| 研究課題/領域番号 |
18760258
|
|---|
| 研究種目 |
若手研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
|
|---|
| 研究機関 | 岡山県立大学 |
|---|
研究代表者 |
岸原 充佳 岡山県立大学, 情報工学部, 准教授 (50336905)
|
|---|
| 連携研究者 |
内海 裕一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (80326298)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2006 – 2008
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
|
| 配分額 *注記 |
3,310千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 210千円)
2008年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2007年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2006年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
|
|---|
| キーワード | 情報通信工学 / 先端機能デバイス / デバイス設計・製造プロセス / 放射線、X線、粒子線 / マイクロ・ナノデバイス / ミリ波 / 導波管 / 放射光 / 放射光エッチング / マイクロデバイス / スパッタ蒸着 / 導波管ベンド |
|---|
| 研究概要 |
本研究では,放射光によるテフロンの微細加工と表面への金属の蒸着を通して,ミリ波・サブミリ波領域での応用が期待できる導波路および素子を構成する技術の開発を試みた.Q帯(33-50GHz)で動作する直線導波管,ベンド導波管の試作および測定を行い,製作プロセスの確立を行った.試作した導波管は,良好な導波特性が得られることを確認している.
|
