研究課題
若手研究(B)
本研究は、シリコンナノワイヤ(SNW)のピエゾ抵抗効果及びシリコンフォトニック結晶(PhC)ナノキャビティのピエゾ光学効果における理論及び実験研究を行った。応力又は歪みの印加によってSNWの電気抵抗及びキャビティの共振波長が変化され、これらのピエゾ効果の寸法・結晶方位の依存性を解明した。本研究で得られた成果により、高感度・高分解能機械量センサへの応用が大いに期待できる。
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