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結晶基板の超量産を目指す遊離砥粒研磨加工の知的高度化

研究課題

研究課題/領域番号 19560107
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関埼玉大学

研究代表者

堀尾 健一郎  埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (60201761)

研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2008年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2007年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
キーワード精密研磨 / 両面研磨 / 精密部品加工 / ベベル形状 / 修正輪型研磨 / オスカー式研磨
研究概要

超量産仕上げ加工を実現するための遊離砥粒研磨技術について検討した. 両面研磨加工技術については新規開発したスケルトン型加工装置により加工状況の把握, およびそれに基づく加工メカニズムの考察が可能となった. 表面形状加工技術については, オスカー型と修正輪型それぞれについて現象観察に基づく考察, および試料保持方法などの各種技術開発により数100倍の高能率化が図れる接触型研磨技術が適用可能であることを示した.

報告書

(3件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2008

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (2件)

  • [雑誌論文] New Approaches of Bevel Shape Generation for Quartz Crystal2008

    • 著者名/発表者名
      Kenichiro Horio, Junichi Kaneko, Tsugio Yamazaki
    • 雑誌名

      Proceedings of American Society for Precision Engineering

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] New Approaches of Bevel Shape Generation for Quartz Crystal2008

    • 著者名/発表者名
      Kenichiro Horio
    • 雑誌名

      Proceedings of American Society for Precision Engineering (CD-ROM)

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 可視化研磨機による加工面観察(第2報)-溝付き定盤の場合-2008

    • 著者名/発表者名
      山崎次男, 堀尾健一郎, 松原巧季, 金子順一
    • 学会等名
      精密工学会2008年度秋季学術講演会
    • 年月日
      2008-09-18
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 可視化研磨機による加工面観察(第2報)-溝付き定盤の場合-2008

    • 著者名/発表者名
      堀尾健一郎
    • 学会等名
      精密工学会2008年度秋季学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(仙台市)
    • 年月日
      2008-09-18
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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