| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2012年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2010年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2009年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| 研究概要 |
ウォータドライブステージを開発した上,これとウォータドライブスピンドルを組み合わせたウォータドライブ超精密加工システムを開発した.次に,ウォータドライブステージの速度制御を目的として,フィードバック制御系を設計開発し,テーブルに負荷変動が存在しても,テーブル速度を一定に保てることを確認した.さらに,開発した加工システムを水温制御された水中に設置し,温度制御された水中環境下でダイヤモンド切削加工を実施した.
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