研究課題
基盤研究(B)
金属ナノ粒子へのレーザー光照射による局所的な高速加熱過程とそれを用いた金属微細配線のレーザー直接描画についての研究を行った。金属ナノ粒子にレーザー光が照射された場合には、金属ナノ粒子のプラズモン吸収によってレーザー光が高効率で吸収され、光エネルギーが熱エネルギーに高速で変換される現象が起こった。この現象を用いることによって、Cuナノ粒子を用いたCu微細パターン形成における酸化反応の抑制や、Auナノ粒子を用いたCu基板へのAu被覆薄膜形成におけるCu原子拡散の低減を行うことができた。
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