| 研究課題/領域番号 |
21360147
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 山梨大学 |
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研究代表者 |
近藤 英一 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授 (70304871)
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| 研究分担者 |
金 蓮花 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 准教授 (40384656)
垣尾 省司 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 准教授 (70242617)
渡邉 満洋 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 助教 (90532036)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
16,900千円 (直接経費: 13,000千円、間接経費: 3,900千円)
2011年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2010年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円)
2009年度: 6,890千円 (直接経費: 5,300千円、間接経費: 1,590千円)
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| キーワード | 超臨界流体 / ゆらぎ / エリプソメトリ / 面計測 / 弾性表面波 / 撮像エリプソメトリ / 薄膜堆積 |
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| 研究概要 |
本研究は、超臨界流体のマイクロ・ナノエレクトロニクス応用を念頭に、超臨界流体中のマルチスケール揺らぎを「測り」「手なづける」ための方法論を構築することが目的である。本研究で大きく分けて,(1)エリプソメーターのナノ測定技術を利用した基板表面(界面)の局所揺らぎの測定と新規プロセスの提案,(2)ゆらぎ高速撮像エリプソメータの開発、(3)弾性表面波の表面敏感性を利用したメゾ～バルクの流体揺らぎ測定技術開発を行った。
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