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C60イオンに対する阻止能は炭素イオンの60倍か?~二次粒子測定によるアプローチ

研究課題

研究課題/領域番号 18K05005
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分31010:原子力工学関連
研究機関国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構

研究代表者

鳴海 一雅  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子応用研究所 先進ビーム利用施設部, 次長 (90354927)

研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2020年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2019年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2018年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
キーワード阻止能 / C60イオン / スパッタリング / 二次電子放出
研究成果の概要

従来の重イオンをはるかに超える高密度エネルギー付与のツールとしてビーム利用の拡大が期待されるフラーレンイオンについて、ビーム利用研究が拠って立つ阻止能に密接に関わるスパッタリング収量を、金及び非晶質炭素について核的衝突が支配的な速度領域において初めて系統的に測定した。その結果、C60、C70イオンによる金のスパッタリング収量はそれぞれCイオンの場合の120~240倍、140~280倍程度になった。また、シミュレーションとの比較により核的衝突に由来することがわかった。非晶質炭素の場合には、核的衝突が支配的な速度領域にもかかわらず、観測されたスパッタリングは電子励起に由来することを明らかにした。

研究成果の学術的意義や社会的意義

イオンビーム利用研究は理論・実験両面での膨大な阻止能データ及びそれに密接に関連する物理量の蓄積の上に成り立っている。研究開始当初はフラーレンイオンにはそのようなデータがほぼ存在していなかった。本研究は、C60、C70イオンによる金及び非晶質炭素のスパッタリングについて、同じ速度領域におけるCイオンと比較できる形で系統的に観測結果を提示したことに、上記の観点で大きな意義がある。また、金属同様に電気伝導性を持つ非晶質炭素において、核的衝突が支配的な速度領域で電子励起に由来するスパッタリングのみが観測されることを示したことは、イオンビーム・固体相互作用研究の常識を覆しかねない成果である。

報告書

(7件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 2018 実施状況報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2024 2023 2022 2020 2019

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 4件、 招待講演 3件)

  • [雑誌論文] Sputtering Yields of Si Bombarded with 10-540-keV C60 Ions2022

    • 著者名/発表者名
      Narumi Kazumasa、Naramoto Hiroshi、Yamada Keisuke、Chiba Atsuya、Saitoh Yuichi
    • 雑誌名

      Quantum Beam Science

      巻: 6 号: 1 ページ: 12-12

    • DOI

      10.3390/qubs6010012

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] フラーレンイオン衝撃による炭素スパッタリング2024

    • 著者名/発表者名
      鳴海一雅 , 山田圭介 , 平野貴美 , 千葉敦也 , 齋藤勇一
    • 学会等名
      日本物理学会2024年春季大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Carbon Sputtering by C60- and C70-ion Bombardment2023

    • 著者名/発表者名
      Narumi Kazumasa , Yamada Keisuke , Hirano Yoshimi , Chiba Atsuya , Saito Yuuichi
    • 学会等名
      21st International Conference on Radiation Effects in Insulators (REI-21)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] フラーレンイオン衝撃によるスパッタリング2023

    • 著者名/発表者名
      鳴海一雅 , 山田圭介 , 平野貴美 , 千葉敦也 , 齋藤勇一
    • 学会等名
      第33回日本MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] C60、C70イオンによる炭素のスパッタリング2023

    • 著者名/発表者名
      鳴海一雅 , 平野貴美 , 山田圭介 , 千葉敦也 , 齋藤勇一
    • 学会等名
      QST高崎サイエンスフェスタ2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Nonlinear effect on Au sputtering by C60- and C70-ion bombardment2022

    • 著者名/発表者名
      Narumi Kazumasa, Yamada Keisuke, Hirano Yoshimi, Chiba Atsuya, Yuri Yosuke, Saito Yuuichi
    • 学会等名
      29th international conference on atomic collisions in solids and 11th international symposium on swift heavy ions in matter
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Measurement of Au sputtering yields by C60-ion bombardment2020

    • 著者名/発表者名
      鳴海 一雅、山田 圭介、平野 貴美、千葉 敦也、百合 庸介、齋藤 勇一
    • 学会等名
      第21 回「イオンビームによる表面・界面の解析と改質」 応用物理学会薄膜・表面物理分科会 特別研究会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] C60イオン衝撃による金のスパッタリング収量の測定III2020

    • 著者名/発表者名
      鳴海 一雅、山田 圭介、平野 貴美、千葉 敦也、百合 庸介、齋藤 勇一
    • 学会等名
      日本物理学会2020年秋季大会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] C60イオン衝撃による金のスパッタリング収量の測定II2020

    • 著者名/発表者名
      鳴海 一雅、山田 圭介、千葉 敦也、平野 貴美、百合庸介、斎藤 勇一
    • 学会等名
      日本物理学会第75回年次大会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Recent Activities with the Use of C60 Ion Beams in TIARA, QST/Takasaki2019

    • 著者名/発表者名
      鳴海 一雅、千葉 敦也、平野 貴美、山田 圭介、斎藤 勇一
    • 学会等名
      The 24th International Conference on Ion-Surface Interactions (ISI-2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] C60イオン衝撃による金のスパッタリング収量の測定2019

    • 著者名/発表者名
      鳴海 一雅、山田 圭介、千葉 敦也、平野 貴美、斎藤 勇一
    • 学会等名
      日本物理学会2019年秋季大会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Development of a highly-intense negative C60 ion source for a tandem accelerator and its applications2019

    • 著者名/発表者名
      鳴海 一雅、千葉 敦也、平野 貴美、山田 圭介、斎藤 勇一
    • 学会等名
      The 23rd International Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions (IISC-23)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2018-04-23   更新日: 2025-01-30  

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