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極低温トンネル反応と低速電子線誘起反応を利用した炭素薄膜の合成

研究課題

研究課題/領域番号 21560031
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関山梨大学

研究代表者

佐藤 哲也  山梨大学, クリーンエネルギー研究センター, 准教授 (60252011)

研究分担者 中川 清和  山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授 (40324181)
宮嶋 尚哉  山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 助教 (20345698)
山中 淳二  山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 准教授 (20293441)
有元 圭介  山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 准教授 (30345699)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2011年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
キーワードカーボン / 非晶質 / 電子衝撃 / 薄膜 / 極低温 / トネンル / メタン / 水素原子 / 低速電子 / 欠陥密度 / アモルファス / トンネル / DLC / トンネル現象 / 低温
研究概要

水素原子の関与するトンネル反応と低速電子誘起反応を利用して、メタンガスを試料ガスとしてカーボン薄膜を極低温に冷却した基板上に合成した。カーボン膜の結合水素濃度(C_H)は約1%~6%と低く、光学バンドギャップは水素濃度に大きく依存し0. 9~2. 5eVと変化した。欠陥密度はC_Hが高くなるにつれ減少し、sp^2クラスターがほとんど無い場合に10^<18>(spins/cm^3)以下に軽減することができた。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて 2012 2011 2010 2009 その他

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (16件) 図書 (1件) 備考 (2件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] メタン凝縮層からの炭素薄膜極低温合成2010

    • 著者名/発表者名
      佐藤哲也、伊東佑将、森田直樹、井草裕志、小林憲明、中川清和、佐藤昇司
    • 雑誌名

      New Diamon

      巻: vol.96 ページ: 29-32

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [雑誌論文] メタン凝縮層からの炭素薄膜極低温合成2010

    • 著者名/発表者名
      佐藤哲也
    • 雑誌名

      New Diamond 96

      ページ: 29-32

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [雑誌論文] Synthesis of Amorphous Germane by Tunneling Reactions of Hydrogen Atoms with van der Waals GeH_4 Films at Cryogenic Temperatures2009

    • 著者名/発表者名
      Norihito Sogoshi, Shoji Sato, Hideaki Takashima, Tetsuya Sato, and Kenzo Hiraoka
    • 雑誌名

      Jpn. J. of Appl. Phys

      巻: vol.48

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis of Polysilanes by Tunneling Reactions of H Atoms with Solid Si_2H_6 at 10K2009

    • 著者名/発表者名
      Norihito Sogoshi, Shoji Sato, Hideaki Takashima, Tetsuya Sato, and Kenzo Hiraoka
    • 雑誌名

      Chemistry Letters

      巻: vol.38 ページ: 986-987

    • NAID

      10025547257

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 低速電子線誘起反応と低温トンネル反応によるa-SiCx : Hの極低温合成2012

    • 著者名/発表者名
      山田竜太郎,小林直樹,胡雪冰,佐藤哲也,有元圭介,山中淳二,中川清和
    • 学会等名
      2012春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-17
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 低速電子線誘起反応と低温トンネル反応によるa-SiCx:Hの極低温合成2012

    • 著者名/発表者名
      山田竜太郎
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-17
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] C_3F_8凝縮層の低速電子線衝撃によるa-C : F薄膜の極低温合成2012

    • 著者名/発表者名
      胡雪冰,山田竜太郎,小林直樹,川上浩一,佐藤哲也
    • 学会等名
      2012春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-16
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] フルオロカーボン凝縮層の低速電子線照射によるa-C : Fの極低温合成2011

    • 著者名/発表者名
      胡雪冰,鍋田貴大,土屋新平,石川政彦,川上浩一,佐藤哲也
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学小白川キャンパス
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 低速電子線照射により極低温合成したカーボン膜のESRによる構造欠陥評価2011

    • 著者名/発表者名
      小林直樹,山田竜太郎,年森隆明,森田直樹,佐藤哲也,有元圭介,山中淳二,中川清和
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学小白川キャンパス
    • 年月日
      2011-08-31
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 低速電子線照射により極低温合成したカーボン膜のESRによる構造欠陥評価2011

    • 著者名/発表者名
      小林直樹
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-08-31
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] CH_4 Ar固体薄膜への低速電子線衝撃: Arマトリックス単離赤外分光法による反応解析2010

    • 著者名/発表者名
      佐藤哲也
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-16
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 低速電子線誘起反応と低温トンネル反応により合成した炭素膜のTEM観察2010

    • 著者名/発表者名
      森田直樹,伊東佑将,渡辺陵,荒井哲司,佐藤哲也,山本千綾,有元圭介,山中淳二,中川清和
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 低速電子線誘起反応と低温トンネル反応により合成した炭素膜のTEM観察2010

    • 著者名/発表者名
      森田直樹
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(湘南キャンパス)
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] CH_4/Ar固体薄膜への低速電子線衝撃: Arマトリックス単離赤外分光法による反応解析(16a-ND-9)2010

    • 著者名/発表者名
      佐藤哲也,渡邊陵,小林直樹,森田直樹,伊東佑将,荒井哲司,宮嶋尚哉,中川清和
    • 学会等名
      2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] CF_4凝縮層の低速電子線衝撃によるa-C : F薄膜の極低温合成2010

    • 著者名/発表者名
      胡雪冰,鍋田貴大,土屋新平,森田直樹,佐藤哲也
    • 学会等名
      2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 低速電子線誘起反応と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成2009

    • 著者名/発表者名
      佐藤哲也
    • 学会等名
      2009年度実用表面分析講演会(PSA-09)
    • 発表場所
      山梨大学
    • 年月日
      2009-11-20
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 低速電子線誘起反応と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成2009

    • 著者名/発表者名
      佐藤哲也
    • 学会等名
      009年度実用表面分析講演会(PSA-09)
    • 発表場所
      山梨大学
    • 年月日
      2009-11-20
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 低速電子線誘起反応とトンネル反応により合成した炭素薄膜の表面分析2009

    • 著者名/発表者名
      森田直樹,伊東佑将,胡雪氷,土屋新平,渡辺陵,佐藤哲也,山本千綾,有元圭介,山中淳二,中川清和
    • 学会等名
      2009年度実用表面分析講演会(PSA-09)
    • 発表場所
      山梨大学
    • 年月日
      2009-11-19
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 低速電子線誘起反応とトンネル反応により合成した炭素薄膜の表面分析2009

    • 著者名/発表者名
      森田直樹
    • 学会等名
      009年度実用表面分析講演会(PSA-09)
    • 発表場所
      山梨大学
    • 年月日
      2009-11-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 低速電子線誘起堆積法と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成2009

    • 著者名/発表者名
      伊東佑将,胡雪氷,土屋新平,森田直樹,荒井哲司,佐藤哲也,中川清和
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [図書] Yafo Annual Book2010

    • 著者名/発表者名
      佐藤哲也
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://sangaku.yamanashi.ac.jp/SearchResearcher/contents/1FB71E46743CE530.html

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.abll.yamanashi.ac.jp/ABB/No3/index.html

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [産業財産権] 排気ガスの固定化処理法、及びその処理装置2011

    • 発明者名
      佐藤哲也
    • 権利者名
      国立大学法人山梨大学
    • 産業財産権番号
      2011-042049
    • 出願年月日
      2011-02-28
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書

URL: 

公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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