研究課題/領域番号 |
21560328
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
電子・電気材料工学
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研究機関 | 神戸大学 (2011) 京都大学 (2009-2010) |
研究代表者 |
神野 伊策 神戸大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70346039)
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研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2010年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2009年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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キーワード | 圧電 / 薄膜 / 圧電すべり効果 / 圧電横効果 / PZT / MEMS |
研究概要 |
強誘電体薄膜材料の分極状態を制御することで薄膜材料の圧電特性を高精度に計測する技術を開発し,分極が圧電特性に与える影響を明らかにする.特に薄膜材料の圧電すべり特性はこれまで報告例がほとんどなく,本研究では特に圧電すべり特性を解明することで,薄膜材料の圧電効果をさらに向上させるための知見を得る.またこれらの結果を基に新しい薄膜圧電材料の創出および特性向上を目的としている.
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