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質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測

研究課題

研究課題/領域番号 20H02040
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関東京大学

研究代表者

道畑 正岐  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)

研究分担者 高橋 哲  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (30283724)
門屋 祥太郎  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (60880234)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
17,810千円 (直接経費: 13,700千円、間接経費: 4,110千円)
2022年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2021年度: 7,410千円 (直接経費: 5,700千円、間接経費: 1,710千円)
2020年度: 8,320千円 (直接経費: 6,400千円、間接経費: 1,920千円)
キーワードWhispering gallery mode / テーパ光ファイバー / 球 / 直径 / 伝搬定数 / 光ファイバー / 近接場 / 光共振 / ビート周波数 / WGM共振 / 球体 / 屈折率 / 自律校正 / Goos-Haenchenシフト / 偏光 / SNOM / 有限要素解析 / 近接場プローブ / 定在波 / テーパ光ファイバ
研究開始時の研究の概要

質量の基準となる高精度な計測原理を構築するため、直径94 mmから94 μmのシリコン球の計測が求められている。本研究では、球の中を周回共振する光の伝搬形態であるWGMという光学現象を用いて計測する原理を提案している。球の円周長を測定し、そこからシリコン球の直径を計測する。円周長は共振する光波長の倍数で正確に求められる。この倍数を正確に求めること、球の屈折率を測定することで、超高精度なシリコン球の計測原理確立を目指す。

研究成果の概要

本研究では、高精度な質量トレーサビリティ体系構築に向け、φ94 mmからφ94 μmの幅広いシリコン球体に対して、同一測定原理でその直径を相対精度1.0×10-6で測定可能な技術確立を目的とした。そのために、Whispering gallery mode (WGM)共振という 光共振現象を用いた手法を提案しており、本研究課題では特に、WGMのモード番号推定と屈折率自律補正法によって、本手法の計測不確かさ改善を行った。

研究成果の学術的意義や社会的意義

具体的にな成果については、まず「WGM励起光ファイバー直径計測法の確立によるWGM伝搬定数の推定法」を確立した。従来、1 μm以下の細い光ファイバーをその場環境で測定する技術はなく、本研究で、これを確立することができた。また、WGMは広く用いられている技術であるものの、そのモード解析および屈折率の補正方法についての報告例は非常に少ない。本研究では、「近接場光の直接検出によるWGMモード番号の推定」「WGMのモード解析による屈折率補正方法の提案とその手法の検証」を行い、今後のWGM研究における特性理解について貢献することが期待される。

報告書

(4件)
  • 2023 研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 研究成果

    (19件)

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (13件) (うち国際学会 3件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Diameter Measurement for Micro-Spheres via Coherent Scanning Interferometry with Reference to Gauge Block2024

    • 著者名/発表者名
      Michihata Masaki、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 18 号: 1 ページ: 11-17

    • DOI

      10.20965/ijat.2024.p0011

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2024-01-05
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Propagation Constant-Based Diameter Measurement Technique for Sub-micrometer Scale Optical Fiber2024

    • 著者名/発表者名
      Liu Yushen、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: in press 号: 10 ページ: 2649-2649

    • DOI

      10.1364/ol.521545

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Measurement properties of electric field intensity distribution of whispering gallery mode with near-field optical probe2022

    • 著者名/発表者名
      Liu Yushen、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 33 号: 9 ページ: 095501-095501

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ac74a2

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Measurement of diameter of sub-micrometer fiber based on analysis of scattered light intensity distribution under standing wave illumination2022

    • 著者名/発表者名
      Michihata Masaki、Murakami Sojiro、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      CIRP Annals

      巻: 71 号: 1 ページ: 421-424

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2022.03.008

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In-Process Diameter Measurement Technique for Micro-Optical Fiber with Standing Wave Illumination2021

    • 著者名/発表者名
      Michihata Masaki、Zheng Zhao、Funaiwa Daiki、Murakami Sojiro、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 4 号: 1 ページ: 28-36

    • DOI

      10.1007/s41871-020-00081-4

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第18報)-球表面のWGM定在波強度分布測定-2024

    • 著者名/発表者名
      Yushen Liu
    • 学会等名
      2024年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Measurement of the diameter of the thinned optical fiber based on the spatial period of standing wave2023

    • 著者名/発表者名
      Yushen Liu
    • 学会等名
      Optical Technology and Measurement for Industrial Applications
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 定在波ピッチを利用したサブマイクロファイバの直径計測2023

    • 著者名/発表者名
      Yushen Liu
    • 学会等名
      2023年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Concept of controlling rotational reference point for dimensional inner shape measurement using dual period grating2022

    • 著者名/発表者名
      Souki Fujimura
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE) 2022
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High precision distance measurement based on external cavity with dual periodic grating2022

    • 著者名/発表者名
      Shuhei Goda
    • 学会等名
      the 9th Intl. Conf. of Asian Society for Precision Eng. and Nanotechnology (ASPEN 2022)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測(第4報)-リットマン型外部共振器機構による絶対距離計測-2022

    • 著者名/発表者名
      合田周平
    • 学会等名
      2023年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 絶対距離計測を用いた高精度内径形状計測に関する研究 -二重周期回折格子を用いた基準点位置制御手法の理論的検討-2022

    • 著者名/発表者名
      藤村蒼輝
    • 学会等名
      2022年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] WGM 共振を利用した微小球の直径計測(第16報) -屈折率自律補正法の提案2022

    • 著者名/発表者名
      田中理香子
    • 学会等名
      2022年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] ファブリーペロー共振器を用いたマイクロCMMのプローブ径補正用ゲージの研究(第1報) -二平面間の距離測定-2021

    • 著者名/発表者名
      加藤千聖,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測(第1報) -計測手法提案-”2021

    • 著者名/発表者名
      合田周平,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測(第3報) -サブマイクロ光ファイバの計測のための測定原理の拡張-2021

    • 著者名/発表者名
      村上宗二朗,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小級の直径計測(第14報) -WGM光強度分布センシングのためのガラスプローブ先端形状の検討-2021

    • 著者名/発表者名
      劉 羽辛,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第13報) -光損失が共振波長に及ぼす影響の検討-2020

    • 著者名/発表者名
      劉 羽辛,門屋祥太郎,道畑正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2020年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [備考] 個人HP

    • URL

      https://masakimichihata.weebly.com

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書

URL: 

公開日: 2020-04-28   更新日: 2025-01-30  

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