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ナノ空間におけるaL-fL/sec流量計測法の創成

研究課題

研究課題/領域番号 19K15417
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分28050:ナノマイクロシステム関連
研究機関東京大学

研究代表者

森川 響二朗  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 特任講師 (20796437)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2021年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2020年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2019年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワードナノ流体工学 / 流動電流 / 流動電位 / ナノ電極 / 流量計測 / 流動電位/流動電流
研究開始時の研究の概要

本研究はナノ空間でのaL-fL/sec流量測定ツールを創成するものである。
流体デバイス工学において流量の制御は最も基本かつ重要であるが、ナノ空間ではaL-fL/sec(aL:10の-18乗リットル, fL:10の-15乗リットル)の極微少流量を計測する方法がない。そこで、溶液の圧力駆動による流れを電流/電位として検出する流動電流/流動電位法という申請者独自の方法でナノ空間の流量計測を実現する。

研究成果の概要

流量計測に必要な制御されたナノ流路の作製に取り組み、最小で50nmの流路から数1000nmのサイズ制御された流路の加工に成功した。また、従来の加工プロセスにナノ流体実験やナノ電気化学実験を導入するという新しい試みによってナノ電極の作製に成功した。流動電流値と流量値の関係については、50nm流路では我々が過去に測定してきたバルクとは異なる粘度、誘電率、解離定数などの物性値を用いた計算値と実験値がよく一致した。これらの物性値を用いた計算から流動電流値を流量値に校正すると50nm流路1本あたり約30aL/secの流量で流れることが判った。以上から初めてのaL/sec領域での流量計測に成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究で開発した制御された流路の加工法や、ナノ電極の作製法、流路の修飾法、閉空間の修飾評価法などは本研究に必須なだけでなくナノ流体工学において重要な基盤技術として多いに貢献できる。さらに、本研究において流動電流値を流量値に校正するために行ったナノ物性計測結果については、50nmの空間で得られた初めての溶液物性に関する知見であり、ナノ流体工学やナノ溶液化学における基礎科学的な知見として大いに重要な知見が得られたと考えられる。

報告書

(5件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (36件)

すべて 2023 2022 2021 2020 2019 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (13件) (うち国際共著 3件、 査読あり 13件、 オープンアクセス 5件) 学会発表 (18件) (うち国際学会 10件、 招待講演 3件) 図書 (1件) 備考 (3件)

  • [国際共同研究] National Tsing Hua University/National Kaohsiung Normal University(台湾)

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] Fused silica microchannel fabrication with smooth surface and high etching selectivity2023

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Po-yin Chen, Hai Linh Tran, Yutaka Kazoe, Chihchen Chen and Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 33 号: 4 ページ: 047001-047001

    • DOI

      10.1088/1361-6439/acbe4a

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Shift of charge inversion point of a trivalent ion solution in a nanofluidic channel2022

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Takehiko Tsukahara
    • 雑誌名

      Colloid and Interface Science Communications

      巻: 50 ページ: 100646-100646

    • DOI

      10.1016/j.colcom.2022.100646

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] STREAMING CURRENT IN 50NM NANOFLUIDIC CHANNEL2022

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Chih-Chang Chang, Yutaka Kazoe, Kazuma Mawatari and Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Proceedings of MicroTAS

      巻: - ページ: 825-826

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] GENERARION AND FUSION OF SIZE-CONTROLLED fL DROPLETS USING GAS/LIQUID INTERFACE2022

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Ryoichi Ohta, Naoya Sawahata, and Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Proceedings of MicroTAS

      巻: - ページ: 1025-1026

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] LOW TEMPERATURE BONDING WITH ROUGH BONDING SURFACE FOR GLASS MICRO/NANOFLUIDIC DEVICE2022

    • 著者名/発表者名
      Ryoichi Ohta, Kyojiro Morikawa, Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Proceedings of MicroTAS

      巻: - ページ: 1237-1238

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ELECTROKINETIC ENERGY CONVERSION IN NANOFLUIDIC CHANNEL: SQUARE NANOCHANNEL VS PLATE NANOCHANNEL2022

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Chih-Chang Chang, Yutaka Kazoe
    • 雑誌名

      Proceedings of MicroTAS

      巻: - ページ: 1259-1260

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Surface Patterning of Closed Nanochannel Using VUV Light and Surface Evaluation by Streaming Current2021

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Haruki Kazumi, Yoshiyuki Tsuyama, Ryoichi Ohta and Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Micromachines

      巻: 12 号: 11 ページ: 1367-1367

    • DOI

      10.3390/mi12111367

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Metal-Free Fabrication of Fused Silica Extended Nanofluidic Channel to Remove Artifacts in Chemical Analysis2021

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Ryoichi Ohta, Kazuma Mawatari, Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Micromachines

      巻: 12 号: 8 ページ: 917-917

    • DOI

      10.3390/mi12080917

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] MICRO- AND NANOFLUIDIC CONTROL WITH PARTIAL INTEGRATION OF PDMS VALVE INTO GLASS NANOFLUIDIC DEVICE2021

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Shu Matsuura, Hiroki Sano, Yutaka Kazoe and Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Proceeding of MicroTAS

      巻: 1 ページ: 1405-1406

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Advanced Top-Down Fabrication for a Fused Silica Nanofluidic Device2020

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Yutaka Kazoe, Yuto Takagi, Yoshiyuki Tsuyama, Yuriy Pihosh, Takehiko Tsukahara, Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Micromachines

      巻: 11 号: 11 ページ: 995-995

    • DOI

      10.3390/mi11110995

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Advances in Label-Free Detections for Nanofluidic Analytical Devices2020

    • 著者名/発表者名
      Thu Hac Huong Le, Hisashi Shimizu, Kyojiro Morikawa
    • 雑誌名

      Micromachines

      巻: 11 号: 10 ページ: 885-885

    • DOI

      10.3390/mi11100885

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] SURFACE PATTERNING OF NANOFLUIDIC CHANNELS AND ITS EVALUATION USING STREAMING CURRENT2020

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Haruki Kazumi, Ryoichi Ohta, and Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Proceeding of MicroTAS

      巻: 1 ページ: 356-357

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] DEVELOPMENT OF FABRICATION METHOD FOR CONCENTRIC CONNECTION OF MICROCHANNEL AND NANOCHANNEL2020

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Erina Takeuchi, and Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Proceeding of MicroTAS

      巻: 1 ページ: 362-363

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Picoliter protein digestion and separation with glass nanofluidic device fabrication2023

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa
    • 学会等名
      Pittcon2023
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ドライエッチングによる平滑なガラス製マイクロ流路の高選択比加工法2023

    • 著者名/発表者名
      森川響二朗, Po-yin Chen, Hai Linh Tran, 嘉副裕, Chihchen Chen, 北森武彦
    • 学会等名
      化学とマイクロ・ナノシステム学会 第47回研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Nanofluidic Device Fabrication and Application to Picoliter Protein Analysis2022

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa
    • 学会等名
      International Conference on Smart Sensors 2022 (ICSS 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] STREAMING CURRENT IN 50NM NANOFLUIDIC CHANNEL2022

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Chih-Chang Chang, Yutaka Kazoe, Kazuma Mawatari and Takehiko Kitamori
    • 学会等名
      The 26th Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] GENERARION AND FUSION OF SIZE-CONTROLLED fL DROPLETS USING GAS/LIQUID INTERFACE2022

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Ryoichi Ohta, Naoya Sawahata, and Takehiko Kitamori
    • 学会等名
      The 26th Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] LOW TEMPERATURE BONDING WITH ROUGH BONDING SURFACE FOR GLASS MICRO/NANOFLUIDIC DEVICE2022

    • 著者名/発表者名
      Ryoichi Ohta, Kyojiro Morikawa, Takehiko Kitamori
    • 学会等名
      The 26th Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ELECTROKINETIC ENERGY CONVERSION IN NANOFLUIDIC CHANNEL: SQUARE NANOCHANNEL VS PLATE NANOCHANNEL2022

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Chih-Chang Chang, Yutaka Kazoe
    • 学会等名
      The 26th Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ガラス製ナノ・マイクロ流体デバイス加工法2022

    • 著者名/発表者名
      森川響二朗、嘉副裕、太田諒一、清水久史、陳致真、北森武彦
    • 学会等名
      4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 森川響二朗2022

    • 著者名/発表者名
      ガラス製ナノ流路加工法の開発とナノ流体デバイスへの展開
    • 学会等名
      4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MICRO- AND NANOFLUIDIC CONTROL WITH PARTIAL INTEGRATION OF PDMS VALVE INTO GLASS NANOFLUIDIC DEVICE2021

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Shu Matsuura, Hiroki Sano, Yutaka Kazoe, and Takehiko Kitamori
    • 学会等名
      MicroTAS2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Crフリー加工法によるガラス製拡張ナノ流路・マイクロ流路の作製2021

    • 著者名/発表者名
      森川響二朗、太田諒一、馬渡和真、北森武彦
    • 学会等名
      化学とマイクロ・ナノシステム学会 第44回研究会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ガラス製ナノ流体デバイスへのPDMS部分集積と局所変形バルブへの応用2021

    • 著者名/発表者名
      森川響二朗、松浦柊、佐野大樹、嘉副裕、北森武彦
    • 学会等名
      化学とマイクロ・ナノシステム学会 第44回研究会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] SURFACE PATTERNING OF NANOFLUIDIC CHANNELS AND ITS EVALUATION USING STREAMING CURRENT2020

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Haruki Kazumi, Ryoichi Ohta, and Takehiko Kitamori
    • 学会等名
      MicroTAS2020
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] DEVELOPMENT OF FABRICATION METHOD FOR CONCENTRIC CONNECTION OF MICROCHANNEL AND NANOCHANNEL2020

    • 著者名/発表者名
      Kyojiro Morikawa, Erina Takeuchi, and Takehiko Kitamori
    • 学会等名
      MicroTAS2020
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] マイクロ・ナノ流路の同心配置のための加工法2020

    • 著者名/発表者名
      森川響二朗, 竹内絵里奈, 北森武彦
    • 学会等名
      化学とマイクロ・ナノシステム学会 第42回研究会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 電極集積ナノ流体デバイス加工とその応用2020

    • 著者名/発表者名
      森川響二朗、竹内智章、北森武彦
    • 学会等名
      日本化学会 第100春季年会 (2020)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Fabrication of electrode integrated nanofluidic device2019

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Takeuchi, Kyojiro Morikawa, Takehiko Kitamori
    • 学会等名
      RSC Tokyo International Conference 2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 電極集積ナノ流体デバイス加工法の開発2019

    • 著者名/発表者名
      竹内智章、森川響二朗、北森武彦
    • 学会等名
      化学とマイクロ・ナノシステム学会第40回研究会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [図書] 2020版 薄膜作製応用ハンドブック 第4編7章4節1項2020

    • 著者名/発表者名
      森川響二朗、北森武彦
    • 総ページ数
      1570
    • 出版者
      (株)エヌ・ティー・エス
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [備考] Research Map

    • URL

      https://researchmap.jp/KyojiroMorikawa

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実施状況報告書
  • [備考] HP

    • URL

      http://park.itc.u-tokyo.ac.jp/kitamori/cms/

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [備考] 北森研究室HP

    • URL

      http://park.itc.u-tokyo.ac.jp/kitamori/cms/

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2019-04-18   更新日: 2024-01-30  

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