| 研究課題/領域番号 |
18K14156
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| 研究種目 |
若手研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 審査区分 |
小区分30020:光工学および光量子科学関連
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
牧野 孝太郎 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究員 (30727764)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2020年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2019年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2018年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 相変化材料 / カルコゲナイド / テラヘルツ波デバイス / プラズモニックデバイス / テラヘルツ波フォトニクス / アモルファス / テラヘルツ波分光 / テラヘルツ波 / プラズモニクス |
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| 研究成果の概要 |
本研究ではまずGe2Sb2Te5相変化材料のテラヘルツ波特性を解明するため、テラヘルツ波時間領域分光測定をアニール温度の異なる相変化薄膜に対して実施し、光学定数や誘電率がアニール温度によって大きく変化することを明らかにした。この結果により、相変化材料が様々なテラヘルツ波デバイスへ応用可能であることが確かめられた。次に、実際のデバイス応用を踏まえ、相変化材料を相変化させる手法の開発を行った。光学的手法及び電気的な手法の開発を行った。レーザーを任意の位置に高速で照射するシステムや、透明電極によるヒーターの開発を行った。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
これまでに報告されているテラヘルツ波デバイスは一度作製すると後から特性を変化させることは困難であるが、相変化材料を用いることで目的に応じて繰り返し特性を変化させることが可能となる。制御手法が確立できれば実用上の大きなメリットとなる。また、不揮発メモリの効果や書き換え可能性を用いることでこれまでに提案されていない新たな応用が可能になる可能性を秘めており、意義のある研究である。また、本研究によりこれまであまり明らかとなっていなかった相変化材料とテラヘルツ波の相互作用を解明することができ、相変化材料研究の立場からも意義のある結果を得ることができた。
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