研究課題/領域番号 |
18K03873
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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研究機関 | 岡山大学 |
研究代表者 |
岡本 康寛 岡山大学, 自然科学研究科, 准教授 (40304331)
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研究分担者 |
篠永 東吾 岡山大学, 自然科学研究科, 助教 (60748507)
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研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2020年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2019年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2018年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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キーワード | 銀ナノワイヤ透明導電膜 / 近赤外光 / パルスレーザ / 除去加工 / 視認性 / 偏光 / 電磁場解析 / フレキシブル / 色差 / ヘーズ / 銀ナノワイヤ / レーザ / パルス幅 |
研究成果の概要 |
情報化社会において重要なインターフェースのフレキシブル化に貢献できる銀ナノワイヤ透明導電膜に対する近赤外パルスレーザによる高品位除去加工を目指して,レーザ光照射条件と除去形態を評価するとともに,除去痕が視認性に及ぼす影響を議論した.良好な絶縁性を確保できる照射条件においては,パルス幅が短い方が熱的な影響は少なくなるものの,オーバーコート層で直径100nm程度の銀ナノワイヤの除去痕が顕在化し,視覚的に認識されやすくなる.特にピコ秒以下では偏光特性の影響を受けて除去痕の存在が顕著になることから,低視認性の除去加工を実現するためにはナノ秒オーダーのパルス幅が適していることが明かとなった.
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研究成果の学術的意義や社会的意義 |
情報化社会でインターフェースのフレキシブル化は重要であり,それを実現するためにはパルスレーザ光を用いた銀ナノワイヤ透明導電膜への回路形成(絶縁領域形成)プロセスが求められることから,銀ナノワイヤの除去プロセス特性と除去領域の視認性を検討した.その結果,銀ナノワイヤのレーザプロセス領域の視認性は,可視光波長より小さな粒子が作用するレイリー散乱とオーバーコート層の熱的変化が相互に影響さすることから,フェムト秒やピコ秒よりもナノ秒オーダーのパルスレーザを用いる方がレイリー散乱に起因する銀ナノワイヤの除去痕とオーバーコート層の変色の両方を低減できることが明かとなった.
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