| 研究課題/領域番号 |
19360051
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
平尾 雅彦 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 教授 (80112027)
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| 研究分担者 |
荻 博次 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 准教授 (90252626)
中村 暢伴 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助教 (50452404)
垂水 竜一 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (30362643)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2009
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| 研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
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| 配分額 *注記 |
19,760千円 (直接経費: 15,200千円、間接経費: 4,560千円)
2009年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2008年度: 6,760千円 (直接経費: 5,200千円、間接経費: 1,560千円)
2007年度: 10,010千円 (直接経費: 7,700千円、間接経費: 2,310千円)
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| キーワード | 弾性定数 / ナノ薄膜 / フォノン共鳴 / 極短パルス光計測 / 薄膜 / フェムト秒レーザー / 貴金属 / 低温計測 / ダイヤモンド薄膜 / 非破壊検査 |
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| 研究概要 |
厚さがナノメートルオーダーの薄膜(ナノ薄膜)の力学的性質を正確に計測することは,ナノ薄膜を用いたデバイスの健全性評価という実用的な理由だけでなく,物質の原子数が一方向に極端に減少したときの力学的性質の変化という学術的な興味も深い.本プロジェクトではフェムト秒パルスレーザーを利用して,薄膜内に数十～数百GHzという超高周波の弾性波を励起し,その音速を計測する手法を確立した.そして,各種ナノ薄膜の弾性率評価およびこれを利用した健全性評価法を提案した.
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