| 研究課題/領域番号 |
19206017
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
新野 秀憲 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40196639)
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| 研究分担者 |
吉岡 勇人 東京工業大学, 精密工学研究所, 准教授 (90361758)
澤野 宏 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (40514295)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
48,490千円 (直接経費: 37,300千円、間接経費: 11,190千円)
2008年度: 28,210千円 (直接経費: 21,700千円、間接経費: 6,510千円)
2007年度: 20,280千円 (直接経費: 15,600千円、間接経費: 4,680千円)
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| キーワード | マザーマシン / ナノ加工 / ナノ加工特性 / ナノモーション制御 / 微細形状創成 / 超精密加工システム / ナノ位置決め / 多軸同時制御 / ナノパターン / ナノメートル位置決め / 超精密加工 / 高安定構造 / 超微細加工 / ナノ運動制御 |
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| 研究概要 |
本研究では先端科学技術分野で重要となる広領域を対象とする超精密加工を実現するため,広域ナノパターンジェネレータ(ANGEL) と称する超精密加工システムの開発を行なっている.システムを構成する機構部,センサ部,制御部などの各構成要素は,理想的な構造を実現するために新たに開発したものである.開発した加工システムの性能評価を行なった結果,加工対象表面に所要のナノメートルオーダの微細加工を実現可能であることを確認している.
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