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電子流によるエレクトロファインインジェクション技術の深化と超長ワイヤ創製の実現

研究課題

研究課題/領域番号 20H02026
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分18010:材料力学および機械材料関連
研究機関名古屋大学

研究代表者

木村 康裕  名古屋大学, 工学研究科, 助教 (70803740)

研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2022年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2021年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
2020年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円)
キーワード機械材料・材料力学 / 原子拡散 / エレクトロマイグレーション / 金属ファインワイヤ / インジェクション / ファインマテリアル
研究開始時の研究の概要

近年、マイクロ・ナノサイズの微細材料であるファインマテリアルに関する研究関心が高まる一方で、ファインマテリアル特有の優れた性質を維持したスケールアップが困難という理由から、大型構造物への画期的な応用事例は未だなく、機械材料としての産業利用は遅々としているのが現状である。本研究はそれを突破するために、ファインマテリアルの身近で多用される材料化を目標に掲げ、極細な径を有する1次元ファインワイヤの「超長化」と「単結晶化」を同時実現する先駆的な、電子流による原子拡散を利用した革新的な金属微小射出技術「金属エレクトロファインインジェクション技術」の深化と実用化を図る。

研究成果の概要

本研究では、マイクロ・ナノ径の金属ファインワイヤの創製を可能にするため、電子流による金属原子の拡散に起因した原子蓄積に伴う高圧力を利用したエレクトロファインインジェクションなる電子流駆動型金属微小射出機構の本格的実現を試みた。電子流駆動型金属微小射出機構の確立、射出機構によるワイヤの創製高速化、創製ワイヤの材料特性制御および評価、なる3項目の研究を総合することで、本技術の実現可能性を示唆する成果を得た。

研究成果の学術的意義や社会的意義

創製されたファインワイヤは良好な機械特性、特に高強度を示すことから、これまで化学センサ等の機能材料としての働きに限定されてきたファインワイヤの応用事例を機械材料分野にまで拡張させる成果である。また考案された原子拡散制御手法を発展させることは、ワイヤの射出速度の制御に資するのみならず、ワイヤの直径、長さおよびその幾何形状の制御をも可能にし、これまでにない新たなファインマテリアルを作り出す創製手法の基盤技術となることが期待される。

報告書

(4件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2022 2021 2020 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 4件、 招待講演 2件) 備考 (2件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] 電子流による原子拡散に基づくナノワイヤ結晶性デザイン2022

    • 著者名/発表者名
      KIMURA Yasuhiro
    • 雑誌名

      材料

      巻: 71 号: 9 ページ: 735-741

    • DOI

      10.2472/jsms.71.735

    • ISSN
      0514-5163, 1880-7488
    • 年月日
      2022-09-15
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Intermetallic compound formation inhibiting electromigration-based micro/nanowire growth2021

    • 著者名/発表者名
      Kimura Yasuhiro、Ju Yang
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 39 号: 6 ページ: 062803-062803

    • DOI

      10.1116/6.0001271

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Equilibrium current density balancing two atomic flows in coupled problems of electromigration and thermomigration in unpassivated gold film2020

    • 著者名/発表者名
      Y.Kimura and Y.Ju
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 10 号: 8 ページ: 085125-085125

    • DOI

      10.1063/5.0011417

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 電子流による原子拡散に基づくマイクロ・ナノワイヤ創製法の開拓2022

    • 著者名/発表者名
      木村 康裕
    • 学会等名
      日本応用物理学会 東海NFRW・若手チャプタージョイントワークショップ
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ナノスカイビング法を用いた相変化ナノワイヤの創製2022

    • 著者名/発表者名
      白澤 拓磨, 木村 康裕, 徳 悠葵, 巨 陽
    • 学会等名
      日本機械学会 M&M 2022 材料力学カンファレンス
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Ti-6Al-4Vにおける電流印加による転位挙動の動的観察2022

    • 著者名/発表者名
      礒井 宙, 木村 康裕, 徳 悠葵, 巨 陽
    • 学会等名
      日本機械学会 M&M 2022 材料力学カンファレンス
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of metallic nanogaps using grain boundary diffusion based on electromigration2022

    • 著者名/発表者名
      Yu Nobuoka, Yasuhiro Kimura, Yuhki Toku, Yang Ju
    • 学会等名
      2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] An electromigration-based injection system manufactured by microfabrication2022

    • 著者名/発表者名
      Sota Nakashima, Yasuhiro Kimura, Yuhki Toku, Yang Ju
    • 学会等名
      2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] On Selective Fabrication of Metallic Micro/Nanomaterials in Electromigration-based Injection System2021

    • 著者名/発表者名
      Yuta Ito, Yasuhiro Kimura, Yuhki Toku, and Yang Ju
    • 学会等名
      2021 5th International Conference on Nanomaterials and Biomaterials
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 高密度電子流による原子拡散に基づく金属マイクロ・ナノワイヤ創製2021

    • 著者名/発表者名
      木村康裕
    • 学会等名
      日本材料学会 東海支部 第1回イブニングセミナー
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] On growth technique of electromigration-based free-standing Al micro/nanowires2021

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Kimura, and Yang Ju
    • 学会等名
      The 64th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [備考] 名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻 材料強度・評価学研究グループ

    • URL

      https://www.mech.nagoya-u.ac.jp/ju/

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実績報告書
  • [備考] 名古屋大学工学研究科マイクロ・ナノ機械理工学専攻 材料強度・評価学研究グループ

    • URL

      http://www.mech.nagoya-u.ac.jp/ju/

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [産業財産権] ナノワイヤ製造装置およびナノワイヤ製造方法2020

    • 発明者名
      木村康裕,巨陽
    • 権利者名
      木村康裕,巨陽
    • 産業財産権種類
      特許
    • 公開番号
      2022-041761
    • 出願年月日
      2020
    • 取得年月日
      2022
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [産業財産権] ナノワイヤ製造装置およびナノワイヤ製造方法2020

    • 発明者名
      木村康裕,巨陽
    • 権利者名
      木村康裕,巨陽
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2020
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-01-30  

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