| 研究課題/領域番号 |
18H01360
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
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| 研究機関 | 新潟大学 |
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研究代表者 |
新田 勇 新潟大学, 自然科学系, 教授 (30159082)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
17,550千円 (直接経費: 13,500千円、間接経費: 4,050千円)
2020年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2019年度: 6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
2018年度: 8,580千円 (直接経費: 6,600千円、間接経費: 1,980千円)
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| キーワード | 広視野計測 / レーザ走査干渉計 / 広視野レーザ顕微鏡 / ワンショット干渉計測 / 金属成膜参照板 / 振動 / ロバスト / ナノ計測 / Laser interferometry / Wide field of view / Saw tooth / Single shot / Metal coated reference / Sawtooth |
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| 研究成果の概要 |
研究代表者は既存の装置より約400倍広いレーザ走査型干渉計を実現した．参照板に金属薄膜を成膜することで，1枚の干渉縞画像から試験片の形状がナノ精度で決定できる新規のワンショット計測手法も開発した．干渉計測は振動に弱く，極力振動を排除した環境で行われる．このため，測定精度が高いにもかかわらず加工機上で干渉法を適用することはできなかった．本研究では，新規ワンショット計測法が振動に対して極めて強いことを示した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
市販の顕微干渉計は光学顕微鏡をベースとしているために視野が限定的である．これに対して，既開発の広視野レーザ顕微鏡は約400倍視野が広い．干渉計として使用すれば，400倍広い領域のナノ形状計測が可能である．最近開発した新規ワンショット計測法を組み合わせることで，振動に対してロバストな形状計測手法が確立できる．
本研究では，新規ワンショット計測法の振動に対するロバスト性を実験により確認した．本成果は，干渉法を机上計測に適用できることを明らかにした．
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