| 研究課題/領域番号 |
18K04022
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
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| 研究機関 | 岡山大学 |
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研究代表者 |
中村 幸紀 岡山大学, 自然科学研究科, 講師 (90574012)
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| 研究分担者 |
涌井 伸二 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 名誉教授 (70334472)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2020年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2019年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2018年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 空圧式除振装置 / 空気ばね / 圧力制御 / Sinusoidal補償器 / 内圧推定 / 空気ばね剛性 / 多自由度空圧式除振装置 / 除振率 / 圧力推定 / モデリング / 圧力脈動 / 振動制御 / 圧力外乱 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，圧縮空気圧の変動により生じる圧力外乱の補償法と配管共振を抑制するための圧力推定について検討した．Central Pattern Generatorや繰返し制御器などを用いて振動の抑制効果を改善した．さらに圧力外乱の抑制効果と床からの振動に対する除振性能を両立した制御系の設計を提案した．またUnscented Kalman Filterや粒子フィルタを使用した圧力推定についても検討した．推定に要する計算時間の短縮方法などを提案した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
圧力外乱は，その周期が圧縮空気の消費流量に依存して不規則に変動する．さらに，配管共振は圧力外乱による振動を増幅させる要因となり得る．よって同外乱の補償法を提案した本研究の成果は学術的意義を有している．また本研究の成果により，振動の抑制効果が改善されると，除振装置に搭載された精密ステージの位置決め精度が向上し，小型で微細なLSIの製造が期待できる．このため本研究は社会的意義も有している．
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