| 研究課題/領域番号 |
21560755
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 東海大学 |
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研究代表者 |
葛巻 徹 東海大学, 工学部, 准教授 (50396909)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2011年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2010年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2009年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
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| キーワード | ナノプロセス / ナノマニピュレーション / TEM / FIB / カーボンナノチューブ / ナノ材料試験 / 非平衡 |
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| 研究概要 |
本研究では微小領域における電気的・機械的性質の評価を可能にするナノ材料試験機を作製し、これを走査型電子顕微鏡(SEM)等、用途に応じて多様な顕微鏡と組み合わせることにより、構造と各種物性との関係を多面的に解析できるナノ材料試験システムの構築に取り組んだ。作製したナノ材料試験機の性能評価及びFIB内での微細加工とSEM内引張試験の検討を行い、主にダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の機械的性質について評価した。
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