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水素プラズマ処理による高品質シリコン量子ドット発電層の創製

研究課題

研究課題/領域番号 20K05075
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分26020:無機材料および物性関連
研究機関名古屋大学

研究代表者

黒川 康良  名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (00588527)

研究分担者 加藤 慎也  名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (10775844)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2022年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2021年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2020年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
キーワードシリコン / 量子ドット / プラズマ / 太陽電池 / ベイズ最適化 / 水素
研究開始時の研究の概要

本研究では,次世代の太陽電池材料として注目されるシリコン量子ドット積層膜を高品質化するアプローチとして,水素プラズマ処理を採用する.シリコン量子ドット積層膜を水素プラズマに曝露することで,水素が膜中にどのように入っていき,拡散し,シリコン原子と結合を形成するか多角的な評価手法により解明する.これにより,水素が効率的にシリコン量子ドット積層膜中の欠陥を終端する条件を見出す.最終的にはシミュレーションにて太陽電池の高変換効率が得られている1e16cm-3台の欠陥密度を目指す.

研究成果の概要

シリコン量子ドット(Si-QD)太陽電池の効率向上のため、水素プラズマ処理(HPT)による欠陥低減を試みた。HPTは6個のプロセスパラメータを有するため、ベイズ最適化(BO)を用いて効率的な最適化を試みた。BOにおけるSi-QD膜の高品質指標としては、光感度を採用した。その結果、BOプロセスを7回繰り返すことで光感度が22.7から347.2に向上した。最適化された条件で太陽電池構造を作製したところ、開放電圧と曲線因子はそれぞれ689mVと0.67を得た。これらの特性値は同様のデバイスの中でも最高値であり、BOとHPTを組み合わせたことで吸収層の大幅な性能向上を達成できた結果と考えられる。

研究成果の学術的意義や社会的意義

今回の研究にて、シリコン量子ドット太陽電池の開放電圧と曲線因子はそれぞれ689mVと0.67に達した。これらの特性値は同様のデバイスの中でも最高値であり、BOとHPTを組み合わせたことで吸収層の大幅な性能向上を達成できた結果と考えられる。本研究成果はプラズマプロセスへのベイズ最適化の有用性を示すとともにシリコン量子ドット太陽電池のポテンシャルも示した点で学術的には意義がある。シリコン量子ドットを用いた太陽電池は環境光にチューニングが容易にできることから、IoT用電源として用いることができ、IoTセンサネットワーク構築のための電源としても有望である。

報告書

(4件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 研究成果

    (23件)

すべて 2023 2022 2021 2020 その他

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (15件) (うち国際学会 10件、 招待講演 3件) 備考 (4件)

  • [雑誌論文] Preparation and thermoelectric characterization of boron-doped Si nanocrystals/silicon oxide multilayers2023

    • 著者名/発表者名
      Shibata Keisuke、Kato Shinya、Kurosawa Masashi、Gotoh Kazuhiro、Miyamoto Satoru、Usami Noritaka、Kurokawa Yasuyoshi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SC ページ: SC1074-SC1074

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acb779

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Bayesian optimization of hydrogen plasma treatment in silicon quantum dot multilayer and application to solar cells2023

    • 著者名/発表者名
      Kumagai Fuga、Gotoh Kazuhiro、Miyamoto Satoru、Kato Shinya、Kutsukake Kentaro、Usami Noritaka、Kurokawa Yasuyoshi
    • 雑誌名

      Discover Nano

      巻: 18 号: 1 ページ: 0043-0043

    • DOI

      10.1186/s11671-023-03821-9

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Effect of Hydrogen Plasma Treatment on Silicon Quantum Dot Multilayers Using Amorphous SiOx2020

    • 著者名/発表者名
      R. Akaishi, K. Gotoh, S. Kato, N. Usami, Y. Kurokawa
    • 雑誌名

      Proc. 37th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition

      巻: - ページ: 83-86

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preparation and thermoelectric characterization of phosphorus-doped Si nanocrystals/silicon oxide multilayers2020

    • 著者名/発表者名
      Kobayashi Hisayoshi、Akaishi Ryushiro、Kato Shinya、Kurosawa Masashi、Usami Noritaka、Kurokawa Yasuyoshi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SG ページ: SGGF09-SGGF09

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab6346

    • NAID

      210000157822

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] シリコン量子ドット積層膜の光導電率評価2022

    • 著者名/発表者名
      熊谷 風雅、後藤 和泰、山田 繁、伊藤 貴司、宇佐美 徳隆、黒川 康良
    • 学会等名
      第19回次世代の太陽光発電シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Application of Bayesian optimization for high-efficiency silicon quantum dot solar cells2022

    • 著者名/発表者名
      Yasuyoshi Kurokawa, Fuga Kumagai, Shinsuke Miyagawa, Kazuhiro Gotoh, Satoru Miyamoto, Kentaro Kutsukake, Shinya Kato, and Noritaka Usami
    • 学会等名
      European assembly of Advanced Materials Congress
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ボロンドープしたシリコンナノ結晶/シリコン酸化膜積層構造の作製及び熱電特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      柴田 啓介、加藤 慎也、黒澤 昌志、後藤 和泰、宮本 聡、宇佐美 徳隆、黒川 康良
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Application of Silicon Nanocrystals to Energy Harvesting Devices2022

    • 著者名/発表者名
      Yasuyoshi Kurokawa, Fuga Kumagai, Keisuke Shibata, Kazuhiro Gotoh, Satoru Miyamoto, Shinya Kato, and Noritaka Usami
    • 学会等名
      Advanced Materials World Congress
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Photoconductivity measurement of silicon quantum dot multilayers for the Bayesian optimization2022

    • 著者名/発表者名
      Fuga Kumagai, Kazuhiro Gotoh, Satoru Miyamoto, Shinya Kato, Naoki Matsuo, Shigeru Yamada, Takashi Itoh, Noritaka Usami, Yasuyoshi Kurokawa
    • 学会等名
      33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ベイズ最適化を援用したシリコン量子ドット積層構造の高品質化と太陽電池応用2022

    • 著者名/発表者名
      熊谷 風雅、後藤 和泰、加藤 慎也、宮本 聡、沓掛 健太朗、宇佐美 徳隆、黒川 康良
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Preparation and thermoelectric characterization of boron-doped silicon nanocrystals/silicon oxide multilayers2022

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Shibata , Shinya Kato , Masashi Kurosawa , Kazuhiro Gotoh, Satoru Miyamoto, Noritaka Usami, Yasuyoshi Kurokawa
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of Silicon-nanocrystals-embedded Silicon Oxide Passivating Contacts for Use in Crystalline Silicon Solar Cells2021

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Gotoh, Ryohei Tsubata, Masashi Matsumi, Markus Wilde, Tetsuya Inoue, Yasuyoshi Kurokawa, Katsuyuki Fukutani and Noritaka Usami
    • 学会等名
      Global Photovoltaic Conference 2021 (GPVC 2021)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Realization of the Crystalline Silicon Solar Cell Using Nanocrystalline Transport Path in Ultra-thin Dielectrics for Reinforced Passivating Contact2021

    • 著者名/発表者名
      Ryohei Tsubata, Kazuhiro Gotoh, Tetsuya Inoue, Yasuyoshi Kurokawa, and Noritaka Usami
    • 学会等名
      48th IEEE Photovoltaic Specialists Conference (PVSC)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] シリコンナノ結晶/酸化シリコン複合膜におけるキャリア選択能の水素プラズマ処理温度依存性2021

    • 著者名/発表者名
      松見優志,後藤和泰,ビルデ マーカス,黒川康良,福谷克之,宇佐美徳隆
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ベイズ最適化を援用したシリコン量子ドット積層構造の欠陥低減2021

    • 著者名/発表者名
      熊谷風雅,宮川晋輔, 後藤和泰, 沓掛健太朗, 加藤慎也, 宇佐美徳隆, 黒川康良
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Effect of Hydrogenation Process on Passivation Performance of Silicon Nano-crystal/Silicon Oxide Compound Layer2021

    • 著者名/発表者名
      Masashi Matsumi, Kazuhiro Gotoh, Markus Wilde, Yasuyoshi Kurokawa, Katsuyuki Fukutani and Noritaka Usami
    • 学会等名
      31st International Photovoltaic Science and Engineering Conference
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Bayesian Optimization of Hydrogen Plasma Treatment for Reducing Defects in Silicon Quantum Dot Multilayers2021

    • 著者名/発表者名
      Fuga Kumagai, Shinsuke Miyagawa, Kazuhiro Gotoh, Satoru Miyamoto, Kentaro Kutsukake, Shinya Kato, Noritaka Usami, Yasuyoshi Kurokawa
    • 学会等名
      31st International Photovoltaic Science and Engineering Conference
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of Hydrogen Plasma Treatment on Silicon Quantum Dot Multilalyers Using Amorphous SiOx2020

    • 著者名/発表者名
      R. Akaishi, K. Gotoh, N. Usami & Y. Kurokawa
    • 学会等名
      37th European PV Solar Eneregy Conference and Exhibition
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Size effect of silicon nanocrystals on Seebeck coefficient of phosphorus-doped Si nanocrystals/silicon oxide multilayers2020

    • 著者名/発表者名
      H. Kobayashi, S. Kato, M. Kurosawa, K. Gotoh, N. Usami, and Y. Kurokawa
    • 学会等名
      2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2020)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [備考] 名古屋大学 宇佐美・黒川研究室HP

    • URL

      https://www.material.nagoya-u.ac.jp/photonics/

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [備考] 名古屋大学研究者総覧

    • URL

      https://profs.provost.nagoya-u.ac.jp/html/100008535_ja.html

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実施状況報告書 2020 実施状況報告書
  • [備考] Researchermap

    • URL

      https://researchmap.jp/kurokawacookie1129

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実施状況報告書 2020 実施状況報告書
  • [備考] 研究室ホームページ

    • URL

      https://www.material.nagoya-u.ac.jp/photonics/publications.html

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書 2020 実施状況報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-01-30  

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