| 研究課題/領域番号 |
21560263
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 山口大学 |
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研究代表者 |
南 和幸 山口大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (00229759)
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| 研究分担者 |
中島 雄太 山口大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (70574341)
木下 勝之 山口大学, 大学院・理工学研究科, 講師 (80325240)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2010年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2009年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
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| キーワード | MEMS / マイクロアクチュエータ |
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| 研究概要 |
電極間に発生する静電気力と非線形な特性を持つバネとを協働させる駆動方式を考案し、この方式により動く静電マイクロアクチュエータを提案した。有限要素法を用いた詳細なシミュレーションにより、以前よりも931倍も高出力な静電マイクロアクチュエータを設計した。更なる形状・寸法の改善や加工技術の高精度化ができれば、以前のものより1万倍以上高出力になることが分かり、新方式の優秀性を証明した。また、試作の実施により、実際に製作する上での問題点も実験的に明らかにした。
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