| 研究課題/領域番号 |
17K06356
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 高知工科大学 |
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研究代表者 |
牧野 久雄 高知工科大学, システム工学群, 教授 (40302210)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2019年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2018年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2017年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | 酸化亜鉛 / 透明導電膜 / プラズマ処理 / 欠陥制御 / 耐熱性 / 硬X線光電子分光法 / 格子欠陥 / 粒界 / 結晶極性 / 発光特性 / 電気特性 / 欠陥 / 半導体物性 / 電子・電気材料 / 表面・界面物性 |
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| 研究成果の概要 |
透明導電膜は各種光・電子デバイスに必要不可欠な部材であり、低温成膜での基本特性の向上、高温など過酷な環境下での耐性向上などが求められている。本研究は、豊富な資源、毒性のない安全な材料として優位性を有する酸化亜鉛透明導電膜について、酸化亜鉛の特徴の一つである結晶極性の制御が薄膜特性や耐熱性にもたらす効果、プラズマ処理や不活性化膜を駆使した材料設計、物性変化に対するメカニズムの解明を通して、課題解決に寄与するものである。多結晶膜での酸化亜鉛極性制御技術の構築、不活性化膜による高耐熱性透明導電膜の実現などの成果とともに、極性制御によるセンサ機能開拓の可能性が示された。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
酸化亜鉛薄膜の電気特性や光学特性に対する結晶極性面の影響は従来単結晶薄膜で示されてきたが、本研究の多結晶薄膜でも強い影響があること、さらに多結晶薄膜に特徴的な粒界特性への影響を示したことは、薄膜成長メカニズム、欠陥生成メカニズムに対する結晶極性の効果を示唆するものであり、学術的な意義がある。低温成膜での特性向上や高温での耐熱性のある透明導電膜の実現は、低温プロセスによる省エネルギー化や過酷環境下での信頼性の向上に寄与し、持続可能な社会、安全安心な社会の構築に寄与する。
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