| 研究課題/領域番号 |
21226009
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| 研究種目 |
基盤研究(S)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
小柳 光正 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (60205531)
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| 研究分担者 |
福島 誉史 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授 (10374969)
田中 徹 東北大学, 大学院医工学研究科, 教授 (40417382)
羽根 一博 東北大学, 大学院工学研究科, 教授 (50164893)
三浦 英生 東北大学, 大学院工学研究科, 教授 (90361112)
裴 艶麗 東北大学, 国際高等研究教育機構, 助教 (70451622)
清山 浩司 長崎総合科学大学, 工学部, 准教授 (60412722)
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| 研究期間 (年度) |
2009-05-11 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
212,030千円 (直接経費: 163,100千円、間接経費: 48,930千円)
2013年度: 12,740千円 (直接経費: 9,800千円、間接経費: 2,940千円)
2012年度: 20,540千円 (直接経費: 15,800千円、間接経費: 4,740千円)
2011年度: 28,860千円 (直接経費: 22,200千円、間接経費: 6,660千円)
2010年度: 81,510千円 (直接経費: 62,700千円、間接経費: 18,810千円)
2009年度: 68,380千円 (直接経費: 52,600千円、間接経費: 15,780千円)
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| キーワード | グラフォアセンブリー / セルフアセンブリー / 三次元集積化 / 光電子集積化 / スーパーチップ / シリコン貫通配線 / 光電子集積システム・オン・チップ |
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| 研究概要 |
三次元積層型光電子集積システム・オン・チップの実現を目指して、その鍵となるグラフォアセンブリー技術、シリコンフォト二クス技術の検討を行った。チップ表面の表面状態を制御することによって液体を制御してチップの位置合わせ精度を向上させるグラフォアセンブリー技術を開発し、寸法の異なる500個以上のチップを8インチ・シリコンウェハ上に一括位置合わせ、接合することに成功した。また、シリコンフォト二クス技術については、垂直方向光インターコネクション(TSPV)技術を確立するとともに、高い結合効率を有する微細グレーティングカップラを開発し、三次元積層型光集積システム・オン・チップの実現可能性を明らかにした。
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| 評価記号 |
検証結果 (区分)
A
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