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1-5 keV 全域でブラッグ条件を満たす高出力多層膜回折格子分光器の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19K12642
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分80040:量子ビーム科学関連
研究機関東北大学

研究代表者

羽多野 忠  東北大学, 国際放射光イノベーション・スマート研究センター, 助教 (90302223)

研究分担者 小池 雅人  大阪市立大学, 大学院工学研究科, 客員教授 (50354973)
江島 丈雄  東北大学, 国際放射光イノベーション・スマート研究センター, 准教授 (80261478)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2021年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2020年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2019年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワードテンダーX線 / 多層膜 / 回折格子 / 分光器
研究開始時の研究の概要

軟X線で回折格子、硬X線で結晶によってX線分光技術が確立されている一方で、2-4 keVのギャップ領域では開発が遅れている。近年生物細胞内微量元素の内殻励起分光の需要により注目を浴びている1-5 keVのテンダーX線領域において、本研究で多層膜ミラー技術を回折格子分光器に応用した高性能分光器を開発する。高性能を生む原理は、回折格子表面に積層した多層膜が1-5 keVの全域でブラッグ条件を満たす分光器駆動方式である。テスト用回折格子基板に多層膜成膜を施して回折効率を評価し、テンダーX線分光器に多層膜回折格子が最適であることを実証する。

研究成果の概要

硬X線と軟X線の境界領域にあり十分な分光技術が発展していないテンダーX線において、回折格子分光器と多層膜を組み合わせた高出力分光器を提案した。刻線密度3200本/mmの回折格子の表面に周期膜厚4 nmのW/B4C多層膜をコートすることにより、エネルギー1-5 keVのテンダーX線に対し、入射角82°-89°で、回折効率4%-11%を達成した。この多層膜回折格子が鈴木型可変偏角分光器に適用可能であることを実験的に示した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

テンダーX線とは物質との相互作用の強い軟X線の領域の中で最もエネルギーが高く、硬X線との境界に相当するエネルギー領域のX線をいう。Si、P、Sなど生体内の微量元素の分布を可視化するのに有用となることが期待され、今後バイオ研究などで特に重要となってくるX線領域である。本研究ではテンダーX線利用研究で必須となる分光技術の確立を目指し、多層膜回折格子分光器を用いて実現できることを示した。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (17件)

すべて 2022 2021 2020 2019

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (15件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Design and experimental evaluation of enhanced diffraction efficiency of lanthanum-based material coated laminar-type gratings in the boron K-emission region2021

    • 著者名/発表者名
      Hatano Tadashi、Koike Masato、Terauchi Masami、Pirozhkov Alexander S.、Hayashi Nobukazu、Sasai Hiroyuki、Nagano Tetsuya
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 60 号: 16 ページ: 4993-4993

    • DOI

      10.1364/ao.430802

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Recent developments in soft X-ray emission spectroscopy microscopy2020

    • 著者名/発表者名
      Terauchi M、Hatano T、Koike M、Pirozhkov A S、Sasai H、Nagano T、Takakura M、Murano T
    • 雑誌名

      IOP Conference Series: Materials Science and Engineering

      巻: 891 号: 1 ページ: 012022-012022

    • DOI

      10.1088/1757-899x/891/1/012022

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 1~2 keV領域高spectral flux軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計と評価2022

    • 著者名/発表者名
      小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフ アレキサンダー, 大上裕紀, 林信和, 寺内正己
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 1-5 keV 軟X線高出力分光器のための多層膜回折格子の試作2022

    • 著者名/発表者名
      羽多野忠, 今園孝志, 江島丈雄
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 刻線密度 3200 本/mm 軟X線ラミナー型回折格子の製作と W/C 多層膜による回折効率増大2022

    • 著者名/発表者名
      羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己
    • 学会等名
      第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 低入射角・高回折効率ラミナー型回折格子の開発とボロン K 発光分析への応用2021

    • 著者名/発表者名
      羽多野忠, 小池雅人, Alexander S. Pirozhkov,西原弘晃, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己
    • 学会等名
      2021年日本光学会年次学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Fe L 発光対応高刻線密度ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発2021

    • 著者名/発表者名
      羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 刻線密度 3200 本/mm の軟X線ラミナー型回折格子の製作と評価2021

    • 著者名/発表者名
      羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] keV 領域多層膜回折格子のための多層膜開発2021

    • 著者名/発表者名
      羽多野忠, 江島丈雄
    • 学会等名
      第34回日本放射光学会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] ボロンK-発光高感度分光計測のためのランタン膜付加高効率回折格子の開発2020

    • 著者名/発表者名
      羽多野忠, 寺内正己, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也, Alexander S. Pirozhkov, 小池雅人
    • 学会等名
      第20回東北大学多元物質科学研究所研究発表会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] Fe-L (705 eV) 発光対応高回折効率・広受光角ラミナー型多層膜回折格子の製作と評価2020

    • 著者名/発表者名
      小池雅人, 羽多野忠, 寺内正己, Pirozhkov Alexander, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第76回学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 可変偏角分光器の誤差補正とエネルギー領域の拡張2020

    • 著者名/発表者名
      羽多野忠
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 2~4 keV領域高回折効率高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計2020

    • 著者名/発表者名
      小池雅人、上野良弘、羽多野忠、ピロジコフ アレキサンダー、寺内正己
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 3d遷移金属L発光高感度分光計測のためのラミナー型W/C多層膜回折格子の開発2020

    • 著者名/発表者名
      羽多野忠、小池雅人、寺内正己、Alexander S. Pirozhkov、林信和、笹井浩行、長野哲也
    • 学会等名
      第33回日本放射光学会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] keV領域高回折効率高分解能軟X線回折格子分光器の設計2020

    • 著者名/発表者名
      小池雅人、上野良弘
    • 学会等名
      第33回日本放射光学会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 200-900 eV 域対応高回折効率・広受光角ラミナー型W/C多層膜回折格子の製作と評価2019

    • 著者名/発表者名
      羽多野忠、小池雅人、寺内正己、ピロジコフ アレキサンダー、林信和、笹井浩行、長野哲也
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Design of valid line spacing holographic grating with high groove density and multilayered laminar-type grooves for flat field spectrometer optimized for 200-900 eV region2019

    • 著者名/発表者名
      M. Koike, T. Hatano, M. Terauchi, A. S. Pirozhkov, N. Hayashi, H. Sasai, T. Nagano
    • 学会等名
      The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

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