• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

GaPテラヘルツ光源による分光エリプソメトリーと高精度膜厚計測に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 20560026
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関上智大学

研究代表者

佐々木 哲朗  上智大学, 半導体研究所, 准教授 (20321630)

連携研究者 小山 裕  東北大学, 工学研究科, 教授 (80169367)
田邉 匡生  東北大学, 工学研究科, 助教 (10333840)
研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2009年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2008年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
キーワードテラヘルツ / 反射分光 / 複屈折率 / 複素屈折率 / エリプソメトリー
研究概要

GaPテラヘルツ信号発生装置を光源として利用した「テラヘルツ分光エリプソメトリー測定装置」を実現し、これを用いて有機分子結晶や半導体結晶の複素屈折率を求めた。また、膜厚計として利用するにあたり、光源の高精度・高分解能化を図った結果、当初の目標値を超えるメートル単位の厚膜に対する膜厚測定を実現することができるようになった。

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (26件)

すべて 2011 2010 2009 2008 その他

すべて 学会発表 (25件) 備考 (1件)

  • [学会発表] GaP結晶を用いた連続波テラヘルツ信号発生装置の周波数安定化2011

    • 著者名/発表者名
      佐々木哲朗、西澤潤一、田邉匡生
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学,厚木
    • 年月日
      2011-03-24
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] GaP結晶を用いた連続波テラヘルツ信号発生装置の周波数安定化2011

    • 著者名/発表者名
      佐々木哲朗、西澤潤一、田邉匡生
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学 厚木
    • 年月日
      2011-03-24
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Wide-range high- esolution CW terahertz spectrometer using GaP crystal and its application2010

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki, J.Nishizawa, T.Tanabe
    • 学会等名
      International Symposium on Frontier of Terahertz Spectroscopy IV-Innovations in THz Spectroscopy and THz-Wave Wireless Communications-
    • 発表場所
      Mastumoto, Nagano
    • 年月日
      2010-10-21
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Wide-range high-resolution CW terahertz spectrometer using GaP crystal and its application2010

    • 著者名/発表者名
      Tetsuo Sasaki, Jun-ichi Nishizawa, Tadao Tanabe
    • 学会等名
      International Symposium on Frontier of Terahertz Spectroscopy IV-Innovations in THz Spectroscopy and THz-Wave Wireless Communications
    • 発表場所
      Matsumoto, Nagano
    • 年月日
      2010-10-21
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Wide frequency range high resolution THz spectroscopy with using continuous-wave GaP terahertz signal generator and its application to defect detection2010

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki, J.Nishizawa, T.Tanabe
    • 学会等名
      35th International Conference on Infrared Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), 2010
    • 発表場所
      Rome, Italy
    • 年月日
      2010-09-07
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] GaP結晶を用いたCW-THz信号発生装置による広帯域テラヘルツ分光測定2010

    • 著者名/発表者名
      佐々木哲朗,西澤潤一,田邉匡生
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学,平塚
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] GaP結晶を用いたCW-THz信号発生装置による広帯域テラヘルツ分光測定2010

    • 著者名/発表者名
      佐々木哲朗, 西澤潤一, 田邉匡生
    • 学会等名
      2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学, 平塚
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 有機分子中の欠陥検出法と医学・薬学への展開-テラヘルツ分光学の将来展望-2010

    • 著者名/発表者名
      佐々木哲朗
    • 学会等名
      第7回東京理科大学DDS研究センターシンポジウム
    • 発表場所
      東京理科大学,東京(招待講演)
    • 年月日
      2010-02-03
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 有機分子中の欠陥検出法と医学・薬学への展開-テラヘルツ分光学の将来展望-2010

    • 著者名/発表者名
      佐々木哲朗
    • 学会等名
      第7回東京理科大学DDS研究センターシンポジウム
    • 発表場所
      東京理科大学, 東京
    • 年月日
      2010-02-03
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Development of Laser and High Resolution Terahertz Signal Generator for Precise Terahertz Spectroscopy2009

    • 著者名/発表者名
      J.Nishizawa, T.Sasaki
    • 学会等名
      12th International Symposium on Microwave and Optical Technology (ISMOT)
    • 発表場所
      Delhi, India(Invited)
    • 年月日
      2009-12-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] (Invited)Development of Laser and High Resolution Terahertz Signal Generator for Precise Terahertz Spectroscopy2009

    • 著者名/発表者名
      西澤潤一, 佐々木哲朗
    • 学会等名
      12th International Symposium on Microwave and Optical Technology(ISMOT)
    • 発表場所
      Delhi, India
    • 年月日
      2009-12-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] High resolution terahertz spectroscopy for defect detection2009

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki, J.Nishizawa, T.Tanabe
    • 学会等名
      2nd International Symposium on Terahertz between Japan, Sweden.
    • 発表場所
      Chalmers University of Technology Yoteburg, Sweden(Invited)
    • 年月日
      2009-11-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] GaP Terahertz signal generator and its applications for spectral monitoring of dynamic reaction2009

    • 著者名/発表者名
      T.Tanabe, T.Tanabe, J.Nishizawa, Y.Oyama
    • 学会等名
      2nd International Symposium on Terahertz between Japan, Sweden.
    • 発表場所
      Chalmers University of Technology, Yoteburg, Sweden(Invited)
    • 年月日
      2009-11-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] (Invited)High resolution terahertz spectroscopy for defect detection2009

    • 著者名/発表者名
      佐々木哲朗, 西澤潤一, 田邉匡生
    • 学会等名
      2nd International Symposium on Terahertz between Japan, Sweden
    • 発表場所
      Chalmers University of Technology, Yoteburg, Sweden
    • 年月日
      2009-11-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] (Invited)GaP Terahertz signal generator and its applications for spectral monitoring of dynamic reaction2009

    • 著者名/発表者名
      田邉匡生, 佐々木哲朗, 西澤潤一, 小山裕
    • 学会等名
      2nd International Symposium on Terahertz between Japan, Sweden
    • 発表場所
      Chalmers University of Technology, Yoteburg, Sweden
    • 年月日
      2009-11-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] GaPテラヘルツ分光測定装置を用いた有機材料欠陥検出と評価2009

    • 著者名/発表者名
      佐々木哲朗,西澤潤一,田邉匡生
    • 学会等名
      2009年秋季応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      富山大学,富山
    • 年月日
      2009-09-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 有機分子性伝導体結晶のテラヘルツ分光分析2009

    • 著者名/発表者名
      大橋隆宏,丹野剛紀,田邉匡生,佐々木哲朗,小山裕,西澤潤一
    • 学会等名
      2009年秋季応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      富山大学,富山
    • 年月日
      2009-09-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] GaPテラヘルツ分光測定装置を用いた有機材料欠陥検出と評価2009

    • 著者名/発表者名
      佐々木哲朗, 西澤潤一, 田邉匡生
    • 学会等名
      2009年秋季応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      富山大学, 富山
    • 年月日
      2009-09-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 有機分子性伝導体結晶のテラヘルツ分光分析2009

    • 著者名/発表者名
      大橋隆宏, 丹野剛紀, 田邉匡生, 佐々木哲朗, 小山裕, 西澤潤一
    • 学会等名
      2009年秋季応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      富山大学, 富山
    • 年月日
      2009-09-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] GaPテラヘルツ波導波路構造作製とテラヘルツ波出力特性評価2009

    • 著者名/発表者名
      斉藤恭介、田邉匡生、小山裕、佐々木哲朗、西澤潤一
    • 学会等名
      第144回日本金属学会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      2009-03-29
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2008 実績報告書
  • [学会発表] Terahertz Signal Generator and its Application for Life Science and Material Science2008

    • 著者名/発表者名
      J.Nishizawa, T.Sasaki
    • 学会等名
      APAM General assembly and Conference
    • 発表場所
      New Delhi, India(Invited)
    • 年月日
      2008-11-18
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Terahertz Signal Generator and its Application for Life Science and Material Science2008

    • 著者名/発表者名
      Jun-ichi Nishizawa, Tetsuo Sasaki
    • 学会等名
      APAM General assembly and Conference
    • 発表場所
      New Delhi, India
    • 年月日
      2008-11-18
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 導波路型GaP結晶を用いた楕円偏光テラヘルツ波発生2008

    • 著者名/発表者名
      斉藤恭介、田邉匡生、小山裕、木村智之、佐々木哲朗、西澤潤一
    • 学会等名
      2008年秋季応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-03
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2008 実績報告書
  • [学会発表] THz-wave generation from GaP rib waveguides by difference frequency mixing2008

    • 著者名/発表者名
      K.Saito, T.Tanabe, K.Nozawa, K.Suto, T.Sasaki, J.Nishizawa, Y.Oyama
    • 学会等名
      ICO-21 2008 Congress
    • 発表場所
      Sydney, Australia
    • 年月日
      2008-07-08
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] THZ-wave generation from GaP rib waveguides by difference frequency mixing2008

    • 著者名/発表者名
      K. Saito, T. Tanabe, K. Nozawa, K. Suto, T. Sasaki, J. Nishizawa, Y. Oyama
    • 学会等名
      ICO-21 2008 Congress
    • 発表場所
      Sydney, Australia
    • 年月日
      2008-07-08
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [備考] ホームページ等

    • URL

      http://hanken.cc.sophia.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書

URL: 

公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi