| 研究課題/領域番号 |
17K06107
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 神奈川大学 (2019)
防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群) (2017-2018) |
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研究代表者 |
由井 明紀 神奈川大学, 工学部, 教授 (70532000)
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| 研究分担者 |
北嶋 孝之 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), システム工学群, 准教授 (50546174)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2019年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2018年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円)
2017年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
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| キーワード | 静圧軸受 / 水道水 / 定流量軸受 / シリンダポンプ / 作動流体 / 定流量 / 静圧テーブル / 片側リセス / 水 / アクリル製可視テーブル / 速度制御 / 圧力 / テーブル静剛性 / テーブル負荷容量 / 水静圧軸受 / 定流量ポンプ / プランジャーポンプ / テーブル / 工作機械 / 環境技術 / 機械工作 / 機械要素 / 材料加工 / 水資源 |
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| 研究成果の概要 |
ウエハ加工用ロータリ研削盤の静圧軸受に搭載するための，定流量で，脈動が少なく，低流量で駆動できる単純構造な作動流体供給システムを新たに開発し，その性能を評価した．本実験の範囲内では，歯車ポンプより，シリンダポンプの方が定流量性能は高いことを明らかにした．本実験装置では，質量56.2kgを搭載した際のテーブル静剛性は28.456N/μmであった．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
高精度加工が要求される半導体製造分野では，ウエハの汚染を嫌う．一方，半導体加工機の案内面には静圧軸受の採用が必要となり，近年の大口径化，ウエハの難削化に伴い高剛性な静圧軸受が求められている．本研究では，シリンダポンプを用いた定流量水静圧システムを試作・評価し，今後の実用化の道を開いた．
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