| 研究課題/領域番号 |
20226014
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(S)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
構造・機能材料
|
|---|
| 研究機関 | 茨城大学 |
|---|
研究代表者 |
大貫 仁 茨城大学, 工学部, 教授 (70315612)
|
|---|
| 研究分担者 |
三村 耕司 東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (00091752)
石川 信博 独立行政法人物質・材料研究機構, 主任研究員 (00370312)
近藤 和夫 大阪府立大学, 工学研究科, 教授 (50250478)
稲見 隆 茨城大学, 工学部, 講師 (20091853)
長南 安紀 秋田県立大学, システム科学技術学部, 助教 (30363740)
伊藤 真二 独立行政法人物質・材料研究機構, 主任研究員 (50370317)
打越 雅仁 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (60447191)
太田 弘道 茨城大学, 工学部, 教授 (70168946)
永野 隆敏 茨城大学, 工学部, 講師 (70343621)
木村 隆 独立行政法人物質・材料研究機構, 主任研究員 (70370319)
篠嶋 妥 茨城大学, 工学部, 教授 (80187137)
青山 隆 秋田県立大学, システム科学技術学部, 教授 (80363737)
田代 優 茨城大学, 工学部, 講師 (90272111)
一色 実 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (20111247)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2008 – 2012
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
|
| 配分額 *注記 |
209,690千円 (直接経費: 161,300千円、間接経費: 48,390千円)
2012年度: 34,190千円 (直接経費: 26,300千円、間接経費: 7,890千円)
2011年度: 37,700千円 (直接経費: 29,000千円、間接経費: 8,700千円)
2010年度: 29,640千円 (直接経費: 22,800千円、間接経費: 6,840千円)
2009年度: 29,380千円 (直接経費: 22,600千円、間接経費: 6,780千円)
2008年度: 78,780千円 (直接経費: 60,600千円、間接経費: 18,180千円)
|
|---|
| キーワード | 電子 / 情報材料 / LSI / Cu配線 / 超高純度硫酸銅 / 抵抗率 / 粒界不純物 / 収差補正TEM / 添加剤フリーめっき / Ru膜 / クレヴァス / 収差補正STEM / Cu 配線 / 添加剤フリー / 超高純度めっき材 / 革新的高導電性 / 分子動力学シミュレーション / TEG / Cuの高純度化 / 微量不純物 / 微細構造 / ULSI / 超高純度めっき材料 / 添加剤フリーめつき技術 / 配線抵抗率 / パルスめっき技術 / 配線評価用TEG |
|---|
| 研究概要 |
次世代超低消費電力・超高速LSIの実現には、Cu配線の低抵抗率化が不可欠である。Cu配線は微細化ともに結晶粒が不均一・微細化するため、粒界電子散乱が顕在化し、抵抗率が著しく増大する問題があるが、これまで解決策は示されていない。研究者らは、めっき材料を高純度化するとともに、添加剤量を低減することにより、ナノ粒界を制御できて、粒径の均一・粗大化を促進できて、配線抵抗率を最先端デバイスに使用されている現状配線よりも30%以上低減できることを明らかにした。
|
| 評価記号 |
検証結果 (区分)
A
|
