値を求める機能を付加し、より一層の高性能・高機能化を目的としている。達成された研究成果は、SAW/BAWデバイス領域に限らず、超音波顕微鏡に代表される超音波イメージング全般への展開が期待される。
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