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構造傾斜領域の創出によるリラクサー薄膜のドメインエンジニアリング

研究課題

研究課題/領域番号 19H02421
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分26020:無機材料および物性関連
研究機関熊本大学 (2021)
東北大学 (2019-2020)

研究代表者

木口 賢紀  熊本大学, 先進マグネシウム国際研究センター, 教授 (70311660)

研究分担者 山田 智明  名古屋大学, 工学研究科, 教授 (80509349)
今野 豊彦  東北大学, 金属材料研究所, 教授 (90260447)
白石 貴久  東北大学, 金属材料研究所, 助教 (50758399)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
17,290千円 (直接経費: 13,300千円、間接経費: 3,990千円)
2021年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2020年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2019年度: 9,100千円 (直接経費: 7,000千円、間接経費: 2,100千円)
キーワードリラクサー / ドメインエンジニアリング / MPBエンジニアリング / PMN-PT / 薄膜 / 弾性場 / STEM / EELS / PMN-PT薄膜 / 格子ミスマッチ / ミスフィット歪み / 熱歪み / 相転移 / 加熱XRD測定 / CSD法 / 構造傾斜領域 / 組成相境界 / PZT / 90 °ドメイン / 熱応力 / ミスフィット転位 / ヘテロ界面 / リラクサー薄膜 / 歪み / 強誘電体 / 界面構造 / 相互拡散 / 分極ゆらぎ
研究開始時の研究の概要

本研究は、(1)3相共存ナノ組織の形成が期待されるPb(Mg1/3 Nb2/3)O3-PbTiO3-PbZrO3(PMN-PT-PZ)薄膜における構造傾斜領域の高密度化、(2)ナノサイズの分極のゆらぎ持つPMN薄膜との積層化によりミスフィット転位を利用した構造傾斜領域の高密度化、(3)分極ゆらぎの協奏効果の利用、によって薄膜ドメインエンジニアリング構築の学理を究明し、微細組織制御の普遍的な指導原理を確立することによって、「ドメインエンジニアリング」及び「MPBエンジニアリング」の考え方をエピタキシャル薄膜に発展させ、強誘電体組織設計の新展開を図る。

研究成果の概要

基板の弾性的拘束による歪みがPb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 (PMN-PT)薄膜の組織形成に及ぼす影響を系統的に調べた。(001)SrTiO3、(001)LSAT、(001)KTaO3単結晶基板上に成長したPMN-PT薄膜において、MPB組成域は熱応力に起因する歪みにより変化した。一方、ミスフィット転位芯の歪み場が正方晶相の90°ドメイン核生成サイトとして作用し、ドメイン間の空間的干渉によってドメイン幅が決定される。このように、薄膜-基板間の熱および格子ミスマッチがPMN-PT薄膜のMPB・ドメインエンジニアリングの支配因子であることを見出した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究成果は、リラクサー薄膜の強誘電性・圧電性を決定づける組成相境界(MPB)組成域とドメイン構造が、それぞれ薄膜基板間の熱応力と格子ミスマッチにより決定されることを実験的に解明した点に学術的な意義を持つ。特に、組成だけでなく残留歪み状態が機能発現の要であるMPBを決定づけることから、リラクサーや強誘電体薄膜の材料設計において歪み状態の制御が重要な意味を持つことが明らかとなり、これからのIoT社会に不可欠である圧電センサーやアクチュエーターの材料開発の基盤として、社会的意義をもつ。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実績報告書
  • 2019 実績報告書
  • 研究成果

    (46件)

すべて 2022 2021 2020 2019 その他

すべて 国際共同研究 (3件) 雑誌論文 (14件) (うち国際共著 2件、 査読あり 13件、 オープンアクセス 4件) 学会発表 (28件) (うち国際学会 7件、 招待講演 3件) 図書 (1件)

  • [国際共同研究] NaMLab(ドイツ)

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [国際共同研究] University of Nebraska(米国)

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [国際共同研究] State University of New York(米国)

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [雑誌論文] Lower-temperature processing of potassium niobate films by microwave-assisted hydrothermal deposition technique2022

    • 著者名/発表者名
      OKURA Masaki、ITO Yoshiharu、SHIRAISHI Takahisa、KIGUCHI Takanori、KONNO Toyohiko J.、FUNAKUBO Hiroshi、UCHIDA Hiroshi
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 130 号: 1 ページ: 123-130

    • DOI

      10.2109/jcersj2.21115

    • NAID

      130008139215

    • ISSN
      1348-6535, 1882-0743
    • 年月日
      2022-01-01
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] STEMの焦点深度に着目した蛍石型強誘電体ナノ構造解析2021

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀、今野豊彦
    • 雑誌名

      セラミックス

      巻: 56 ページ: 479-483

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Harnessing Phase Transitions in Antiferroelectric ZrO2 Using the Size Effect2021

    • 著者名/発表者名
      Lomenzo Patrick D.、Materano Monica、Mittmann Terence、Buragohain Pratyush、Gruverman Alexei、Kiguchi Takanori、Mikolajick Thomas、Schroeder Uwe
    • 雑誌名

      Advanced Electronic Materials

      巻: 8 号: 1 ページ: 2100556-2100556

    • DOI

      10.1002/aelm.202100556

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Ferroelectric and magnetic properties in ε-Fe2O3 epitaxial film2021

    • 著者名/発表者名
      Hamasaki Yosuke、Yasui Shintaro、Katayama Tsukasa、Kiguchi Takanori、Sawai Shinya、Itoh Mitsuru
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 119 号: 18 ページ: 182904-182904

    • DOI

      10.1063/5.0063021

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-Organized Solid-State Epitaxy of PZT Thin Films by Chemical Solution Deposition2021

    • 著者名/発表者名
      Takanori Kiguchi, Toyohiko J. Konno
    • 雑誌名

      KINKEN Research Highlights 2021

      巻: - ページ: 38-38

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • オープンアクセス
  • [雑誌論文] Epitaxial growth mechanism of Pb(Zr,Ti)O<sub>3</sub> thin films on SrTiO<sub>3</sub> by chemical solution deposition via self-organized seed layer2020

    • 著者名/発表者名
      KIGUCHI Takanori、SHIMIZU Takumi、SHIRAISHI Takahisa、KONNO Toyohiko J.
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 128 号: 8 ページ: 501-511

    • DOI

      10.2109/jcersj2.20027

    • NAID

      130007884008

    • ISSN
      1348-6535, 1882-0743
    • 年月日
      2020-08-01
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Interface reaction between PbTiO<sub>3</sub> epitaxial thin films and La-doped SrTiO<sub>3</sub> (001) substrates through edge dislocations induced by 90° domain formation2020

    • 著者名/発表者名
      SHIMIZU Takumi、KIGUCHI Takanori、SHIRAISHI Takahisa、KONNO Toyohiko J.
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 128 号: 8 ページ: 492-500

    • DOI

      10.2109/jcersj2.20028

    • NAID

      130007884009

    • ISSN
      1348-6535, 1882-0743
    • 年月日
      2020-08-01
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Enhanced intrinsic piezoelectric response in (001)-epitaxial single c-domain Pb(Zr,Ti)O3 nanorods2020

    • 著者名/発表者名
      Okamoto Kazuki、Yamada Tomoaki、Nakamura Kentaro、Takana Hidenori、Sakata Osami、Phillips Mick、Kiguchi Takanori、Yoshino Masahito、Funakubo Hiroshi、Nagasaki Takanori
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 117 号: 4 ページ: 042905-042905

    • DOI

      10.1063/5.0012998

    • NAID

      120006941030

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Energy storage properties of epitaxially grown xCaZrO3(1-x)NaNbO3 thin films prepared with chemical solution deposition method2020

    • 著者名/発表者名
      T. Shiraishi, S. Suzuki, T. Kiguchi, T. J. Konno
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 128 号: 4 ページ: 044102-044102

    • DOI

      10.1063/5.0004239

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Switchable third ScFeO3 polar ferromagnet with YMnO3-type structure2020

    • 著者名/発表者名
      Hamasaki Yosuke、Katayama Tsukasa、Yasui Shintaro、Shiraishi Takahisa、Akama Akihiro、Kiguchi Takanori、Taniyama Tomoyasu、Itoh Mitsuru
    • 雑誌名

      Journal of Materials Chemistry C

      巻: 8 号: 13 ページ: 4447-4452

    • DOI

      10.1039/c9tc07006k

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Epitaxial Growth Mechanism of Pb(Zr,Ti)O3 on SrTiO3 Thin Films by Chemical Solution Deposition through Self-Organized Seed Layer2020

    • 著者名/発表者名
      T. Kiguchi, T. Shimizu, T. Shiraishi, and T. J. Konno
    • 雑誌名

      J. Ceram. Soc. Jpn.

      巻: 128

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Local Interdiffusion of in PbTiO3 Epitaxial Thin Films on La-Doped SrTiO3 (001) Substrates through Misfit Dislocations2020

    • 著者名/発表者名
      T. Shimizu, T. Kiguchi, T. Shiraishi, and T. J. Konno
    • 雑誌名

      J. Ceram. Soc. Jpn.

      巻: 128

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Interface structure of Pb(Zr,Ti)O3/MgO(001) epitaxial thin film in early stage of Stranski-Krastanov growth mode2019

    • 著者名/発表者名
      Kiguchi Takanori、Kodama Yumiko、Shimizu Takumi、Shiraishi Takahisa、Wakiya Naoki、Konno Toyohiko J.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: SL ページ: SLLA08-SLLA08

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab3b13

    • NAID

      210000156954

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Short range biaxial strain relief mechanism within epitaxially grown BiFeO32019

    • 著者名/発表者名
      Bae In-Tae、Yasui Shintaro、Ichinose Tomohiro、Itoh Mitsuru、Shiraishi Takahisa、Kiguchi Takanori、Naganuma Hiroshi
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 9 号: 1 ページ: 1-10

    • DOI

      10.1038/s41598-019-42998-x

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] 強誘電体薄膜における固相エピタキシーのSTEM-EELS 解析2021

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀、渋谷直生、白石貴久、今野豊彦
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第77回学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Field-induced structural change in HfO2-based ferroelectric materials2021

    • 著者名/発表者名
      Takao Shimizu, Takanori Mimura, Yuki Tashiro, Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Toyohiko J. Konno, Osami Sakata, Hiroshi Funakubo
    • 学会等名
      2021 ISAF-ISIF-PFM Joint Conference
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] マイクロ波加熱式水熱堆積プロセスによるペロブスカイト型ニオブ酸塩配向体の高速成長2021

    • 著者名/発表者名
      大倉雅貴, 伊東良晴, 白石貴久, 木口賢紀, 今野豊彦, 舟窪 浩, 内田 寛
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第34回秋季シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Rapid and Low-Temperature Processing for Deposition of (K,Na)NbO3 Thick Films Using Microwave-Assisted Hydrothermal Reaction2021

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi UCHIDA, Masaki OKURA, Yoshiharu ITO, Takanori KIGUCHI, Toyohiko J. KONNO, Takahisa SHIRAISHI, Hiroshi FUNAKUBO
    • 学会等名
      Material Research Meeting (MRM) 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 先端電子顕微鏡法を用いた強誘電体薄膜の材料組織解析2021

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 2021年年会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] STEM-EELS法によるCSD法によるPb(Zr,Ti)O3エピタキシャル成長メカニズムの解明2021

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 粟飯原雅矢, 渋谷直生, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Core structure of threading dislocations in GaN2021

    • 著者名/発表者名
      Takanori Kiguchi, Yumiko Kodama, Yuichiro Hayasaka, Tomoyuki Tanikawa, Toyohiko J. Konno
    • 学会等名
      The 8th Asian Conference on Crystal Growthand Crystal Technology(CGCT-8)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] CSD法により堆積したPZT薄膜のエピタキシャル成長における前駆体の構造2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 粟飯原雅矢, 渋谷直生, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      MRM Forum 2020
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] CSD法により堆積したPZT薄膜前駆状態の解析2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 粟飯原雅矢, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会電子材料部会第40回電子材料研究討論会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/Pb(Zr0.6Ti0.4)O3人工超格子膜の分極回転がもたらす圧電応答の増大2020

    • 著者名/発表者名
      宋俊東, 山田智明, 海老原洋平, 坂田修, 木口賢紀, 吉野正人, 長崎正雅
    • 学会等名
      日本セラミックス協会電子材料部会第40回電子材料研究討論会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 基板がPMN-PTエピタキシャル薄膜の結晶構造 に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      粟飯原 雅矢, 木口 賢紀, 白石 貴久, 今野 豊彦
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第76回学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 化学溶液堆積法によるPZT薄膜エピタキシャル成長における前駆状態の解析2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 清水匠, 粟飯原雅矢, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第76回学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] PMN-PT エピタキシャル薄膜の結晶構造に及ぼす基板種の影響2020

    • 著者名/発表者名
      粟飯原雅矢, 木口賢紀, 今野豊彦
    • 学会等名
      令和2年度 第19回 日本金属学会東北支部研究発表大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] PMN-PT エピタキシャル薄膜の結晶構造に及ぼす基板種の影響2020

    • 著者名/発表者名
      粟飯原雅矢,木口賢紀,今野豊彦
    • 学会等名
      第139 回 金属材料研究所講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 基板種に依存したPZT 薄膜のMPB 組織の変化2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 清水匠, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2020年年会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MPB組成におけるPZT薄膜の組織と結合状態に及ぼす基板種の影響2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 清水匠, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] PZT薄膜のMPB組成域における微細組織に及ぼすミスフィット転位の影響2019

    • 著者名/発表者名
      清水匠, 粟飯原雅矢, 木口賢紀, 白石貴久, 今野 豊彦
    • 学会等名
      2019年度 東北大学金属材料研究所 共同利用・共同研究ワークショップ 強誘電体関連物質の機能発現に関する構造科学の新展開
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Structure and Electronic State of Misfit Strain Induced Morphotropic Phase Boundary Shift in Pb(Zr,Ti)O3 Epitaxial Thin Films on Various Substrate2019

    • 著者名/発表者名
      Takanori Kiguchi, Takumi Shimizu, Takahisa Shiraishi, Toyohiko J. Konno
    • 学会等名
      MRS 2019 Fall Meeting
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] PZT薄膜のMPB組成域における微細組織に及ぼす格子ミスマッチの影響2019

    • 著者名/発表者名
      清水匠, 粟飯原雅矢, 木口賢紀, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第39回電子材料研究討論会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Effect of elastic field on domain structure of PZT thin films in MPB composition2019

    • 著者名/発表者名
      Takumi Shimizu, Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Toyohiko J Konno
    • 学会等名
      13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Nanodomain Structure of Ferroelectric HfO2-Based Epitaxial Thin Films2019

    • 著者名/発表者名
      Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo, Toyohiko J. Konno
    • 学会等名
      13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 組成相境界近傍組成のPZT膜の電界による構造変化と圧電性の評価2019

    • 著者名/発表者名
      井上 英久, 清水 荘雄, 木口 賢紀, 白石 貴久, 舟窪 浩
    • 学会等名
      第80回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] PZT薄膜における組成相境界近傍の ドメイン構造に及ぼす弾性場の影響2019

    • 著者名/発表者名
      清水 匠, 木口 賢紀, 白石 貴久, 今野 豊彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 電子エネルギー損失分光法によるPZT薄膜の結合状態の分析2019

    • 著者名/発表者名
      木口 賢紀, 清水 匠, 粟飯原 雅矢, 白石 貴久, 今野 豊彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Short range biaxial strain relief mechanism within epitaxially grown BiFeO32019

    • 著者名/発表者名
      In-Tae Bae, 安井 伸太郎, 一ノ瀬 智浩, 伊藤 満, 白石 貴久, 木口 賢紀, 永沼 博
    • 学会等名
      第80回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Nanostructure Analyses of Hafnia-Based Ferroelectric Thin Films by Aberration-Corrected Electron Microscopy2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kiguchi, T. Shiraishi, T. Mimura, T. Shimizu, H. Funakubo, T.J. Konno
    • 学会等名
      The 10th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing (PRICM10)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] PbTiO3薄膜の界面急峻性に及ぼす導電性SrTiO3 基板の影響2019

    • 著者名/発表者名
      木口 賢紀, 清水 匠, 白石 貴久, 今野 豊彦
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第75回学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] PZTエピタキシャル薄膜の組成相境界近傍の微細構造2019

    • 著者名/発表者名
      木口 賢紀, 清水 匠, 白石 貴久, 今野 豊彦
    • 学会等名
      第36回強誘電体応用会議 (FMA36)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [図書] エレクトロニクス用セラミックスの応用、開発と評価手法, 第12章 セラミックスの特性評価手法、状態観察手法、第4節 電子セラミックスの微細組織,組成,電子状態の評価2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀(共著)
    • 出版者
      技術情報協会
    • ISBN
      9784861047985
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

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