| 研究課題/領域番号 |
17K14095
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
グエン・ヴァン トゥアン 東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 特任助教 (30795117)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2018年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2017年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | Micro/Nano devices / Microfabication / Nanotechnology / MACE / Nano-pillars / Nanopores / Nanochannels / micro/nano systems |
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| 研究成果の概要 |
This research focuses on metal-assisted chemical etching method for micro/nano device fabrication. Not only high aspect ratio structures are targeted, but also micro/nano devices with specific applications are focused.
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
The research results have been reported in the highlight journals as well as largest conferences in Micro/Nano field.
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