研究課題
若手研究(B)
本研究により, 従来法では困難であった内径がミリメートルサイズの細穴内面へのDLC(Diamond-Like Carbon)成膜が可能となった.また, 細穴内を伝搬する電磁波の電磁界分布と電磁波からパワーを吸収することによって生成維持されるプラズマの分布とをSelf-consistentに解析できるシミュレーションコードを開発・運用し, 細穴内面の電磁界構造を明らかにするとともに, より長尺の細穴内面で均一にプラズマを生成するための指針を得た.
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Journal of Materials and Manufacturing Processes (印刷中)
Tribology Online Vol.3
ページ: 361-365
130000453665
Tribology Online 3
IEEE Conf. Proc. Int. Symp. Micro-NanoMechatronics and Human Science
ページ: 490-493
IEEE Conference proceedings of International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, 2007 (MHS'07).
Journal of Materials and Manufacturing Processes accepted