| 研究課題/領域番号 |
19K04530
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
文 宗鉉 静岡大学, 電子工学研究所, 助教 (30514947)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2021年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2021年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2020年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2019年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 子デバイスおよび電子機器関連 / MEMS・NEMS / マイクロフォーカスエックス線 / 転写モールド法エミッタ作製方法 / 電子デバイスおよび電子機器関連 / ＭＥＭＳ・ＮＥＭＳ / X線 / マイクロフォーカスエックス線源 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
均一性に優れた先鋭なμmからnmサイズの微細構造作製が容易なマイクロエレクトロメカニカルシステム技術の一種、独自の転写モールド法を用いることで、電子放出面積の可変や電子放出点などを可変で、エックス線ビームフォーカスが決める、極微小電子放射源を用い超高精細・高分解能のエックス線発生源を開発する。
低仕事関数・高化学安定性のあるアモルファスカーボン等をエミッタ材料とし、フォーカス電極付き電流電圧特性計測システムを用いてエックス線出力安定性・均一性等との関係を究明し、焦点サイズが数μmレベルの半導体検査や医療診断分野用次世代高分解能マイクロフォーカスエックス線源の基礎研究の礎石を築く。
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| 研究成果の概要 |
均一性に優れた先鋭なμmからnmサイズの微細構造作製が容易なマイクロエレクトロメカニカルシステム技術の一種、独自の転写モールド法を用いることで、電子放出面積や電子放出点などが可変で、エックス線ビームフォーカスが決める、極微小電子放射源を用い超高精細・高分解能のエックス線発生源として、エミッタ基底部長さが1570nmから41nm、エミッタ先端極率が2.8nmの先鋭な極微小であり、1.3%の電子放出電流変動率を持つ高安定性先鋭な極微小電子放出源を作製し、エックス線出力変動率が１%程度の高安定性及び焦点サイズが数十μmレベルの高分解能エックス線発生源用ナノ微細構造電界放出アレイの試作が成功した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
高安定性・数十μmレベルの焦点サイズを持つナノ微細構造電界放出アレイを用いた高分解能マイクロフォーカスエックス線源の基礎研究により、先進的医療機器の創出の可能性を秘めており、医学と工学の発展に寄与するという学術的・学際的に大きな意義がある。
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