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分極制御による薄膜材料の多元的圧電特性評価技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 21560328
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関神戸大学 (2011)
京都大学 (2009-2010)

研究代表者

神野 伊策  神戸大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70346039)

研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2010年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2009年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワード圧電 / 薄膜 / 圧電すべり効果 / 圧電横効果 / PZT / MEMS
研究概要

強誘電体薄膜材料の分極状態を制御することで薄膜材料の圧電特性を高精度に計測する技術を開発し,分極が圧電特性に与える影響を明らかにする.特に薄膜材料の圧電すべり特性はこれまで報告例がほとんどなく,本研究では特に圧電すべり特性を解明することで,薄膜材料の圧電効果をさらに向上させるための知見を得る.またこれらの結果を基に新しい薄膜圧電材料の創出および特性向上を目的としている.

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (39件)

すべて 2012 2011 2010 2009 その他

すべて 雑誌論文 (14件) (うち査読あり 10件) 学会発表 (23件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Multilayer Thin-Film Capacitor Fabricated by Radio-Frequency Magnetr on Sputtering2012

    • 著者名/発表者名
      Yuji Imamiya, Isaku Kanno, Ryuji Yokokawa, Hidetoshi Kotera
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50 号: 9S2 ページ: 09NA01-09NA01

    • DOI

      10.1143/jjap.50.09na01

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Power-generation performance of lead-free (KNa)NbO3 piezoelectric thin-film energy harvester2012

    • 著者名/発表者名
      I.Kanno, T.Ichida, K.Adachi, H.Kotera, K.Shibata, T.Mishima
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A : Physical

      巻: 179 ページ: 132-136

    • DOI

      10.1016/j.sna.2012.03.003

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Metal-based Piezoelectric Microelectromechanical Systems Scanner Composed of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Film on Titanium Substrate2012

    • 著者名/発表者名
      S.Matsushita, I.Kanno, K.Adachi, R.Yokokawa, H.Kotera
    • 雑誌名

      Microsystem technologies

      巻: 18(web) 号: 6 ページ: 765-771

    • DOI

      10.1007/s00542-012-1462-8

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Piezoelectric properties of microfabricated (K,Na)NbO3 thin films2011

    • 著者名/発表者名
      Yu Wakasa, Isaku Kanno, Ryuji Yokokawa, Hidetoshi Kotera, Kenji Shibata, Tomoyoshi Mishima
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A : Physical

      巻: 171 号: 2 ページ: 223-227

    • DOI

      10.1016/j.sna.2011.06.018

    • NAID

      120003534364

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 機能性薄膜のマイクロデバイス応用2011

    • 著者名/発表者名
      神野伊策, 小寺秀俊
    • 雑誌名

      機械の研究

      巻: 63 ページ: 459-466

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sol-gel deposition and piezoelectric properties of{110}-oriented Pb(Zr0. 52Ti0. 48) O3 thin films2010

    • 著者名/発表者名
      D. Ambika, V. Kumar, H. Imai, I. Kanno
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett

      巻: Vol.96 ページ: 31909-31909

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Orientation Dependence of Shear Mode Piezoelectric Properties of Epitaxial Pb(Zrx, Ti1-x) O3 Thin Films2010

    • 著者名/発表者名
      K. Akama, I. Kanno, R. Yokokawa, K. Wasa, H. Kotera
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 49

    • NAID

      210000069214

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Orientation Dependence of Transverse Piezoelectric Properties of Epitaxial BaTiO3 Films2010

    • 著者名/発表者名
      H. Imai, I. Kanno, R. Yokokawa, K. Wasa, H. Kotera
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 49

    • NAID

      210000069216

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Orientation Dependence of Shear Mode Piezoelectric Properties of Epitaxial Pb(Zrx, Til-x)O3 Thin Films2010

    • 著者名/発表者名
      Kenji Akama, Isaku Kanno, Ryuji Yokokawa, Kiyotaka Wasa, Hidetoshi Kotera
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 49

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Orientation Dependence of Transverse Piezoelectric Properties of Epitaxial BaTiO3 Films2010

    • 著者名/発表者名
      Hideyuki Imai, Isaku Kanno, Ryuji Yokokawa, Kiyotaka Wasa, Hidetoshi Kotera
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 49

    • NAID

      210000069216

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-efficiency piezoelectric energy harvesters of c-axis-oriented epitaxial PZT films transferred onto stainless steel cantilevers2010

    • 著者名/発表者名
      Keiji Morimoto, Isaku Kanno, Kiyotaka Wasa, Hidetoshi Kotera
    • 雑誌名

      Sens.Actuators A

      巻: 163 ページ: 428-432

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sol-gel deposition and piezoelectric properties of {110}-oriented Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 thin films2010

    • 著者名/発表者名
      Ambika, D.; Kumar, Viswanathan; Imai, Hideyuki; Kanno, Isaku
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 96

      ページ: 31909-31909

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of Intrinsic Shear Piezoelectric Coefficient d15 of c-Axis Oriented Pb(Zr, Ti) O3 Films2009

    • 著者名/発表者名
      I. Kanno, K. Akama, K. Wasa, H. Kotera
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: Vol.2 ページ: 91402-91402

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Evaluation of Intrinsic Shear Piezoelectric Coefficient d15 of c-Axis Oriented Pb(Zr, Ti)O3 Films2009

    • 著者名/発表者名
      Isaku Kanno, Kenji Akama, Kiyotaka Wasa, Hidetoshi
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 2

      ページ: 91402-91402

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 圧電薄膜を用いたMEMSエナジーハーベスト2012

    • 著者名/発表者名
      神野伊策
    • 学会等名
      2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 圧電薄膜を用いたMEMSデバイス開発2012

    • 著者名/発表者名
      神野伊策
    • 学会等名
      第18回『エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術』(mate2012)
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県)
    • 年月日
      2012-02-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 圧電薄膜を用いたMEMSデバイス開発2012

    • 著者名/発表者名
      神野伊策
    • 学会等名
      第18回『エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術』
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] VIBRATION ENERGY HAEVESTERS OF LEAD-FREE (K,Na)NbO3 PIEZOELECTRIC THIN FILMS2011

    • 著者名/発表者名
      I.Kanno, T.Ichida, H.Kotera, K.Shibata, F.Horikiri, T.Mishima
    • 学会等名
      Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2011)
    • 発表場所
      ソウル
    • 年月日
      2011-11-17
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Vibration energy harvesters of piezoelectric thin films2011

    • 著者名/発表者名
      Isaku Kanno
    • 学会等名
      International Symposium on Green Manufactureing and Applications (ISGMA 2011)
    • 発表場所
      ソウル
    • 年月日
      2011-10-06
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] PIEZOELECTRIC ENERGY HARVESTERS OF PZT FILMS DEPOSITED ON TI CANTILEVERS2010

    • 著者名/発表者名
      I.Kanno, K.Sagawa, R.Oka, H.Kotera, J.Ogawa, N.Yamauchi, K.Aizawa, T.Mateushima
    • 学会等名
      10th Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS2010)
    • 発表場所
      ベルギー ルーベン
    • 年月日
      2010-12-02
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタ法によるNaNbO3-BaTiO3積層膜の作製及び評価2010

    • 著者名/発表者名
      今井英之, 神野伊策, 横川隆司, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎市・長崎大学
    • 年月日
      2010-09-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] エピタキシャルPb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3薄膜の圧電特性2010

    • 著者名/発表者名
      赤間健司, 神野伊策, 横川隆司, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎市・長崎大学
    • 年月日
      2010-09-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] DEVELOPMENT OF PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRROR2010

    • 著者名/発表者名
      Masaehi Sato, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    • 学会等名
      20th Annual ASME Conference on Information Storage and Processing Systems(ISPS'2010)
    • 発表場所
      米国カリフォルニア州サンタクララ
    • 年月日
      2010-06-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] エピタキシャルPZT薄膜における圧電すべり効果の配向依存性2010

    • 著者名/発表者名
      赤間健司, 神野伊策, 小寺秀俊, 和佐清孝
    • 学会等名
      第27回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      京都市
    • 年月日
      2010-05-28
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 非鉛BaTiO3膜の配向依存性および圧電特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      今井英之, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      第27回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      京都市
    • 年月日
      2010-05-28
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] エピタキシャルPZT薄膜における圧電すべり効果の配向依存性2010

    • 著者名/発表者名
      赤間健司, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      2010年 第57回応用物理学会関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 配向制御したBaTiO3膜の結晶構造および圧電特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      今井英之, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      2010年 第57回応用物理学会関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 強誘電体簿膜を用いたエナジーハーベスティング技術2010

    • 著者名/発表者名
      神野伊策, 小寺秀俊
    • 学会等名
      2010年 第57回応用物理学会関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] エピタキシャルPZT薄膜における圧電すべり効果の配向依存性2010

    • 著者名/発表者名
      赤間健司, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      応用物理学会春期講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 配向制御したBaTiO3膜の結晶構造および圧電特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      今井英之, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      応用物理学会春期講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] エピタキシャルPZT薄膜における圧電すべり効果の配向依存性2010

    • 著者名/発表者名
      赤間健司, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      第27回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Piezoelectric MEMS-Their characteristics and potential applications2009

    • 著者名/発表者名
      Isaku Kanno
    • 学会等名
      2009 CMOS Emerging Technologies Workshop
    • 発表場所
      メトロポリタンホテル(カナダ・バンクーバー)
    • 年月日
      2009-09-23
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 転写エピタキシャルPZT薄膜の振動発電特性2009

    • 著者名/発表者名
      森本恵司, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊, 山内規裕, 松嶋朝明
    • 学会等名
      2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山県)
    • 年月日
      2009-09-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] エピタキシャルPZT薄膜における圧電すべり効果の定量的評価2009

    • 著者名/発表者名
      赤間健司, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山県)
    • 年月日
      2009-09-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] BaTiO3膜の配向制御および圧電特性評価2009

    • 著者名/発表者名
      今井英之, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山県)
    • 年月日
      2009-09-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] BaTiO3膜の配向制御および圧電特性評価2009

    • 著者名/発表者名
      今井英之, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      応用物理学会秋期講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] エピタキシャルPZT薄膜における圧電すべり効果の定量的評価2009

    • 著者名/発表者名
      赤間健司, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
    • 学会等名
      応用物理学会秋期講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.research.kobe-u.ac.jp/eng-dynamics/

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.researcherid.com/rid/B-3959-2010

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書

URL: 

公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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