研究課題
若手研究(スタートアップ)
可視域短波長から紫外域における光学素子を実現するためには、100nmスケールの微細加工と光波面制御技術の開拓が必要になる。そこで本研究では、ガラス系酸化物材料の光学多層膜と細線周期構造を組み合わせた回折格子型の三次元ナノ構造を提案し、この構造におけるガラス材料の選択と設計、回折特性のシミュレーション、作製プロセスの検討を行い、さらに三次元ナノ構造の微小領域における光学特性を精度よく評価のための測定システムの構築を行った。
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