| 研究課題/領域番号 |
18360157
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
松浦 祐司 東北大学, 大学院・医工学研究科, 教授 (10241530)
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| 研究分担者 |
岩井 克全 国立仙台電波工業高等専門学校, 情報通信工学科, 助教 (10361130)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
17,350千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 2,850千円)
2008年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円)
2007年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
2006年度: 5,000千円 (直接経費: 5,000千円)
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| キーワード | 中空ファイバ / 真空紫外 / 軟X線 / X線伝送 / 中空導波路 / レーザ誘起プラズマ |
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| 研究概要 |
極紫外(EUV)光・軟X線という伝送路未開の領域を開拓し, 可視-近赤外領域で一般的に使用されているガラス光ファイバのように, 柔軟かつ高効率な伝送路を実現することを目的とする. その方法として, EUV・軟X線の波長の全域をほぼ完璧に透過する唯一の材料,「真空」をコアとする中空光ファイバを選び, その構成材料や構造などについて最適設計を行うとともに, 製造方法をあらたに開発した. また, 開発した中空光ファイバを用いた新機能を有するX線検査装置の試作・評価を行った.
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