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大気圧プラズマ気相蒸着法による高透過選択性シリカ膜の常温常圧製膜

研究課題

研究課題/領域番号 18K04814
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分27010:移動現象および単位操作関連
研究機関広島大学

研究代表者

長澤 寛規  広島大学, 先進理工系科学研究科(工), 助教 (30633937)

研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2020年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2019年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2018年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワード大気圧プラズマ / 化学気相蒸着 / 有機無機ハイブリッドシリカ膜 / 分子ふるい膜 / 常温常圧製膜 / 膜分離 / 多孔性シリカ膜 / プラズマCVD
研究成果の概要

本研究では,大気圧プラズマCVD法で作製したシリカ膜の透過選択性の向上を目指して,様々な製膜条件が膜構造および透過特性に及ぼす影響を明らかにした.シリカ前駆体(hexamethyldisiloxane(HMDSO)およびtetramethyldisiloxane(TMDSO)を用いた)の分子構造や放電ガス組成(希釈ガス種(HeまたはAr)や添加ガス(N2)濃度)を制御することによって,シリカネットワークがつくるサブナノ細孔サイズを制御できることが分かった.得られた膜は,優れた水素透過選択性を示した.

研究成果の学術的意義や社会的意義

大気圧プラズマCVD法はシリカ膜を常温常圧で製膜できる技術であり,優れた分子ふるい性を有するシリカ膜を簡便に製膜できる技術である.本研究の最も重要な成果は,製膜条件を変化させることによって,得られる膜の細孔構造や透過特性を制御できることを明らかにした点にある.製膜機構の理解が深まったことで,更なる高透過選択膜の開発が期待される.また,本研究成果は,分離対象に応じて様々な特性を持つシリカ膜を作り分ける可能性を示すものであり,様々な分離系でシリカ膜の実用化を促進する画期的な成果である.

報告書

(4件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実施状況報告書
  • 2018 実施状況報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて 2021 2020 2019 2018

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (15件) (うち国際学会 7件、 招待講演 4件)

  • [雑誌論文] TiO2 Coatings Via Atmospheric-Pressure Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for Enhancing the UV-Resistant Properties of Transparent Plastics2021

    • 著者名/発表者名
      Xu Jing、Nagasawa Hiroki、Kanezashi Masakoto、Tsuru Toshinori
    • 雑誌名

      ACS Omega

      巻: 6 号: 2 ページ: 1370-1377

    • DOI

      10.1021/acsomega.0c04999

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Ultrafast Synthesis of Silica-Based Molecular Sieve Membranes in Dielectric Barrier Discharge at Low Temperature and Atmospheric Pressure2020

    • 著者名/発表者名
      Nagasawa Hiroki、Kagawa Takahiko、Noborio Takuji、Kanezashi Masakoto、Ogata Atsushi、Tsuru Toshinori
    • 雑誌名

      Journal of the American Chemical Society

      巻: 143 号: 1 ページ: 35-40

    • DOI

      10.1021/jacs.0c09433

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 大気圧プラズマCVD法によるハイブリッドシリカ膜の常温常圧製膜2019

    • 著者名/発表者名
      長澤 寛規
    • 雑誌名

      膜

      巻: 44 ページ: 10-15

    • NAID

      130007593158

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Atmospheric-Pressure Plasma-Assisted Synthesis of Silica Membranes for Gas Separation2021

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Nagasawa
    • 学会等名
      2020 Dalian University of Technology-Overseas Partner Universities Series Online Exchange Conference
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 誘電体バリア放電を用いた大気圧プラズマCVDによるシリカ膜の高速製膜2021

    • 著者名/発表者名
      長澤 寛規,登尾 拓史,金指 正言,都留 稔了
    • 学会等名
      化学工学会第86年会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧プラズマCVD 法によるLayered-hybridシリカ膜の作製2020

    • 著者名/発表者名
      川崎貢功,長澤寛規,金指正言,都留稔了
    • 学会等名
      日本膜学会第42年会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧プラズマCVD法layered-hybridシリカ膜の気体透過特性2020

    • 著者名/発表者名
      川崎貢功,長澤寛規,金指正言,都留稔了
    • 学会等名
      膜シンポジウム2020
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧プラズマCVD法による高分子支持体へのシリカ膜の作製と気体透過特性2020

    • 著者名/発表者名
      川崎貢功,長澤寛規,金指正言,都留稔了
    • 学会等名
      化学工学会広島大会2020
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧プラズマCVDを用いた分子ふるいシリカ膜の気体透過特性と構造制御2020

    • 著者名/発表者名
      登尾 拓史,長澤 寛規,金指 正言,都留 稔了
    • 学会等名
      化学工学会第51回秋季大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Plasma-assisted low-temperature fabrication of silica-based membranes for gas separation2019

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Nagasawa
    • 学会等名
      9th International Symposium on Inorganic Membranes
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Facile synthesis of microporous silica membranes via atmospheric-pressure plasma-enhanced CVD2019

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Nagasawa, Takuji Noborio, Masakoto Kanezashi, Toshinori Tsuru
    • 学会等名
      12th Conference of the Aseanian Membrane Society
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] シリカ系多孔膜の大気圧プラズマCVD製膜および気体透過特性2019

    • 著者名/発表者名
      長澤 寛規
    • 学会等名
      第13回 中四国若手CE合宿
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Plasma-assisted low temperature facile synthesis of silica membranes and their application in gas separation2019

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Nagasawa
    • 学会等名
      China-Japan Bilateral Symposium on Advanced Membranes
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 大気圧プラズマCVDシリカ膜の気体透過特性と構造制御2019

    • 著者名/発表者名
      登尾 拓史,長澤 寛規,金指 正言,都留 稔了
    • 学会等名
      日本膜学会第41年会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 大気圧プラズマCVD条件がシリカ膜の膜構造と気体透過特性に及ぼす影響2019

    • 著者名/発表者名
      登尾 拓史,長澤 寛規,金指 正言,都留 稔了
    • 学会等名
      化学工学会姫路大会2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Atmospheric-pressure plasma-enhanced CVD of microporous SiO2 membranes in a direct barrier discharge2018

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Nagasawa,Takahiko Kagawa, Masakoto Kanezashi, Toshinori Tsuru
    • 学会等名
      ASCON-IEEChE 2018
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Atmospheric-pressure plasma-enhanced CVD for low-temperature rapid synthesis of silica membranes2018

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Nagasawa,Takahiko Kagawa, Masakoto Kanezashi, Toshinori Tsuru
    • 学会等名
      15th International Conference on Inorganic Membranes
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Plasma-deposition of silica membranesfor gas separation in atmospheric-pressure dielectric barrier discharges2018

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Nagasawa,Takahiko Kagawa, Masakoto Kanezashi, Toshinori Tsuru
    • 学会等名
      The 11th Conference of the Aseanian Membrane Society
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会

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公開日: 2018-04-23   更新日: 2022-01-27  

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