テラヘルツ時間領域分光法(THz-TDS)を用いたプラズマ診断法の開発

• 研究課題/領域番号: 20740322
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: プラズマ科学
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 安藤 あゆみ 大阪大学, 工学研究科, 特任研究員 (60452471)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• 研究課題ステータス: 完了 (2009年度)
• 配分額: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円); 2009年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2008年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
• キーワード: プラズマ計測 / 反応性プラズマ / ラジカル / プラズマ診断 / 大気圧プラズマ / テラヘルツ時間領域分光法 / THz時間領域分光法

研究概要

本研究はテラヘルツ時間領域分光法(THz-TDS)を用いた新しいプラズマ診断法の開発を目的として行った。実験では、THz-TDSによる誘導結合型放電プラズマや容量結合型放電プラズマなどの定常放電プラズマや、反応性プラズマの電子密度計測に成功した。また、ダブルプローブ法による電子密度計測の結果と比較することで、THz-TDSでは精度の良い電子密度計測が可能であることが分かった。

研究成果

• [雑誌論文] Electron density measurement for plasmas by Terahertz time-domain spectroscopy (2010)
  • 著者名/発表者名: Ayumi Ando, Hideaki Kitahara, Tomoko Kurose, Katsuhisa Kitano, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
  • 雑誌名: Journal of Physics; Conference Series(Proceedings of 14^<th> International Symposium on Laser-Aided Plasma Diagnostics (14^<th> LAPD)) (in press)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Estimation of Electron Densities of Plasmas by Terahertz Time-Domain Spectroscopy (2010)
  • 著者名/発表者名: 北原英明
  • 雑誌名: Proceedings of The 34th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves No.W5E61 ページ: 135-136
  • 査読あり
• [雑誌論文] Estimation of Electron Densities of Plasmas by Terahertz Time-Domain Spectroscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: Hideaki Kitahara, Ayumi Ando, Tomoko Kurose, Katsuhisa Kitano, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
  • 雑誌名: The 34th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, Paradise Hotel, Busan, Paper No.W5E61 ページ: 135-136
  • 査読あり
• [学会発表] Diagnosis of atmospheric pressure plasmas by using terahertz time-domain spectroscopy (2010)
  • 著者名/発表者名: 北原英明
  • 学会等名: The 3rd International Workshop on Far-Infrared Technologies 2010 (IW-FIRT 2010)
  • 発表場所: 福井県福井市 福井大学
  • 年月日: 2010-03-16
• [学会発表] Diagnosis of atmospheric pressure plasmas by using terahertz time-domain spectroscopy (2010)
  • 著者名/発表者名: Hideaki Kitahara, Ayumi Ando, Katsuhisa Kitano, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
  • 学会等名: The 3rd International Workshop on Far-Infrared Technologies (IW-FIRT)
  • 発表場所: Fukui, Japan
• [学会発表] Terahertz time domain spectroscopy for the atmospheric pressure plasmas (2009)
  • 著者名/発表者名: 北原英明
  • 学会等名: 4^<th> International Symposium on Atomic Technology (ISAT- 4)
  • 発表場所: 兵庫県神戸市 舞子ビラ神戸
  • 年月日: 2009-11-19
• [学会発表] Estimation of Electron Densities of Plasmas by Terahertz Time-Domain Spectroscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: 北原英明
  • 学会等名: The 34^<th> International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW)
  • 発表場所: 韓国 釜山
  • 年月日: 2009-09-23
• [学会発表] Electron density measurement for plasmas by Terahertz time-domain spectroscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: 安藤あゆみ
  • 学会等名: 14^<th> International Symposium on Laser-Aided Plasma Diagnostics (14^<th> LAPD)
  • 発表場所: イタリア・トレビソ
  • 年月日: 2009-09-22
• [学会発表] テラヘルツ時間領域分光法による容量結合型反応性プラズマ診断 (2009)
  • 著者名/発表者名: 安藤あゆみ
  • 学会等名: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-30
• [学会発表] Reactivity plasma diagnostic with Terahertz time-domain spectroscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: 安藤あゆみ
  • 学会等名: 3rd International Symposium on Atomic Technology/3rd Polyscale Technology Workshop (ISAT-3/ PTW-3)
  • 発表場所: 東京国際交流館
  • 年月日: 2009-03-05
• [学会発表] Terahertz time domain spectroscopy for the atmospheric pressure plasmas (2009)
  • 著者名/発表者名: Hideaki Kitahara, Ayumi Ando, Tsuyohito Ito, Katsuhisa Kitano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
  • 学会等名: 4^<th> International Symposium on Atomic Technology (ISAT-4)
  • 発表場所: Hyogo, Japan
• [学会発表] Electron density measurement for plasmas by Terahertz time-domain spectroscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: Ayumi Ando, Hideaki Kitahara, Tomoko Kurose, Katsuhisa Kitano, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
  • 学会等名: 14^<th> International Symposium on Laser-Aided Plasma Diagnostics (14^<th> LAPD)
  • 発表場所: Castelbrando, Treviso, Italy
• [学会発表] Estimation of Electron Densities of Plasmas by Terahertz Time-Domain Spectroscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: Hideaki Kitahara, Ayumi Ando, Tomoko Kurose, Katsuhisa Kitano, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
  • 学会等名: The 34^<th> International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW)
  • 発表場所: Paradise Hotel, Busan, Korea
• [学会発表] テラヘルツ時間領域分光法による容量結合型放電プラズマの診断 (2009)
  • 著者名/発表者名: 安藤あゆみ, 北原英明, 北野勝久, 高野恵介, 谷正彦, 萩行正憲, 浜口智志
  • 学会等名: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
• [学会発表] Reactivity plasma diagnostic with Terahertz time-domain spectroscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: Ayumi Ando, Tomoko Kurose, Katsuhisa Kitano, Hideaki Kitahara, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
  • 学会等名: 3^<rd> International Symposium on Atomic Technology (ISAT-3)
  • 発表場所: Tokyo, Japan
• [学会発表] CH_4/Ar plasma measurements with Terahertz time-domain spectroscopy (2008)
  • 著者名/発表者名: 安藤あゆみ
  • 学会等名: The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (EU-Japan JSPP)
  • 発表場所: 沖縄コンベンションセンター
  • 年月日: 2008-04-22
• [学会発表] CH_4/Ar plasma measurements with Terahertz time-domain spectroscopy (2008)
  • 著者名/発表者名: Ayumi Ando, Tomoko Kurose, Katsuhisa Kitano, Hideaki Kitahara, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
  • 学会等名: The 6^<th> EU-JAPAN Joint Symposium on Plasma Processing
  • 発表場所: Okinawa, Japan