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形態機能性マイクロ接合によるナノデバイス/CMOS融合型三次元集積回路の創生

研究課題

研究課題/領域番号 21246061
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関九州大学

研究代表者

浅野 種正  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授 (50126306)

研究分担者 田中 康一郎  九州産業大学, 情報科学部知能情報科, 教授 (40253570)
連携研究者 東町 高雄  崇城大学, 工学部機械工学科 (50461611)
池田 晃裕  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 助教 (60315124)
研究期間 (年度) 2009 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
47,450千円 (直接経費: 36,500千円、間接経費: 10,950千円)
2012年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2011年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2010年度: 6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)
2009年度: 33,670千円 (直接経費: 25,900千円、間接経費: 7,770千円)
キーワード電子デバイス・集積回路 / インターコネクト・パッケージのシステム化応用 / センシングデバイス / 三次元集積回路 / 3D-LSI / インターコネクト / マイクロ接合 / 常温接合 / プリンティッドエレクトロニクス / フレキシブルエレクトロニクス / 超音波接合 / クロコン酸 / バンプ / 先鋭バンプ / ヘテロ集積
研究概要

研究代表者らが考案した先鋭形状をもつマイクロ接合電極の接合機構の解明を行うとともに,それを発展させて電子機器の省電力化に有効な三次元集積回路を製造するための技術開発を行った.その結果,従来技術では困難であった非加熱での接合・相互配線を実現し,シリコン半導体と異なる機能,材料を集積できることを示した.応用例として医療など特殊用途に用いることができる近赤外線の撮像素子を試作し,動作させた.

報告書

(5件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (112件)

すべて 2013 2012 2011 2010 2009 その他

すべて 雑誌論文 (59件) (うち査読あり 48件) 学会発表 (47件) 備考 (5件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Room-Temperature Cu Microjoining with Ultrasonic Bonding of Cone-Shaped Bump2013

    • 著者名/発表者名
      L. Qiu, A. Ikeda, K. Noda, S. Nakai, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 52 号: 4S ページ: 04CB10-04CB10

    • DOI

      10.7567/jjap.52.04cb10

    • NAID

      210000141986

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Ultrasonic Bonding of Cone Bump for Integration of Large-Scale Integrated Circuits in Flexible Electronics2013

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, K. Iwanabe, K. Noda, S. Nakai, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 52 号: 5S1 ページ: 05DB10-05DB10

    • DOI

      10.7567/jjap.52.05db10

    • NAID

      210000142215

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Room-Temperature Cu Microjoining with Ultrasonic Bonding of Cone-Shaped Bump2013

    • 著者名/発表者名
      Lijing Qiu
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 ページ: 4-4

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ltrasonic Bonding of Cone Bump for Integration of Large-Scale Integrated Circuits in Flexible Electronics2013

    • 著者名/発表者名
      Takanori Shuto
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 ページ: 5-5

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-Temperature High-Density Interconnection using Ultrasonic Bonding of Cone Bump for Heterogeneous Integration2013

    • 著者名/発表者名
      Takanori Shuto
    • 雑誌名

      Proceedings of the 63rd Electronic Components and Technology Conference

      巻: 63

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] (招待論文)先鋭バンプを用いた異種材料・機能のマイクロ接合技術2012

    • 著者名/発表者名
      浅野種正
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C

      巻: J95-C ページ: 148-148

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 自己組織化単分子膜を用いた銅とはんだのフラックスレス接合の研究2012

    • 著者名/発表者名
      池田晃裕,仲原清顕,仇立靖,浅野種正
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C

      巻: J95-C ページ: 304-304

    • NAID

      110009543930

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Room-Temperature Microjoining of LSI Chips on Poly(ethylene naphthalate) Film Using Mechanical Caulking of Au Cone Bump2012

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, N. Watanabe, A. Ikeda, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 51 号: 4S ページ: 04DB04-04DB04

    • DOI

      10.1143/jjap.51.04db04

    • NAID

      210000072104

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 自己組織化単分子膜を用いた銅とはんだのフラックスレス接合の研究2012

    • 著者名/発表者名
      池田晃裕
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C

      巻: J95-C ページ: 304-311

    • NAID

      110009543930

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-Temperature Microjoining Using Ultrasonic Bonding of Compliant Bump2012

    • 著者名/発表者名
      Keiichiro Iwanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration

      巻: 3 ページ: 165-170

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surface protection of copper by self assembled monolayer for low-temperature chip bonding2012

    • 著者名/発表者名
      Lijing Qiu
    • 雑誌名

      Proceedings of 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration

      巻: 3 ページ: 75-78

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room Temperature Microjoining of qVGA Class Area-Bump Arrary Using Cone Bump2012

    • 著者名/発表者名
      Takanori Shuto
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE CPMT Symposium Japan

      巻: 1 ページ: 43-46

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-Temperature Cu Microjoining Using Ultrasonic Bonding of Cone Shaped Bump2012

    • 著者名/発表者名
      Lijing Qiu
    • 雑誌名

      Ext. Abs. 2012 International Conference on Solid State Devices and Materials

      巻: 44 ページ: 1181-1182

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impact on TFT Characteristics of Rapid Crystallization of Si Using Nickel-Metal Induced Lateral Crystallization2012

    • 著者名/発表者名
      S.Nagata, G.Nakagawa, T.Asano
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 2S ページ: 02BH04-02BH04

    • DOI

      10.1143/jjap.51.02bh04

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Frequency Signal Transmission Characteristics of Cone Bump Interconnec-tions2012

    • 著者名/発表者名
      A.Ikeda, N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Technical Digest of the IEEE International 3D System Integration Conference 2011

      ページ: 1-4

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-Temperature Bonding of LSI Chips to PEN Film Using Au Cone Bump for Heterogeneous Integration2012

    • 著者名/発表者名
      T.Shuto, N.Watanabe, A.Ikeda, T.Asano
    • 雑誌名

      Technical Digest of the IEEE International 3D System Integration Conference 2011

      ページ: 1-5

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ion Beam Bombardment Effect on Contacts in Solution-Processed Single-Walled Carbon Nanotube Thin Film Transistor2011

    • 著者名/発表者名
      X. Yi, G. Nakagawa, H. Ozawa, T. Fujigaya, N. Nakashima, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 50 号: 9R ページ: 98003-98003

    • DOI

      10.1143/jjap.50.098003

    • NAID

      210000071210

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [雑誌論文] Single- Walled Carbon Nanotube Thin Film Transistor Fabricated Using Solution Prepared with 9,9-Dioctyfluorenyl-2, 7-diyl-Bipyridine Copolymer2011

    • 著者名/発表者名
      X. Yi, H. Ozawa, G. Nakagawa, T. Fujigaya, N. Nakashima, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 50 号: 7R ページ: 70207-70207

    • DOI

      10.1143/jjap.50.070207

    • NAID

      210000070810

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microjoining of LSI Chips on Poly(ethylene naphthalate) Using Compliant Bump2011

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, N. Watanabe, A. Ikeda, T. Higashimachi, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 50 号: 6S ページ: 06GM05-06GM05

    • DOI

      10.1143/jjap.50.06gm05

    • NAID

      210000070770

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      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-Temperature Cu-Cu Bonding in Ambient Air Achieved by Using Cone Bump2011

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, N. Watanabe, A. Ikeda, T. Higashimachi, and T. Asano
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 4 号: 1 ページ: 16501-16501

    • DOI

      10.1143/apex.4.016501

    • NAID

      10027782759

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      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Characteristics of a Novel Compliant Bump for 3-D Stacking With High-Density Inter-Chip Connections2011

    • 著者名/発表者名
      N. Watanabe, and T. Asano
    • 雑誌名

      IEEE Transaction on Components, Packaging, and Manufacturing Technology

      巻: 1 号: 1 ページ: 83-83

    • DOI

      10.1109/tcpmt.2010.2101450

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      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Suppressing Current Hysteresis of Solution-processed Thin Film Transistor Made of Single-chirality Single-walled Carbon Nanotube Networks2011

    • 著者名/発表者名
      X.Yi, G.Nakagawa, H.Ozawa, T.Fujigaya, N.Nakashima, T.Asano
    • 雑誌名

      Proceedings of the 7th International TFT Conference

      ページ: 41-41

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      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation of MILC Growth Kinetics for Rapid Crystallization with Emphasis on Grain Filtering2011

    • 著者名/発表者名
      S.Nagata, G.Nakagawa, T.Asano
    • 雑誌名

      Proceedings of the 7th International TFT Conference

      ページ: 81-82

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      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-Temperature Bonding of LSI Chips to Polymer Substrate using Au Cone Bump for Flexible Electronics2011

    • 著者名/発表者名
      T.Shuto, N.Watanabe, A.Ikeda, Tanemasa Asano
    • 雑誌名

      Proceedings of the 61st Electronic Components and Technology Conference

      ページ: 1770-1774

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      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Selective Heating of Microbumps Using Microwave for Low Strain Heterogeneous Chip Stack Integration2011

    • 著者名/発表者名
      L.Qiu, T.Asano
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 68-69

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      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-Temperature Bonding of LSI Chips on PEN Film Using Mechanical Caulking of Au Cone Bump2011

    • 著者名/発表者名
      T.Shuto, N.Watanabe, A.Ikeda, T.Asano
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 787-788

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      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Argon Ion Bombardment to Improve Contacts in Solution-Processed Single-Walled Carbon Nanotube Thin Film Transistor2011

    • 著者名/発表者名
      X.Yi, G.Nakagawa, H.Ozawa, T.Fujigaya, N.Nakashima, T.Asano
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 1266-1267

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impact on TFT Characteristics of Rapid Crystallization of Si Using Nickel-Metal Induced Lateral Crystallization2011

    • 著者名/発表者名
      S.Nagata, G.Nakagawa, T.Asano
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 1422-1423

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation of Ni Metal Induced Lateral Crystallization with a-Si Film Thickness at Very Thin Extent2011

    • 著者名/発表者名
      G.Nakagawa, T.Nakamae, T.Asano
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 1426-1427

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-Temperature Cu-Cu Bonding in Ambient Air Achieved by Using Cone Bump2011

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 4

    • NAID

      10027782759

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Argon/Hydrogen Plasma Cleaning on Electroless Ni Depositionon Small-Area Al Pads2010

    • 著者名/発表者名
      A. Ikeda, K. Kajiwara, N. Watanabe, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 49 号: 8S1 ページ: 08JA05-08JA05

    • DOI

      10.1143/jjap.49.08ja05

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Investigation of Enhanced Impact Ionization in Uniaxially Strained Si n-Channel Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor2010

    • 著者名/発表者名
      S. Adachi, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 49 号: 4S ページ: 04DC14-04DC14

    • DOI

      10.1143/jjap.49.04dc14

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Room-Temperature Bonding Using Mechanical Caulking Effect of Compliant Bumps for Chip-Stack Interconnection2010

    • 著者名/発表者名
      N. Watanabe, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 49 号: 4S ページ: 04DB02-04DB02

    • DOI

      10.1143/jjap.49.04db02

    • NAID

      210000068183

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of Back-Side Illuminated Complementary Metal Oxide Semiconductor Image Sensor Using Compliant Bump2010

    • 著者名/発表者名
      N. Watanabe, I. Tsunoda, T. Takao, K. Tanaka, and T, Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 49 号: 4S ページ: 04DB01-04DB01

    • DOI

      10.1143/jjap.49.04db01

    • NAID

      210000068182

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of Back-Side Illuminated Complementary Metal Oxide Semiconductor Image Sensor Using Compliant Bump2010

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, I.Tsunoda, T.Takao, K.Tanaka, T.Asano
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 49

    • NAID

      210000068182

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-Temperature Bonding Using Mechanical Caulking Effect of Compliant Bumps for Chip-Stack Interconnection2010

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 49

    • NAID

      210000068183

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation of Enhanced Impact Ionization in Uniaxially Strained Sin-Channel Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor2010

    • 著者名/発表者名
      S.Adachi, T.Asano
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 49

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Argon/Hydrogen Plasma Cleaning on Electroless Ni Deposition on Small-Area Al Pads2010

    • 著者名/発表者名
      A.Ikeda, K.Kajiwara, N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 49

    • NAID

      210000069047

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    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Liquid-Phase Bonding for High Density Chip-Stack Interconnection2010

    • 著者名/発表者名
      L.Qiu, N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Proceedings of the 2010 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai

      ページ: 36-37

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  • [雑誌論文] Room-Temperature Chip-stack Interconnection Using Compliant Bumps and Wedge-Incorporated Electrodes2010

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Proceedings of the 60th Electronic Components and Technology Conference

      ページ: 1763-1768

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  • [雑誌論文] Near-Infrared Image Sensor Fabricated Using Compliant Bump2010

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, F.Hoashi, Y.Nagai, H.Inada, Y.Iguchi, T.Asano
    • 雑誌名

      Ext.Abstr.2010 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 1210-1211

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  • [雑誌論文] Direct Bonding of LSI Chips to Flexible Substrate Using Compliant Bump2010

    • 著者名/発表者名
      T.Shuto, N.Watanabe, A.Ikeda T.Higashimachi, T.Asano
    • 雑誌名

      Dig.Papers 23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference

      巻: 23

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  • [雑誌論文] Deformation Analysis of Au Cone Bump in 3D LSI Stacking Compliant Bump2010

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, T.Higashimachi, T.Asano
    • 雑誌名

      Dig.Papers 23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference

      巻: 23

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      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-Temperature and Low-Stress Micro-joining using Compliant Bump for Heterogeneous Integration2010

    • 著者名/発表者名
      T.Asano, N.Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of the 10th International Workshop on Microelectronics Assembling and Packaging

      ページ: 15-20

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-frequency signal transmission characteristics of coplanar waveguides with cone bump interconnections2010

    • 著者名/発表者名
      A Ikeda, K.Kajiwara, N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Proceeding of the IEEE Region 10 Conference (TENCON) 2010

      ページ: 2191-2195

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Direct Connection of LSI Chips to Polyethylene Naphthalate Using Au Cone Bump2010

    • 著者名/発表者名
      T.Shuto, N.Watanabe, A.Ikeda, T.Higashimachi, T.Asano
    • 雑誌名

      Proceedings of the 17th International Display Workshops

      ページ: 1717-1720

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 3D-integration of a log spiral antenna onto a dual grating-gate plasmon -resonant terahertz emitter for high-directivity radiation2009

    • 著者名/発表者名
      H.C.Kang, T.Nishimura, T.Komori, T.Mori, N.Watanabe, T.Asano, T.Otsuj
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series 193

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Integration of Compliant Bump with Through-Si-Via Technology andn It s Application to Backside Illuminated CMOS Image Sensor2009

    • 著者名/発表者名
      T.Asano, N.Watanabe, I.Tsunoda, T.Takao, K.Tanaka, T.Hiagashimachi, Y.Yamaji, M Aoyagi, T.Kyotani, H.Arao, Y .Kimiya, K.Fukunaga, A.Ikeda, Y.Kuroki, T.Tsurushima
    • 雑誌名

      Proc. 2009 Int. Conf. Electronics Packaging

      ページ: 185-190

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation on Wet-Chemical Surface Cleaning of Au Bump for Low-Temperature Chip-Stack Bonding Using Compliant Bump2009

    • 著者名/発表者名
      T.Mori, N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Proc. 2009 Int. Conf. Electronics Packaging

      ページ: 392-396

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Application of Compliant Bump to Stacking Ultra-thin Chips with High Number of Inter-chip Connections for Back-side Illuminated CMOS Image Sensor2009

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, I.Tsunoda, T.Asano
    • 雑誌名

      Ext. Abs. 2009 IMFEDK International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai

      ページ: 56-57

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study on impact ionization in uniaxially strained MOSFET2009

    • 著者名/発表者名
      S.Adachi, T.Asano
    • 雑誌名

      Ext. Abs. 2009 IMFEDK International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai

      ページ: 54-55

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Compliant Bump Technology for Back-Side Illuminated CMOS Image Sensor2009

    • 著者名/発表者名
      T.Asano, N.Watanabe, I.Tsunoda, Y.Kimiya, K.Fukunaga, M.Handa, H.Arao, Y.Yamaji, M.Aoyagi, T.Higashimachi, K.Tanaka, T.Takao, K.Matsumura, A.Ikeda, Y.Kuroki, T.Tsurushima
    • 雑誌名

      Proc. 2009 Int. Electronic Components and Techn ology Conference"

      ページ: 40-45

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Simulation and experiment of liquid-phase microjoining using cone-shaped compliant bump2009

    • 著者名/発表者名
      L.J.Qiu, N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Proc. 2009 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices

    • NAID

      110007360182

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Liquid Phase Bonding Using Au Compliant Bumps for Fine-Pitch Solder Bump Interconnection2009

    • 著者名/発表者名
      L.J.Qiu, N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 366-367

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-Density Room-Temperature 3D Chip-Stacking Using Mechanical Caulking With Compliant Bump andThrough-Hole-Electrode2009

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, M.Kawashita, Y.Yoshimura, N.Tanaka, T.A sano
    • 雑誌名

      Proceedings of ASME 2009 InterPACK Conference

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 3D-integration of a log spiral antenna onto a dual grating-gate plasmon-resonant terahertz emitter for high-directivity radiation2009

    • 著者名/発表者名
      H.C.Kang, T.Nishimura, T.Otsuji, T.Mori, N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      EDISON : 16th Int. Conf. on Electron Dynamics i n Semiconductors, Optoelectronics and Nanostructures

      ページ: 239-239

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Back-Side Illuminated CMOS Image Sensor Fabricated using Compliant Bump"2009

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, I.Tsunoda, T.Takao, K.Tanaka, T.Asano
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 90-91

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-Temperature Large-Number Inter-Chip Connections using Mechani cal Caulking Effect of Compliant Bump2009

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, T.Asano
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 368-369

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation on Enhanced Impact Ionizaion in Uniaxially Strained Si MOSFET2009

    • 著者名/発表者名
      S.Adachi, T.Asano
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 775-776

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Room-Temperature High-Density Interconnection using Ultrasonic Bonding of Cone Bump for Heterogeneous Integration2013

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, K. Iwanabe, Li Jing Qiu, and T. Asano
    • 学会等名
      Proceedings of the 63rd Electronic Components and Technology Conference
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] High-Density Room-Temperature Bonding of LSI Chips on Plastic Film Using Cone Bump2013

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, K. Iwanabe, and T. Asano
    • 学会等名
      Proceedings of the 9th International Thin-Film Transistor Conference
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Room-Temperature High-Density Interconnection using Ultrasonic Bonding of Cone Bump for Heterogeneous Integration2013

    • 著者名/発表者名
      Takanori Shuto
    • 学会等名
      63rd Electronic Components and Technology Conference
    • 発表場所
      Las Vegas
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] High Frequency Signal Transmission Characteristics of Cone Bump Interconnec-tions2012

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Ikeda
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Confere nee 2011 (3DIC2011)
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2012-01-30
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Low-Temperature Bonding of LSI Chips to PEN Film Using Au Cone Bump for Heterogeneous Integration2012

    • 著者名/発表者名
      Takanori Shuto
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference 2011 (3DIC2011)
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2012-01-30
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Phosphorus Doping of 4H-SiC by KrF Excimer Laser Irradiation in Phosphoric Solution2012

    • 著者名/発表者名
      A. Ikeda, K. Nishi, and T. Asano
    • 学会等名
      Ext. Abstr. International Conference on Solid State Devices and Materials 2012
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Room-Temperature Micro- joining Using Ultrasonic Bonding of Compliant Bump2012

    • 著者名/発表者名
      K. Iwanabea, T. Shutoa, K. Nodab, S. Nakaib, and T. Asano
    • 学会等名
      Proceedings of IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] "Deformation Analysis of Au Cone Bump in 3D LSI Stacking2012

    • 著者名/発表者名
      N. Watanabe, T. Higashimachi, and T. Asano
    • 学会等名
      Dig.Papers International Microprocesses and Nanotechnology Conference2012
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Room Temperature Microjoining of qVGA Class Area-Bump Array Using Cone Bump2012

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, K. Iwanabe, L. Qiu, and T. Asano
    • 学会等名
      Proceedings of IEEE CPMT Society Japan Chapter 2012
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Ultrasonic Bonding of Cone Bump for Integration of LSIs in Flexible Electronics2012

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, K. Iwanabe, K. Noda, S. Nakai, and T. Asano
    • 学会等名
      Proceedings of International Conference on Flexible and Printed Electronics 2012
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Room Temperature Microjoining of qVGA Class Area-Bump Arrary Using Cone Bump2012

    • 著者名/発表者名
      Takanori Shuto
    • 学会等名
      IEEE CPMT Symposium Japan 2012
    • 発表場所
      Kyoto
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Room-Temperature Cu Microjoining Using Ultrasonic Bonding of Cone Shaped Bump2012

    • 著者名/発表者名
      Lijing Qiu
    • 学会等名
      2012 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Kyoto
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Surface protection of copper by self assembled monolayer for low-temperature chip bonding2012

    • 著者名/発表者名
      Lijing Qiu
    • 学会等名
      3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      Tokyo
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Room-Temperature Microjoining Using Ultrasonic Bonding of Compliant Bump2012

    • 著者名/発表者名
      Keiichiro Iwanabe
    • 学会等名
      3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      Tokyo
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 異種材料・機能のマイクロ接合技術2011

    • 著者名/発表者名
      浅野種正
    • 学会等名
      デザインガイア2011
    • 発表場所
      宮崎(招待講演)
    • 年月日
      2011-11-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Impact on TFT Characteristics of Rapid Crystallization of Si Using Nickel-Metal Induced Lateral Crystallization2011

    • 著者名/発表者名
      Sho Nagata
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2011-09-30
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Investigation of Ni Metal Induced Lateral Crystallization with a-Si Film Thickness at Very Thin Extent2011

    • 著者名/発表者名
      Gou Nakagawa
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2011-09-30
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Argon Ion Bombardment to Improve Contacts in Solution-Processed Single-Walled Carbon Nanotube Thin Film Transistor2011

    • 著者名/発表者名
      Xun Yi
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] High Density Interconnect Technology for Heterogeneous 3D-LSI2011

    • 著者名/発表者名
      Tanemasa Asano
    • 学会等名
      ITRI-KU Joint Symposium
    • 発表場所
      Hsinchu(Invited)
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Selective Heating of Microbumps Using Microwave for Low Strain Heterogeneous Chip Stack Integration2011

    • 著者名/発表者名
      Lijing Qiu
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2011-09-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Room-Temperature Bonding of LSI Chips on PEN Film Using Mechanical Caulking of Au Cone Bump2011

    • 著者名/発表者名
      Takanori Shuto
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2011-09-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Self-heating issue of poly-Si TFT on glass substrate2011

    • 著者名/発表者名
      Tanemasa Asano
    • 学会等名
      Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors III" (ULSI-TFT III)
    • 発表場所
      Hong-Kong(Invited)
    • 年月日
      2011-06-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Low-Temperature Bonding of LSI Chips to Polymer Substrate using Au Cone Bump for Fiexible Electronics2011

    • 著者名/発表者名
      Takanori Shuto
    • 学会等名
      61st Electronic Components and Technology Conference (ECTC2011)
    • 発表場所
      Orland
    • 年月日
      2011-06-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Low-temperature bonding of LSI chips to PEN film using Au cone bump for heterogeneous integration2011

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, N. Watanabe, A. Ikeda, and T. Asano
    • 学会等名
      Proceedings of 3D Systems Integration Conference 2011
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] High frequency signal transmission characteristics of cone bump interconnections2011

    • 著者名/発表者名
      A. Ikeda, N. Watanabe, and T. Asano
    • 学会等名
      Proceedings of 3D Systems Integration Conference 2011
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Room temperature bonding of LSI chips on PEN film using mechanical caulking of Au cone bump2011

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, N. Watanabe, A. Ikeda, and T. Asano
    • 学会等名
      Ext. Abstr. International Conference on Solid State Devices and Materials 2011
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Low-Temperature Bonding of LSI Chips to Polymer Substrate using Au Cone Bump for Flexible Electronics2011

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, N. Watanabe, A. Ikeda and T. Asano
    • 学会等名
      Proceedings of the 61st Electronic Components and Technology Conference 2011
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Direct Connection of LSI Chips to Polyethylene Naphthalate Using Au Cone Bump2010

    • 著者名/発表者名
      T.Shuto, N.Watanabe, A.Ikeda, T.Higashimachi, T.Asano
    • 学会等名
      7th International Display Workshops (IDW'10)
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2010-12-02
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] High-frequency signal transmission characteristics of coplanar waveguides with cone bump interconnections2010

    • 著者名/発表者名
      A Ikeda, K.Kajiwara, N.Watanabe, T.Asano
    • 学会等名
      IEEE Region 10 Conference (TENCON) 2010
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2010-11-22
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Low-Temperature and Low-Stress Micro-joining using Compliant Bump for Heterogeneous Integration2010

    • 著者名/発表者名
      T.Asano, N.Watanabe
    • 学会等名
      10th International Workshop on Microelectronics Assembling and Packaging (MAP2010)
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2010-11-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Deformation Analysis of Au Cone Bump in 3D LSI Stacking Compliant Bump2010

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, T.Higashimachi, T.Asano
    • 学会等名
      23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2010)
    • 発表場所
      北九州
    • 年月日
      2010-11-11
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Direct Bonding of LSI Chips to Flexible Substrate Using Compliant Bump2010

    • 著者名/発表者名
      T.Shuto, N.Watanabe, A.Ikeda, T.Higashimachi, T.Asano
    • 学会等名
      23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2010)
    • 発表場所
      北九州
    • 年月日
      2010-11-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Near-Infrared Image Sensor Fabricated Using Compliant Bump2010

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, F.Hoashi, Y.Nagai, H.Inada, Y.Iguchi, T.Asano
    • 学会等名
      2010 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2010)
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2010-09-24
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Room-Temperature Chip-stack Interconnection Using Compliant Bumps and Wedge-Incorporated Electrodes2010

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe, T.Asano
    • 学会等名
      60th Electronic Components and Technology Conference (ECTC2010)
    • 発表場所
      Orland
    • 年月日
      2010-06-02
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] A Liquid-Phase Bonding for High Density Chip-Stack Interconnection2010

    • 著者名/発表者名
      L.Qiu, N.Watanabe, T.Asano
    • 学会等名
      2010 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2010)
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2010-05-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Direct Bonding of LSI Chips to Flexible Substrate Using Compliant Bump2010

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, N. Watanabe, A. Ikeda, T. Higashimachi, and T. Asano
    • 学会等名
      Dig. Papers International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2010
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Direct Connection of LSI Chips to Polyethylene Naphthalate Using Au Cone Bump2010

    • 著者名/発表者名
      T. Shuto, N. Watanabe, A. Ikeda, T. Higashimachi, and T. Asano
    • 学会等名
      Proceedings of the 17th International Display Workshops
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Back-Side Illuminated CMOS Image Sensor Fabricated using Compliant Bump2009

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe
    • 学会等名
      2009 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Liquid Phase Bonding Using Au Compliant Bumps for Fine-Pitch Solder Bump Interconnection2009

    • 著者名/発表者名
      L.J.Qiu
    • 学会等名
      2009 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2009-09-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Room-Temperature Large-Number Inter-Chip Connections using Mechanical Caulking Effect of Compliant Bump2009

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe
    • 学会等名
      2009 International Conference on Solid State Dev ices and Materials
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2009-09-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] High-Density Room-Temperature 3D Chip-Stacking Using Mechanical Caulking With Compliant Bump andThrough-Hole-Electrode2009

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe
    • 学会等名
      ASME 2009 InterPACK Conference
    • 発表場所
      San Francisco
    • 年月日
      2009-07-20
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Simulation and experiment of liquid-phase microjoining using cone-shaped compliant bump2009

    • 著者名/発表者名
      L.J.Qiu
    • 学会等名
      2009 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
    • 発表場所
      Busan
    • 年月日
      2009-06-25
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Compliant Bump Technology for Back-Side Illuminated CMOS Image Sensor2009

    • 著者名/発表者名
      T.Asano
    • 学会等名
      2009 Int. Electronic Components and Technology Conference
    • 発表場所
      San Diego
    • 年月日
      2009-05-26
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Study on impact ionization in uniaxially strained MOSFET2009

    • 著者名/発表者名
      S.Adachi
    • 学会等名
      2009 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2009-05-15
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Application of Compliant Bump to Stacking Ultra-thin Chips with High Number of Inter-chip Connections for Back-side Illuminated CMOS Image Sensor2009

    • 著者名/発表者名
      N.Watanabe
    • 学会等名
      2009 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2009-05-14
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Investigation on Wet-Chemical Surface Cleaning of Au Bump for Low-Temperature Chip-Stack Bonding Using Compliant Bump2009

    • 著者名/発表者名
      T.Mori
    • 学会等名
      2009 Int. Conf. Electronics Packaging
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2009-04-16
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Integration of Compliant Bump with Through-Si-Via Technology andn Its Application to Backside Illuminated CMOS Image Sensor(Invited)2009

    • 著者名/発表者名
      T.Asano
    • 学会等名
      2009 Int. Conf. Electronics Packaging
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2009-04-15
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://fed.ed.kyushu-u.ac.jp/index.html

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [備考] 研究者情報

    • URL

      http://hyoka.ofc.kyushu-u.ac.jp/search/details/K002917/index.html

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://hyoka.ofc.kyushu-u.ac.jp/search/details/K002917/index.html

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://hyoka.ofc.kyushu-u.ac.jp/search/details/K002917/index.html

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://hyoka.ofc.kyushu-u.ac.jp/search/details/K002917/index.html

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [産業財産権] 電極バンナ及びその製造並びに接読方法2010

    • 発明者名
      浅野種正 渡辺直也
    • 権利者名
      科学技術振興機興
    • 出願年月日
      2010-03-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2019-07-29  

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