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電界放出素子のその場特性評価装置の開発と素子特性ゆらぎの要因解析

研究課題

研究課題/領域番号 19560024
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関京都大学

研究代表者

後藤 康仁  京都大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (00225666)

研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2008年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2007年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
キーワード電界放出 / その場解析 / 特性揺らぎ / 電界放射顕微鏡像 / 切片傾きチャート / ファウラー-ノルドハイムプロット / 電流変動 / 同時取り込み / FEM像 / SKチャート / FNプロット / その場特性解析
研究概要

電界放出素子の特性ゆらぎの要因解析のために、電子放出その場特性評価装置の開発を行った.高速A/D変換ボードとCCDカメラをPCに接続し、実験装置とのインターフェースの開発を行った.電流と電圧の値をアナログ回路で一旦解析しやすい数値に変換する方法と直接PCに記録してソフトで解析する方法を検討し、それぞれの長所、短所を明らかにした.また、CCDカメラに記録した電界放射顕微鏡像と電流変動を対応付づけた.

報告書

(3件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2008

すべて 学会発表 (8件)

  • [学会発表] Improvement of in situ analyzer of field emission properties2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Gotoh, M. Kawasaki, H. Tsuji, and J. Ishikawa
    • 学会等名
      Proceedings of the 15th International Display Workshops
    • 発表場所
      Niigata(2008)(FED4-5)(pp.2073-2076)
    • 年月日
      2008-12-05
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] タングステンエミッタのFowler-Nordheimプロットの変動と電界放射顕微鏡像の同時観察2008

    • 著者名/発表者名
      河崎道人, 後藤康仁, 辻博司, 石川順三
    • 学会等名
      第49回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      松江(2008)(講演予稿集p.89)(30連合a-3)
    • 年月日
      2008-10-30
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] タングステンエミッタのFowler-Nordheimプロットの変動と電界放射顕微鏡像の同時観察2008

    • 著者名/発表者名
      河崎道人, 後藤康仁, 辻博司, 石川順三
    • 学会等名
      第49回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      松江市
    • 年月日
      2008-10-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] タングステンエミッタの電界放射顕微鏡像の変化と切片傾きチャート上の電界放出特性2008

    • 著者名/発表者名
      河崎道人, 後藤康仁, 辻博司, 石川順三
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      春日井(2a-N-6,講演予稿集 p.630)
    • 年月日
      2008-09-02
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] タングステンエミッタの電界放射顕微鏡像の変化と切片傾きチャート上の電界放出特性2008

    • 著者名/発表者名
      河崎道人, 後藤康仁, 辻博司, 石川順三
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      春日井市
    • 年月日
      2008-09-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電界電子放出特性その場解析アナログ回路の改良2008

    • 著者名/発表者名
      後藤康仁, 河崎道人, 辻博司, 石川順三
    • 学会等名
      電子情報通信学会電子デバイス研究会、電子情報学会技術報告
    • 発表場所
      浜松(ED2008-118(2008) p.45-48)
    • 年月日
      2008-08-05
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Observation of change in field emission microscope image and Fowler-Nordheim plot with in situ analyzer of field emission properties2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Gotoh, M. Kawasaki, H. Tsuji, J. Isihkawa
    • 学会等名
      The 21st International Vacuum Nanoelectronics Conference
    • 発表場所
      Wroclaw, Poland
    • 年月日
      2008-07-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Observation of change in field emission microscope image and Fowler-Nordheim plto with in situ analyzer of field emission properties2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Gotoh, M. Kawasaki, H. Tsuji, and J. Ishikawa
    • 学会等名
      Technical Digest of the 21st International Vacuum Nanoelectronics Conference
    • 発表場所
      Wroclaw(2008) p.60-61
    • 年月日
      2008-07-16
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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