圧電薄膜を用いた表面波型液体計測センサの開発

• 研究課題/領域番号: 21760049
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 応用物理学一般
• 研究機関: 名古屋工業大学
• 研究代表者: 柳谷 隆彦 名古屋工業大学, 工学研究科, 助教 (10450652)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• 研究課題ステータス: 完了 (2010年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2010年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2009年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
• キーワード: 圧電薄膜センサ / 圧電薄膜 / スパッタリング / 圧電デバイス / 弾性表面波 / 液体センサ / ZnO薄膜 / 面内配向膜 / 横波励振

研究概要

本研究では、横波型表面波を用いた薄膜センサの実現を目指して、結晶(c軸)が基板に対して平行なZnO膜を石英基板上に作製した。この膜にくし型電極を作製し高周波電界を印加した結果、初めて薄膜単体を用いた横波型表面波励振に成功した。また液体中での動作も確認された。このデバイスに液体測定プールを作製し、標準導電率液体の導電率の測定を試みた結果、表面波の音速変化から液体の導電率を検出することに成功した。

研究成果

• [雑誌論文] Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, M.Kiuchi
  • 雑誌名: Surf.Coat.Technol. in press
  • 査読あり
• [雑誌論文] Observation of induced longitudinal and shear acoustic phonons by Brillouin scattering (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Yoshida, T.Yanagitani, M.Matsukawa
  • 雑誌名: IEEE Trans.Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. vol.58. no.6,in press
  • 査読あり
• [雑誌論文] c-axis zig-zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, N Morisato, S.Takayanagi, M.Matsukawa, Y.Watanabe
  • 雑誌名: IEEE Trans.Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 巻: 58(印刷中)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, M.Kiuchi
  • 雑誌名: Surf.Coat.Technol. 巻: (印刷中)
  • 査読あり
• [雑誌論文] 超高周波、高Q値、高圧電性、高キュリー温度の両立に向けて (2011)
  • 著者名/発表者名: 柳谷隆彦
  • 雑誌名: 超音波テクノ(解説記事) 巻: 23 ページ: 40-44
• [雑誌論文] A method for measuring in-plane unidirectional electrical properties in a wide band-gap semiconductor using a Brillouin scattering method (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, H.Sano, M.Matsukawa
  • 雑誌名: J.Appl.Phys. vol.108
  • 査読あり
• [雑誌論文] Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Kawamoto, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe, Y.Mori, S.Sasaki, M.Oba
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys.
  • 査読あり
• [雑誌論文] A method for measuring in-plane unidirectional electrical properties in a wide band-gapsemiconductor using a Brillouin scattering method (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, H.Sano, M.Matsukawa
  • 雑誌名: J.Appl.Phys. 巻: 108
  • 査読あり
• [雑誌論文] Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Kawamoto, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe, Y.Mori, S.Sasaki, M.Oba
  • 雑誌名: Jpn, J.Appl.Phys (未定)(印刷中)
  • 査読あり
• [雑誌論文] (11-20)配向AlN薄膜を用いた純横波モード共振子 (2010)
  • 著者名/発表者名: 柳谷隆彦, 木内正人, 松川真美
  • 雑誌名: 超音波テクノ 22 ページ: 46-49
• [雑誌論文] Distribution of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone (2009)
  • 著者名/発表者名: Y.Yaoi, K.Yamamoto, Y.Yamato, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki, A.Nagano
  • 雑誌名: Acoust.Sci.& Tech. vol.30, no.4 ページ: 306-309
  • NAID: 10025992837
  • 査読あり
• [雑誌論文] Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone (2009)
  • 著者名/発表者名: Y.Yaoi, K.Yamamoto, T.Nakatsuji, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki, A.Nagano
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. vol.48
  • NAID: 210000067157
  • 査読あり
• [雑誌論文] Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone (2009)
  • 著者名/発表者名: Y.Yaoi, K Yamamoto, Y.Yamato, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki, A.Nagano
  • 雑誌名: Jpn, J.Appl.Phys 48
  • NAID: 210000067157
  • 査読あり
• [雑誌論文] Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Yanagitani, H.Sano, M.Matsukawa
  • 雑誌名: Proc.IEEE Ultrason.Symp.2009 1 ページ: 1074-1077
  • 査読あり
• [雑誌論文] Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films (2009)
  • 著者名/発表者名: N.Morisato, S.Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
  • 雑誌名: Proc.IEEE Ultrason.Symp.2009 1 ページ: 2162-2165
  • 査読あり
• [雑誌論文] Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価に関する検討 (2009)
  • 著者名/発表者名: 柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
  • 雑誌名: 超音波テクノ 21 ページ: 35-38
• [雑誌論文] c-axis zig-zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, N.Morisato, S.Takayanagi, M.Matsukawa, Y.Watanabe
  • 雑誌名: IEEE Trans.Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. vol.58. no.5 ページ: 1062-1068
  • 査読あり
• [雑誌論文] Observation of induced longitudinal and shear acoustic phonons by Brillouin scattering
  • 著者名/発表者名: T.Yoshida, T.Yanagitani, M.Matsukawa
  • 雑誌名: IEEE Trans.Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 巻: (Accepted)
  • 査読あり
• [学会発表] 曲面試料上に成膜したZnO薄膜からの励起フォノンによるBrillouin散乱 (2011)
  • 著者名/発表者名: 杉本剛士, 佐野広幸, 中東佑太, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
  • 学会等名: 日本音響学会2011年春季研究発表会
  • 発表場所: 早稲田大学理工学術院
  • 年月日: 2011-03-09
• [学会発表] c軸平行配向ZnO膜/非圧電性基板構造におけるSH-SAWの電気機械結合係数およびセンサ応用の検討 (2011)
  • 著者名/発表者名: 中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
  • 学会等名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2011
  • 発表場所: 東北大学工学部
  • 年月日: 2011-02-01
• [学会発表] c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子 (2011)
  • 著者名/発表者名: 鈴木雅視, 柳谷隆彦
  • 学会等名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2011
  • 発表場所: 東北大学工学部
  • 年月日: 2011-01-31
• [学会発表] Giant shear mode electromechanical coupling in c-axis tilted ScAlN films (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, K.Arakawa, M.Suzuki, K.Kano, T.Akihiko, A.Morito
  • 学会等名: The 31th Symposium on Ultrasonic Electronics
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2010-12-08
• [学会発表] In-plane and out-of-plane orientation control of AlN films by ion beam assisted RF magnetron sputtering (2010)
  • 著者名/発表者名: M Suzuki, T.Yanagitani
  • 学会等名: The 31th Symposium on Ultrasonic Electronics
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2010-12-08
• [学会発表] c-axis parallel oriented ZnO film depositions by variable frequency RF bias sputtering (2010)
  • 著者名/発表者名: S.Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
  • 学会等名: The 31th Symposium on Ultrasonic Electronics
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2010-12-08
• [学会発表] Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Sano, T Yanagitani, S.Takayanagi, M.Matsukawa, N.Ohtori
  • 学会等名: The 31th Symposium on Ultrasonic Electronics
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2010-12-06
• [学会発表] Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, K.Arakawa, K.Kano, A.Teshigahara, M.Akiyama
  • 学会等名: IEEE Ultrason. Symp.(2010) 4pages
  • 発表場所: in press
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films (2010)
  • 著者名/発表者名: M Suzuki, T.Yanagitani
  • 学会等名: IEEE Ultrason. Symp.(2010) 4pages
  • 発表場所: in press
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Arakawa, T.Yanagitani, K.Kano, A.Teshigahara, M.Akiyama
  • 学会等名: IEEE Ultrason. Symp.(2010) 4pages
  • 発表場所: in press
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10)textured ZnO films by RF bias sputtering (2010)
  • 著者名/発表者名: S.Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
  • 学会等名: IEEE Ultrason. Symp.(2010) 4pages
  • 発表場所: in press
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, K.Arakawa, M.Suzuki, K.Kano, T.Akihiko, A.Morito
  • 学会等名: 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: San Diego, California
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering (2010)
  • 著者名/発表者名: S, Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
  • 学会等名: 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: San Diego, California
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films (2010)
  • 著者名/発表者名: M Suzuki, T.Yanagitani
  • 学会等名: 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: San Diego, California
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Arakawa, T.Yanagitani, K.Kano, A.Teshigahara, M.Akiyama
  • 学会等名: 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: San Diego, California
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] Effects of HAp alignment and microstructure on the anisotropy of longitudinal wave velocity in bovine cortical bone (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Yamamoto, T.Nakatsuji, Y.Yamato, T.Yanagitani, K.Yamazaki, M.Matsukawa, Y.Matsuyama
  • 学会等名: 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: San Diego, California
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] Highest wave velocity direction in the bovine cortical bone : observation of a small tilt relative to the bone axis (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Nakatsuji, K.Yamamoto, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki
  • 学会等名: 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: San Diego, California
  • 年月日: 2010-10-12
• [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 柳谷隆彦、荒川和樹、鈴木雅視、加納一彦、勅使河原明彦、秋山守人
  • 学会等名: 電子情報通信学会超音波研究会
  • 発表場所: 東北大学工学部
  • 年月日: 2010-09-30
• [学会発表] RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成～バイアス周波数が配向性に及ぼす影響～ (2010)
  • 著者名/発表者名: 高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
  • 学会等名: 電子情報通信学会超音波研究会
  • 発表場所: 東北大学工学部
  • 年月日: 2010-09-30
• [学会発表] Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測 (2010)
  • 著者名/発表者名: 佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司、松川真美
  • 学会等名: 電子情報通信学会超音波研究会
  • 発表場所: 東北大学工学部
  • 年月日: 2010-09-30
• [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 柳谷隆彦、秋山守人
  • 学会等名: 日本音響学会2010年秋季研究発表会
  • 発表場所: 関西大学
  • 年月日: 2010-09-15
• [学会発表] Brillouin散乱法による導電性ZnO単結晶を用いた擬似すべりモード電気機械結合係数kl5'の評価 (2010)
  • 著者名/発表者名: 佐野広幸, 柳谷隆彦, 松川真美
  • 学会等名: 日本音響学会2010年秋季研究発表会
  • 発表場所: 関西大学
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] RFバイアススパッタ法による簡便な(11-20)および(10-10)配向ZnO膜の形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
  • 学会等名: 応用物理学会2010年春季大会
  • 発表場所: 東海大学 湘南キャンパス
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] 傾斜配向AlN膜の結晶粒界と横波音響特性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 鈴木雅視、柳谷隆彦
  • 学会等名: 日本音響学会2010年春季研究発表会
  • 発表場所: 電気通信大学
  • 年月日: 2010-03-10
• [学会発表] Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価 (2010)
  • 著者名/発表者名: 柳谷隆彦、佐野広幸、松川真美
  • 学会等名: 日本音響学会2010年春季研究発表会
  • 発表場所: 電気通信大学
  • 年月日: 2010-03-08
• [学会発表] RFバイアススパッタ法による簡便な面内配向ZnO薄膜の形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
  • 学会等名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2010
  • 発表場所: 仙台市青葉区荒巻字青葉 東北大学工学部青葉記念会館
  • 年月日: 2010-02-01
• [学会発表] 傾斜配向AlN膜の構造が横波音響特性におよぼす影響 (2010)
  • 著者名/発表者名: 鈴木雅視、柳谷隆彦
  • 学会等名: 圧電材料・デバイスシンポジウム2010
  • 発表場所: 仙台市青葉区荒巻字青葉 東北大学工学部青葉記念会館
  • 年月日: 2010-02-01
• [学会発表] ウシ大腿骨皮質骨の3次元音速異方性～ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響～ (2010)
  • 著者名/発表者名: 中辻知宏, 犬童雅規, 小泉喬亮, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦
  • 学会等名: 電子情報通信学会超音波研究会
  • 発表場所: 関西大学 千里山キャンパス第四学舎(システム理工学部)
  • 年月日: 2010-01-25
• [学会発表] Brillouin散乱法による圧電性ワイドバンドギャップ半導体の面内方向電気特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
  • 学会等名: 第30回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • 発表場所: 同志社大学今出川キャンパス寒梅館
  • 年月日: 2009-11-20
• [学会発表] 直線状エロージョンマグネトロンスパッタを用いた(11-20)配向ZnO圧電膜の結晶性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利
  • 学会等名: 第30回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • 発表場所: 同志社大学今出川キャンパス寒梅館
  • 年月日: 2009-11-20
• [学会発表] 高角度傾斜配向AlN膜の作製と圧電特性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 鈴木雅視, 柳谷隆彦
  • 学会等名: 第30回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • 発表場所: 同志社大学今出川キャンパス寒梅館
  • 年月日: 2009-11-20
• [学会発表] c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
  • 学会等名: 第30回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • 発表場所: 同志社大学今出川キャンパス寒梅館
  • 年月日: 2009-11-20
• [学会発表] ウシ大腿骨皮質骨の縦波音速異方性とHAp結晶配向 (2009)
  • 著者名/発表者名: 山本和史, 大和雄, 山崎薫, 長野昭, 矢追佑一郎, 中辻智宏, 松川真美, 柳谷隆彦
  • 学会等名: 第24回日本整形外科学会基礎学術集会
  • 発表場所: パシフィコ横浜
  • 年月日: 2009-11-05
• [学会発表] c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 守里直希・高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
  • 学会等名: 電子情報通信学会超音波研究会
  • 発表場所: 登別グランドホテル 会議室
  • 年月日: 2009-09-30
• [学会発表] Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討 (2009)
  • 著者名/発表者名: 柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
  • 学会等名: 電子情報通信学会超音波研究会
  • 発表場所: 登別グランドホテル 会議室
  • 年月日: 2009-09-30
• [学会発表] 直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜 (2009)
  • 著者名/発表者名: 川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利
  • 学会等名: 電子情報通信学会超音波研究会
  • 発表場所: 登別グランドホテル 会議室
  • 年月日: 2009-09-30
• [学会発表] Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, H.Sano, M.Matsukawa
  • 学会等名: IEEE Ultrason. Symp. pp.1074-1077 (2009)
  • 年月日: 2009-09-22
• [学会発表] Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films (2009)
  • 著者名/発表者名: N.Morisato, S.Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
  • 学会等名: IEEE Ultrason. Symp. pp.2162-2165 (2009)
  • 年月日: 2009-09-22
• [学会発表] Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, H.Sano, M.Matsukawa
  • 学会等名: IEEE Ultrasonic.Symposium.2009
  • 発表場所: Ergife Palace Hotel, Roma, Italy
  • 年月日: 2009-09-22
• [学会発表] Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films (2009)
  • 著者名/発表者名: N.Morisato, S.Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
  • 学会等名: IEEE Ultrasonic.Symposium.2009
  • 発表場所: Ergife Palace Hotel, Roma, Italy
  • 年月日: 2009-09-22
• [学会発表] Relationships between anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone (2009)
  • 著者名/発表者名: K.Yamamoto, T.Nakatsuji, Y.Yaoi, Y.Yamato, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki
  • 学会等名: 3rd European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone
  • 発表場所: Kazimierz Wielki University in Bydgoszcz, Bydgoszcz, Poland
  • 年月日: 2009-09-17
• [学会発表] Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Yanagitani, M.Kiuchi
  • 学会等名: 16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams
  • 発表場所: Miraikan Hall, The National Museum of Emerging Science and Innovation (Miraikan)
  • 年月日: 2009-09-14
• [学会発表] ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 ～ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響～ (2009)
  • 著者名/発表者名: 中辻知宏, 矢追佑一郎, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦
  • 学会等名: 電子情報通信学会超音波研究会
  • 発表場所: 千葉大学フロンティアメディカル工学研究開発センターB号棟1階会議室
  • 年月日: 2009-06-26
• [学会発表] ヒト及びウシ円環状皮質骨における骨軸方向への超音波伝搬特性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 山本和史, 大和雄, 山崎薫, 長野昭, 矢追佑一郎, 中辻智宏, 松川真美, 柳谷隆彦
  • 学会等名: 第29回日本骨形態計測学会
  • 発表場所: 大阪国際会議場
  • 年月日: 2009-05-28
• [備考] ホームページ等
  • URL: http://researcher.nitech.ac.jp/html/191_ja.html
• [産業財産権] 薄膜製造方法飲び装 (2010)
  • 発明者名: 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美, 渡辺好章
  • 権利者名: 名古屋工業大学、同志社大学
  • 出願年月日: 2010-01-29
• [産業財産権] ウルツ鉱圧電体薄膜、該薄膜の製造方法及び製造装置、並びに薄膜共振子 (2010)
  • 発明者名: 柳谷隆彦、鈴木雅視、渡辺好章
  • 権利者名: 名古屋工業大学、同志社大学
  • 出願年月日: 2010-12-03
• [産業財産権] ウルツ鉱圧電体薄膜、該薄膜の製造方法及び製造装置、並びに薄膜共振子 (2010)
  • 発明者名: 柳谷隆彦、鈴木雅視、渡辺好章
  • 権利者名: 名古屋工業大学、同志社大学
  • 産業財産権番号: 2010-270539
  • 出願年月日: 2010-12-03
• [産業財産権] 薄膜製造方法及び装置 (2010)
  • 発明者名: 柳谷隆彦、高柳真司、松川真美、渡辺好章
  • 権利者名: 名古屋工業大学、同志社大学
  • 産業財産権番号: 2009-019956
  • 出願年月日: 2010-01-29